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文档简介

美克锐科技徐吉高新年伊始，美克锐科技应中科院上海技术物理研究所及上海微系统所邀请，联合开展关于自研太赫兹QCL项目芯片及光斑检测成像的实验。此次实验，希望通过成像方式，能同时观测到芯片光斑质量、发光点位置以及制冷头与芯片温度差异（制冷效果）。本次实验所采用的相机及QCL参数如下：太赫兹QCL:QCL频率：THz输出功率：mW（峰值功率15mw, 占空比1%）制冷温度：77K(液氮制冷)太赫兹相机：像元阵列：640*480像元尺寸：17um像元材料：非晶硅实验构建的简单光路如下：实验获取出光与未出光图像如下：实验结果可以看出，QCL光束质量较高，圆环条纹是透镜前后表面干涉形成；相机能清晰地检测到杜瓦内部除光斑外的红外图像，芯片衬底与冷却头强度接近，显示系统散热效果较好；光斑相对芯片位置清晰，便于后期搭建光路系统；

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