等离子清洗机

1、等离子清洗机等离子清洗机（plasmacleaner）也叫等离子清洁机，或者等离子 表面处理仪，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清 洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的 第四态，并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离 化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、 原子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子清洁机 就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、 涂覆等目的。等离子体和固体、液体或气体一样，是物质的一种状态，也叫做 物质的第四态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。 等离子体的”

2、活性"组分包括：离子、电子、活性基团、激发态的核素 （亚稳态）、光子等。等离子体表面处理仪就是通过利用这些活性组 分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等目的。等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态、液态、气态 三种状态存在，但在一些特殊的情况下有第四种状态存在， 如地球大 气中电离层中的物质。等离子体状态中存在下列物质：处于高速运动 状态的电子；处于激活状态的中性原子、分子、原子团（自由基） ； 离子化的原子、分子；未反应的分子、原子等，但物质在总体上仍保 持电中性状态。在真空腔体里，通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体，通过等离子体轰

3、击被清洗产品表面. 以达到清洗目的.优势一、清洗对象经等离子清洗之后是干燥的，不需要再经干燥处理 即可送往下一道工序。可以提高整个工艺流水线的处理效率；二、等离子清洗使得用户可以远离有害溶剂对人体的伤害，同时也避免了湿法清洗中容易洗坏清洗对象的问题； 三、避免使用三氯乙 烷等ODS有害溶剂，这样清洗后不会产生有害污染物，因此这种清 洗方法属于环保的绿色清洗方法。这在全球高度关注环保的情况下越 发显出它的重要性；四、采用无线电波范围的高频产生的等离子体与激光等直射光线 不同。等离子体的方向性不强，这使得它可以深入到物体的微细孔眼 和凹陷的内部完成清洗任务，因此不需要过多考虑被清洗物体的形 状。而

4、且对这些难清洗部位的清洗效果与氟利昂清洗的效果相似甚至 更好；五、使用等离子清洗，可以使得清洗效率获得极大的提高。整个 清洗工艺流程几分钟内即可完成，因此具有产率高的特点；六、等离子清洗需要控制的真空度约为100Pa，这种清洗条件很 容易达到。因此这种装置的设备成本不高，加上清洗过程不需要使用 价格较为昂贵的有机溶剂，这使得整体成本要低于传统的湿法清洗工 艺；七、使用等离子清洗，避免了对清洗液的运输、存储、排放等处 理措施，所以生产场地很容易保持清洁卫生；八、等离子体清洗可以不分处理对象，它可以处理各种各样的材 质，无论是金属、半导体、氧化物，还是高分子材料（如聚丙烯、聚 氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亚胺、聚酯、环氧树脂等高聚物）都可以 使用等离子体来处理。因此特别适合于不耐热以及不耐溶剂的材质。 而且还可以有选择地对材料的整体、局部或复杂结构进行部分清