培训外观检查缺陷

1、成品外观检查缺陷教育外观重要缺陷（A类缺陷）指漏光、无客户 Mark或客户Mark残缺、色差、膜层缺少（如无 OG无ITO等）；严重的污染、残留、打弧、蓝雾、白浊等，统称为A类缺陷。外观次要缺陷（B类缺陷）指划伤、异物、针孔、 Mura、一般污染、崩边、ITO白点（掉膜）、轻微残留、显影斑块 等统称为B类缺陷。一. 缺陷定义1针孔针孔（Pinhole ）,也称掉膜，是指一种膜层脱落的现象。2残留指在图案形成过程中应当去除的部分却被保留下来的现象。3显影斑块指显影时由于显影程度不均匀导致膜层表面形貌差异而产生色斑甚至膜层脱落的现象。4 OG Mura指由于OG!表面膜厚不均而导致反射光颜色差异的

2、现象。5异物指夹杂在GF膜层中的金属、纤维、树脂等杂质。6污染泛指发生在膜面由溶液等造成的污点（块）。7划伤指硬物接触玻璃，在玻璃上或膜层上造成的划痕。8 ITO白点及掉膜指在镀膜前或镀膜过程中附着在膜面，存在于ITO膜层中的异物。9 SiO2打弧由于SiO2溅射电极异常放电造成（粉状）SiO2颗粒喷射到膜层表面的现象。10蓝雾指由于ITO镀膜时工艺异常造成ITO膜层呈浅蓝色雾状的现象。11白浊指因OG烘烤不足而造成的 OGBE层起皱的现象。二.缺陷判定方法：1 .针孔1.1 Al膜针孔Al膜针孔多由于在刻蚀时 Posi胶没保护好，过度刻蚀造成的；也有的是原片针孔。Al膜针孔较易辨认：背光灯透

3、射光观察呈白色或彩色亮点，空气面相应位置反射光看 为黑点。1.2 BL针孔BL针孔多由于显影过强、EBR液飞或曝光不良造成的。BL针孔的特征是：a.全透型一一背光灯透射呈浅白色亮点（块），绿灯反射光为黑点（块）b.半透型一一若掉膜正好位于Al膜表面，则透射光不可见，背光灯、钠灯及绿灯反射光均呈亮点（块）。1.3 RGB针孔RGB1孔也多由于显影过强（尤其是半透型产品）、EBR液飞或曝光不良造成的。RGB1孔的特征分别为:玻璃上针孔（透射光观察）Al上（反射光观察）R针孔育曲:色育曲:色G针孔紫红色紫红色B针孔嫩黄色嫩黄色2 .残留2.1 Posi 残留Posi是在Al膜图案形成过程中保护Al膜

4、的，刻蚀完成后用碱性溶液将其去除，当工艺异常去除不尽的时候就造成了Posi残留。Posi残留的特征是：透射光不可见，从空气面观察不可见；绿灯反射光呈亮块（有异物感），背光灯反射光为浅色白块。2.2 Al 膜残留Al膜残留是指Al开口部分未刻蚀到或未完全刻蚀而残留下来的现象。Al膜残留较易辨认：背光灯透射光呈黑（或彩色）块，反射光观察空气面相应位置 呈亮块。2.3 KOH （氢氧化钾）残留KOH留指在EBR（Edge Back Rinse-边缘背部清洗）工序，由于工艺不稳定， KOH 洗液喷射过于靠近基板内部，纯水冲洗不净而遗留下来的现象。KOH留的特征是：位于空气面边缘，呈浅黑色斑纹，反射光较

5、明显，严重者透射光 可见。2.4 颜料残留颜料残留指Posi、BL RG眼OC等粘附在空气面的现象。对于小面积的颜料残留，要求用刀片小心地将其刮除，对于大面积的颜料残留予以隔离交生产部门处理。3 .显影斑块显影斑块在钠灯下呈浅色亮块，绿灯反射光呈浅色暗块，严重者背光灯反射光可见亮块，甚至透射光可见明显的明暗差异。4 . OC Mura4.1 涂布 Mura涂布Mura泛指由于制造过程中器械原因产生的Mura。包括Slit、Spin、Chuck以及Pin Mura 。4.2 . Slit MuraSlit Mura 指在Slit 涂布工序，由于涂布喷口局部堵塞而产生的呈现直线状贯通基板且同基板边

6、缘平行的 Mura。4.3 Spin MuraSpin Mura指由于Slit涂布不均等原因导致 Spin时产生呈放射状的 Murao注：因异物造成的放射状Mura不算在此列，为统计方便，将因BL、RG聊物造成的归为BL&RG事物，将因OM物造成的归为 OC异物。4.4 Chuck/Pin MuraChuck （真空吸嘴）和 Pin （顶针）是在搬运玻璃时用于固定支撑基片的，当其同玻璃接 触时会产生微观变形，由此造成的Mura相应称为Chuck Mura或/Pin Mura 。5 .色斑此处的色斑泛指其他的 Mura现象。发现此类 Mura,应立即通知组长确认，并在 外观检 查原始记录

7、 备注栏及FQC外观检查员交接班记录 备注栏中简单描述色斑的特征。6 .异物6.1 BL 及 RGB#物BL及RGB#物指夹杂在BL或RG瞅层中间的异物。包括颜料、金属、皮肤、纤维等。6.1.1 额缘部在钠灯下观察，若异物导致BL扭曲变形或以异物为中心有2个及以上的 Mura圈即为BL&RGW 物。6.1.2 表本部背光灯透过光观察，异物点位置可见色差或在钠灯下以异物为中心有2个及以上的Mura圈即为BL&RG畀物。6.2 OC#物及异物MuraOC#物指夹杂在 OC膜层中间的异物，包括颜料、金属、皮肤、纤维等。OC#物背光灯透过光一般不可见，在钠灯下观察只有一圈MuraoOC

8、#物Mura包括是由OM物造成的放射状 Mura。7 .污染污染包括水迹、手印等。8 .划伤划伤是一种非常严重的缺陷，尤其是膜层划伤，它会直接影响 LCD的功能。9 . ITO缺陷9.1 ITO白点及掉膜包括金属、皮肤、灰尘及纤维等。锢污染也应当归入这一类。ITO白点在绿灯下呈小亮点，背光灯反射光呈小白点，钠灯下以小点为中心没有MuraoITO掉膜指擦掉ITO白点后而造成的ITO膜层脱落。所以也记入 ITO白点一栏。9.2 SiO2 打弧SiO2打弧在绿灯下辨别，呈粉状（或颗粒状），同蓝雾相比打弧的颗粒较粗且越靠边缘越密集。9.3 蓝雾有蓝雾的成品面电阻较正常成品低。蓝雾在绿灯可见膜面有一层均

9、匀的雾状小颗粒，从空气面观察呈浅蓝色。10 .其他其他一项泛指不能归入前面 8项的缺陷，如白浊、崩边、破损、客户 Mark缺少等。发现 此类缺陷时应及时通知组长确认，并在 外观检查原始记录 备注栏及FQC外观检查员交 接班记录 备注栏中简单描述其特征。三.外观检查3.1 外观检查时应当按照绿灯（左右方向）-钠灯（上下方向）-背光灯（左右方向）的顺序进行。3.1.1 背光灯首先检查玻璃基板是否有崩边、裂纹等缺陷，以及是否为双大角条件板；然后检查客户Mark是否符合要求；最后同色差样片进行对比，判断颜色是否正常。3.1.2 钠灯利用钠灯反射光逐个 Panel进行检查，检查内容有：膜层缺少（如无 OC无ITO）、 针孔、残留、显影斑块、OC Mura、BL及RG断物、OC异物、污染等缺陷。对于发现的缺陷利用背光灯和绿灯按照外观检查原始记录填写方法的规定进行确认分类。3.1.3 绿灯利用绿灯反射光逐个Panel进行检查，检查内容有：显影斑块、污染、划伤、白点掉膜、SiO2打弧、蓝雾、Posi残留、白浊等缺陷。3.1.4 判断按CF产品通用规格书 的要求并参照缺陷标准样片对缺陷作出NG或OK的判断。A类缺陷的允收基准为 0,即发现一个就报废整片玻璃。对于B类缺陷，则按报废Panel进