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1、外差激光干涉仪（面向现场的激光测振系统）简介本系统应用迈克尔逊干涉仪的工作原理，采用正交信号的方式，直接由计量学的基本量长度（激光的波长）和时间（数采设备的时钟）绝对复现振动位移，是校准方法完善、校准结果可靠的先进方法，能够在最大5m/s速度范围内对运动目标的运动参数进行非接触精确测量，同时还具有相位特性校准功能，具有体积小、精度高、非接触测量、操作简便、安装灵活、可靠性好、频率响应范围大、动态范围宽，被测物体动态特性不受影响等优点，已经在一中心超低频大振幅振动台上建立起完善、稳定的一次快速校准系统。一、 主要应用：1可与振动台组成完善的振动校准系统，直接校准现场工作用传感器。2现场直接对运动

2、目标位移、速度和加速度量值进行校准。二、 技术指标测定距离： 05000mm测量速度范围：±10m/s速度测量不确定度：1%（k=2）三、 外差激光干涉仪的工作原理外差激光干涉仪采用目前已经成熟的迈克耳逊激光干涉原理，原理图如图1所示。其原理是光束由氦-氖激光器出射，经偏振分光棱镜1分成两路振动方向互相垂直的两束光，参考光经过直角棱镜、布啦格盒进入偏振分光棱镜3；另一路测量臂光经过偏振分光棱镜2、四分之一波片投射在被测物体上；被反射后再通过偏振分光棱镜2，与参考光在偏振分光棱镜3处重合，出射后经偏振片由光电探测器接受。图1 外差激光干涉仪工作原理激光器发出的光经分束镜分光后分别入射到测量表面和参考镜表面，其两束反射光在分束镜上重新汇合发生干涉，并被光电探测器接收。 四、 外差激光测振系统组成工作台面数采设备电源控制器图2 外差激光测振系统工作框图该系统主要由外差激光干涉仪、支架、电源控制器、数采设备和软件解调系统组成。电源控制器用来为干涉仪提供电源，并且包含降频系统，干涉仪的输出信号经数采设备采集后送入软件解调系统（以计算机作为安装介质），通过配套的数据处理软件可实时获得用户需要的位移、速度和加速度波形以及

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