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1、真空技术简介真空技术简介=760mmHg=760(Torr)n1标准大气压=1.013x105Pan1Torr=133.3Pa)10760(101035Torrpa)1010(10108361Torrpa)1010(1010128106Torrpa)10(101210Torrpa)1010(1010313TorrpaPQS1PPtVSupmpmupp pa251010pa251010pa501010pa811010pa1111010pa1001010旋片式机械泵水冷套； 2. 喷油嘴； 3. 导流管；4. 泵壳； 5. 加热器1. 动叶轮；2. 泵壳；3. 涡轮排；4. 中频电动机；5. 底座

2、；6. 出气口法兰；7. 润滑油池；8. 静叶轮；9. 电机冷却水管. 三三. 真真空空的的测测量量压缩型真空计测量范围：103 10-3 PaU型计测量范围：105 10 PamVTQP热电偶规管及其电路原理 直接测量与压强有关的物理量，再与绝对真空计相比较进行标定的真空计。电离计线路图电离规管exexeIkpkIIpkIIppkkIIxekpIIexekIIIB-A真空规管离子收集极；2. 加速极（栅极）3. 阴极灯丝；4. 外壳真空系统(DM300镀膜机)轰击电极工作架烘烤电极活动挡板蒸发电极膜厚的计算：在真空中气体分子的平均自由程为：L = 0.65 / p (cm)，其中p的单位是Pa。当p = 1.310-3 Pa时，L500 cm。L基片到蒸发源的距离，分子作直线运动。dmdm4dstdm. .dsrmdm2cos424cosrmt24cosrmt,cosrh222hr2/322)

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