劈尖干涉用于检测工件的平整度的研究

1、劈尖干涉用于检测工件的平整度的研究080403110 庞星南京理工大学紫金学院电光系08四教电科1班 摘要: 根据薄膜干涉的道理，可以测定平面的平直度若使两个很平的玻璃板间有一个很小的角度，就构成一个楔形空气薄膜，用已知波长的单色光入射产生的干涉条纹，条纹向劈尖的顶角侧弯曲时说明工件该处是一个凹；条纹远离顶角弯曲时，工件该处有一个凸起。关键词: 薄膜干涉 楔形空气薄膜 干涉 Wedge interference detection of workpiece flatnes080403110 Pang Xing Zijin College of Nanjing University of Ele

2、ctro-Optical Division, Department 08 4 to teach a classAbstract: According to thin film interference token, can determine the plane flatness. If only between two very flat glass plate with a small angle, it constitutes a wedge-shaped air film, using the known wavelength of the incident monochromatic

3、 light produced by interference fringe, fringe wedge of apex angle to the side of bend note there is a concave workpiece; stripe bending away from the zenith, the workpiece where there is a bulge.Keywords: Thin film interference; Wedge-shaped air film; Interference实验原理:将两块玻璃板1和2叠起来,在一端垫一细丝(或纸片), 两板之

4、间形成一层空气膜从点光源S发出的光经透镜L变成平行光，在经过半透半反玻璃片M射向空气劈尖，自劈尖上下两表面反射后形成相干光，径路显微镜T,就能在劈尖上表面观察到明暗相间均匀分布的干涉条纹。如图2. 设两玻璃板之间的夹角为q,玻璃的折射率为n1,空气的折射率为1.由于Q角很小，在实验中，单色平行光几乎垂直地射向劈面，所以劈尖上下两表面的反射光线与入射光线近乎重合。设在P点出，劈尖对应的厚度e。因为n1>1,所以劈尖表面有半波损失.因此上下两表面反射光的光程差为:=2ne+/2反射光是相干光,相干叠加明暗纹的条件是: 每一明条纹或暗条纹都与一定的值对应，也就是与劈尖的厚度相对应在两玻璃片相接

5、触处，劈尖的厚度，由于半波损失的存在，所以在棱边处为暗条纹。任何相邻明条纹或暗条纹所对应的厚度差为： 我们分析实验采用空气劈尖，n=1。若相邻两条明条纹或暗条纹之间的距离为L,则可知：Lsin=/2n因为角度很小，所以 L=/2n, 所以为使实验条纹凹凸明显，使小，L就越大，即干涉条纹越疏。当平面平整时，厚度均匀变化，条纹为直线。当显微镜中的图像有一凹，条纹是等厚的点的轨迹，凹就是厚度增加，于是这里的厚度等于比此处远离劈棱处（厚度为0的地方）的地方的厚度，远离劈棱的地方的轨迹偏到这里来，总体情况就是：条纹向劈棱方向偏。若有一凸，向远离劈棱的方向偏。实验步骤:将两块玻璃板叠在一起，在一侧一细丝，

6、将一束单色光垂直照射到上玻璃板，在光学显微镜内观察干涉条纹。用图甲所示的空气劈尖检查工件表面的平整度，出现如图乙、丙所示的条纹。用干涉法检查平面，如图甲所示，两板之间形成一层空气膜，用单色光从上向下照射，入射光从空气膜的上下表面反射出两列光波，形成干涉条纹。如果被检测平面是光滑的，得到的干涉图样必是等距的。如果某处凹下去，则对应明纹（或暗纹）提前出现，如图乙所示；如果某处凸起来，则对应条纹延后出现，如图丙所示。（注：“提前”与“延后”不是指在时间上，而是指由左向右的位置顺序上。）条纹向劈尖的顶角侧弯曲时说明工件该处是一个凹；条纹远离顶角弯曲时，工件该处有一个凸起。实验误差分析：两玻璃板之间的角度要控制好，如若过大，将无法观察到实验现象，若过小，条纹将分辨不出来。其次，要注意劈尖的质量。本实验必须小心实验误差，否则将观察不到实验现象。 实验总结 ：在实验中，越来越注重实验的准确性，有些实验仪器必须保持一定的平整