关于弹性二次电子对测量电子能谱分辨率和电子倍增器工作曲线的研究分析_第1页
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关于弹性二次电子对测量电子能谱分辨率和电子倍增器工作曲线的研究分析摘 要 利用弹性二次电子进行电子能谱分辨率以及电子倍增器 工作曲线测量，不仅测量过程方便快捷，并且其测量结果与常规测 量方法进行测量的电子能谱分辨率以及电子倍增器工作曲线结果 相一致。本文通过对于弹性二次电子进行电子能谱分辨率以及电子 倍增器工作曲线测量的条件方法以及测量结果的分析概述，对于弹 性二次电子测量电子能谱分辨率和电子倍增器工作曲线进行重点 分析与研究。关键词 弹性二次电子；电子能谱分辨率；电子倍增器；工作曲 线中图分类号 tn2 文献标识码 a 文章编号 1674-6708 （2013）97-0150-02电子能谱仪是进行表面分析测量的一种常用仪器设备。 通道式电 子倍增器是进行真空电子与离子探测实现的电子倍增计数仪器，它 在进行电子以及离子的真空探测应用过程中，其真空探测工作情况 直接对于所分析采集的电子以及离子谱的质量有着一定的影响和 作用，并且在进行电子以及离子探测应用中，通道式电子倍增器具 有工作运行电压低以及能够进行探测粒子的能量动态范围比较广 的特征优势，并且在进行 10ev 至 10kev 粒子能量范围内的探测中 具有较好的线性关系。

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