普通员工ESD基础知识培训讲义

1、1普通员工普通员工ESD 训练教材训练教材2静电静电(ESD)概念概念 ESD (Electrostatic Discharge，ESD) 中文含意：静电放电中文含意：静电放电 因为电子产品生产中静电放电是静电危害最主因为电子产品生产中静电放电是静电危害最主 要的部分，所以要的部分，所以ESD成为静电的防护代名词。成为静电的防护代名词。3常见的几种静电现象常见的几种静电现象1) 雷电：电压高达数亿雷电：电压高达数亿伏；伏；2) 干燥环境下的静电电干燥环境下的静电电击：电压可达数千伏；击：电压可达数千伏；3) 绝大多数的静电放电绝大多数的静电放电是我们看不到的。是我们看不到的。4人们对静电的感知

2、人们对静电的感知 人体能够感觉到静人体能够感觉到静 电时一般电压超过电时一般电压超过 2000V。 静电不易感知的原静电不易感知的原 因：电量小，放电因：电量小，放电 时间短。时间短。See5000VHear4500VTouch3000VComponentDamage15-30V5一些常见动作的静电电压一些常见动作的静电电压 操操 作作人体静电位人体静电位(KV)相对湿度相对湿度20%相对湿度相对湿度80%在聚乙烯地面行走在聚乙烯地面行走120.25合成纤维地毯上行走合成纤维地毯上行走351.5坐在泡沫填充的椅子上坐在泡沫填充的椅子上181.5拿起聚乙烯塑袋拿起聚乙烯塑袋200.6在普通工作台

3、上滑动塑料盒在普通工作台上滑动塑料盒181.5移除移除PC板上的板上的MYLAR胶帶胶帶121.5PC板上的收縮膜板上的收縮膜163使用真空吸錫器使用真空吸錫器81用氟利昂喷洒电路用氟利昂喷洒电路1556静电产生的途径静电产生的途径1) 接触分离；接触分离；2) 摩擦；摩擦；3) 剥离；剥离；4) 断裂；断裂；5) 传导；传导；6) 感应；感应；7) 其他：热电、光电、压电；其他：热电、光电、压电；7静电的产生静电的产生分离带电分离带电-接触分离带电接触分离带电不同物质接触分离都会产生静电。不同物质接触分离都会产生静电。-8静电的产生静电的产生摩擦带电摩擦带电摩擦可以看作反复的接触分离过程摩擦

4、可以看作反复的接触分离过程9静电的产生静电的产生工作中因摩擦或接触分离产生静电的地方工作中因摩擦或接触分离产生静电的地方 工作中的人体走动，取放物品都会产生静电工作中的人体走动，取放物品都会产生静电 设备中的运动也有摩擦或接触分离的动作，设备中的运动也有摩擦或接触分离的动作， 因此也会产生静电因此也会产生静电 移动的设备如推车，也会因摩擦产生静电移动的设备如推车，也会因摩擦产生静电10决定摩擦电压的因素决定摩擦电压的因素 接触的程度、表面的均匀度、接触压力、磨接触的程度、表面的均匀度、接触压力、磨 力、分离速度等因素都会影响到摩擦电压的力、分离速度等因素都会影响到摩擦电压的 大小。大小。 材料

5、的不同摩擦电压不同。材料的不同摩擦电压不同。 环境温度湿度的不同对摩擦电压也有重大的环境温度湿度的不同对摩擦电压也有重大的 影响。湿度越小摩擦电压越大。影响。湿度越小摩擦电压越大。静电的产生静电的产生11物质原有的电荷平衡被打破，两边带上相反的电荷物质原有的电荷平衡被打破，两边带上相反的电荷同种物质的剥离和不同物质间的剥离都会产生静电同种物质的剥离和不同物质间的剥离都会产生静电不干胶带、胶贴、传送带等都会因为剥离带电不干胶带、胶贴、传送带等都会因为剥离带电静电的产生静电的产生+-剥离带电剥离带电-+轮子轮子轴轴皮带皮带12静电的产生静电的产生物体断裂成后，各部分会带上不同的电荷物体断裂成后，各

6、部分会带上不同的电荷断裂带电断裂带电13静电的产生静电的产生一个不带电的物体接触带电的物体会通过传导带上相同的电荷一个不带电的物体接触带电的物体会通过传导带上相同的电荷传导带电传导带电14静电的产生静电的产生感应带电感应带电-接地接地-静电传递静电传递 接近接近 离开离开-带电体产生电场，电场中的导体因电荷转移而带电带电体产生电场，电场中的导体因电荷转移而带电15感应带电往往会让电子器件带电，从而造成损坏感应带电往往会让电子器件带电，从而造成损坏静电的产生静电的产生16工作场地容易产生静电的动作工作场地容易产生静电的动作 人的活动人的活动 移动的设备移动的设备 推车推车 传动带传动带静电的产生

7、静电的产生17工作场地中常见的静电源工作场地中常见的静电源 工作台工作台 漆漆, 腊面腊面, 塑胶和乙烯树脂等。塑胶和乙烯树脂等。 地板地板 表面处理木料表面处理木料, 腊面腊面, 乙烯树脂等。乙烯树脂等。 椅子椅子 玻璃纤维玻璃纤维, 塑胶塑胶, 表面处理木料等。表面处理木料等。 工作人员工作人员 衣物衣物, 头发头发, 鞋子鞋子, 手套等。手套等。 包装包装 塑胶袋塑胶袋, 气泡包装气泡包装, 海绵海绵, 盒子等。盒子等。 办公用品办公用品 纸张、文件夹、文件袋、笔等纸张、文件夹、文件袋、笔等静电的产生静电的产生18ESD 风险风险我们的工作环境存在许多静电源我们的工作环境存在许多静电源

8、许多塑胶产品都是容易制造和价格低廉许多塑胶产品都是容易制造和价格低廉 电子产品中也需要采用许多绝缘体材料电子产品中也需要采用许多绝缘体材料 在移动和摩擦下，即使如金属一般的导体也会产生静电在移动和摩擦下，即使如金属一般的导体也会产生静电 设备和人体舒适所需要的温湿度要求环境有一定的干燥，设备和人体舒适所需要的温湿度要求环境有一定的干燥， 助长静电的产生助长静电的产生19静电序列静电序列（+）空气空气人类的手人类的手（-）锡面锡面动物的毛动物的毛玻璃玻璃头发头发晴纶晴纶羊毛羊毛毛皮毛皮铝铝绸子绸子纸纸棉棉木材木材铁铁铜铜银银金金硫磺硫磺PVC(塑料塑料)20 两物体接触分离或摩擦后两物体接触分离

9、或摩擦后, 排在前面的带正电排在前面的带正电, 后面的带负电后面的带负电; 距离越远距离越远, 摩擦电压越高摩擦电压越高; 人类认识的不足人类认识的不足: 不同列表有所差异不同列表有所差异; 循环现象循环现象; 反向现象反向现象； 应用时不可作为硬标准。应用时不可作为硬标准。静电序列静电序列21典型的工业静电放电特性典型的工业静电放电特性 放电时间放电时间数纳秒数纳秒 数微秒数微秒( RC ) (能够在短至能够在短至0.5 nsec 内放电内放电) 放电电流量放电电流量 数安培数安培( I = Q / t ) 峰值功率峰值功率 数数KW ( I or V ) 产生的高频电场产生的高频电场 1

10、MHz 1 GHz 产生的电感电压产生的电感电压= Ldidt22 各类半导体材料抗静电能力之比较各类半导体材料抗静电能力之比较(NEPCON/ WEST Report) 晶片晶片种类种类 静电静电破破坏电压坏电压(Volts) MOSFET 100200 EPROM 100 JFET 1407,000 Op-Amp 1902,500 CMOS 2503,000 SCHOTTKY DIODE 3002,500 TTL 3002,500 Bipolar Transistor 3807,000 ECL 500 SCR 68010,000 半导体产品抗静电能力半导体产品抗静电能力一般来说一般来说,

11、静电电压大于静电电压大于50伏伏, 一般零件都可能被损害或降低等级一般零件都可能被损害或降低等级.23ESD电子器件的破坏电子器件的破坏即使是相当小的静电放电也可能损坏电子器件！即使是相当小的静电放电也可能损坏电子器件！静电敏感器件的英文缩写静电敏感器件的英文缩写ESDSBipolar ICESD damageField failureHBM simulation failure24ESDS 有多敏感有多敏感?人体人体30V的静电就会损坏一些敏感器件的静电就会损坏一些敏感器件一些器件自身一些器件自身10V静电放电就可能损坏静电放电就可能损坏25ESD 造成的破坏造成的破坏半导体是最容易受到静电

12、破坏的器件半导体是最容易受到静电破坏的器件.常见的破坏有常见的破坏有: 氧化层击穿氧化层击穿 界面过热烧损界面过热烧损 金属熔化金属熔化 以上的混合模式以上的混合模式26Metallization burnoutESD 造成的破坏造成的破坏静电破坏前静电破坏前静电破坏后静电破坏后27如果产品带有如果产品带有1000V的静电，产品会被破坏吗？的静电，产品会被破坏吗？ 1000V的静电不会破坏产品的静电不会破坏产品换流器（I/V）换流器高周波化的电流容易换流器高周波化的电流容易电荷的形式引起漏电电荷的形式引起漏电由于对检查端座进行了接续、带电前漏电被接地了，所有不会破坏产品。【注意事项注意事项】只

13、要用离子风机除静电就可以了吗？只要用离子风机除静电就可以了吗？ 经常会发生漏电，所以电离器也会无效（只有采用产品接地（经常会发生漏电，所以电离器也会无效（只有采用产品接地（GND）才可以避免）才可以避免）换流器（I/V）在只带电的情况下，产品不会马上被破坏在只带电的情况下，产品不会马上被破坏怎样作产品会被破坏呢？怎样作产品会被破坏呢？ 带有的电荷一次性流出来时（电流化）就会破坏产品。带有的电荷一次性流出来时（电流化）就会破坏产品。+1000V静电静电显示器的电路接触到地线时，积集在显显示器的电路接触到地线时，积集在显示器上的电荷瞬间流入示器上的电荷瞬间流入GND，产品就会，产品就会被静电破坏被

14、静电破坏 （瞬间的电流量超过了电路的容许值）（瞬间的电流量超过了电路的容许值）回路被破坏的带电界限回路被破坏的带电界限=300V【注意事项注意事项】GND只是把电源的接地线作为对象物吗？只是把电源的接地线作为对象物吗？ 只要导体（金属类）自身携带有电量，即使不接触只要导体（金属类）自身携带有电量，即使不接触GND也会吸收电荷。也会吸收电荷。例）把产品装入托盘时，产品的输入基板接触到了旁边显示器的外壳部，显例）把产品装入托盘时，产品的输入基板接触到了旁边显示器的外壳部，显示器的屏蔽外壳被接地化了（形成回路），电流的流动导致产品被破坏。示器的屏蔽外壳被接地化了（形成回路），电流的流动导致产品被破坏

15、。静电是怎样破坏产品的？静电是怎样破坏产品的？28ESD对电子业造成的损失对电子业造成的损失29ESD控制获得的收益控制获得的收益 IC 制造商制造商( 高速高速bipolar LSI ) 质量改进由质量改进由22% 达到达到100% IC 制造商制造商( NMOS-LSI) 制作质量损失下降了制作质量损失下降了50%, 并获得并获得800% 的的R.O.I. PCBA 组装加工厂组装加工厂 13% 的生产质量改善，以及市场返修率下降了的生产质量改善，以及市场返修率下降了1.5% 半导体制造商半导体制造商(低功率低功率Schottky-TTL ICs) 废品率从废品率从2.6% 降至降至0.2

16、1%30ESD 破坏的风险破坏的风险微型化和更高度集成不利于静电防护微型化和更高度集成不利于静电防护对静电的破坏更加敏感对静电的破坏更加敏感!USA 1206 0805 0603 0402 0201Japan 3216 2012 1608 1005 050231ESD 破坏的风险会逐级放大破坏的风险会逐级放大32缺乏管制意识的主要原因缺乏管制意识的主要原因1. 人体能感觉出静电存在的水平为人体能感觉出静电存在的水平为2,000 4,000V, 但敏感但敏感 器件只须器件只须 100V便能被损坏便能被损坏( 大部分大部分 1,000V ).2. 大部分的静电破坏是潜在的大部分的静电破坏是潜在的,

17、 并不能够被马上识别出并不能够被马上识别出.3. 静电破坏现象有较差的重复性静电破坏现象有较差的重复性, 并且不容易模拟并且不容易模拟.4. 找出静电破坏的证据和根源一般相当不容易找出静电破坏的证据和根源一般相当不容易, 而且成本而且成本 可能很高可能很高. ( ESD 破坏常被误判为破坏常被误判为EOS 损坏损坏)5. 缺乏培训和对问题的重视缺乏培训和对问题的重视.33ESD防护的基本技术手段防护的基本技术手段1. 等电位等电位2. 接地接地3. 中和中和4. 阻值控制阻值控制5. 静电场屏蔽静电场屏蔽6. 湿度控制湿度控制7. 材料选择和工艺控制避免产生静电材料选择和工艺控制避免产生静电8

18、. 敏感器件的标注敏感器件的标注9. 保护电路和结构设计提高抗静电能力保护电路和结构设计提高抗静电能力34等电位等电位基本原理：基本原理：让可能接触敏感器件让可能接触敏感器件的所有表面处于等电的所有表面处于等电位状态，避免静电放位状态，避免静电放电发生。电发生。做法：做法：所有可能接触器件的物所有可能接触器件的物体使用并联连接（共同连接点）体使用并联连接（共同连接点）35接地接地基本原理：基本原理： 将静电通过接地线或接将静电通过接地线或接 地装置传导泄放到大地地装置传导泄放到大地.做法：做法： 建立静电接地系统建立静电接地系统 使用静电导电或静电耗散使用静电导电或静电耗散 材料并接入材料并接

19、入ESD接地系统接地系统 人体佩戴手腕带，并接入人体佩戴手腕带，并接入 ESD接地系统接地系统 人体穿防静电鞋人体穿防静电鞋36中和中和(离子化离子化)做法：做法： 离子风机、离子风枪、离子棒离子风机、离子风枪、离子棒基本原理：基本原理： 电离空气产生正负离子，电离空气产生正负离子， 中和静电电荷。中和静电电荷。使用对象：使用对象： 绝缘体或静电太大接地绝缘体或静电太大接地 泄放太慢的情况泄放太慢的情况除静电离子风机除静电离子风机除静电离子风枪除静电离子风枪(配高压变压器配高压变压器) 37电阻控制电阻控制基本原理：基本原理： 通过电阻控制通过电阻控制, 控制过强的静控制过强的静 电泄放或放电

20、电泄放或放电, 同时保证人体同时保证人体 安全安全.做法：做法： 静电耗散材料的使用静电耗散材料的使用; 连接安全限流电阻连接安全限流电阻.38静电场屏蔽静电场屏蔽基本原理：基本原理： 屏蔽静电场屏蔽静电场 阻隔静电放电电流通过敏感器件阻隔静电放电电流通过敏感器件做法：做法： 静电屏蔽材料和屏蔽容器的使用静电屏蔽材料和屏蔽容器的使用 绝缘材料和阻隔结构绝缘材料和阻隔结构39湿度控制湿度控制做法：做法： 控制湿度在控制湿度在3070%.基本原理：基本原理： 增加湿度减少静电的增加湿度减少静电的 产生产生, 降低摩擦电压降低摩擦电压.4034材料选择和工艺控制避免产生静电材料选择和工艺控制避免产生

21、静电 做法：做法： 使用抗静电材料使用抗静电材料; 使用抗静电剂使用抗静电剂.基本原理：基本原理： 通过使用不产生或产生静电小通过使用不产生或产生静电小 的材料的材料, 减少静电减少静电; 材料表面光洁材料表面光洁, 减少静电减少静电; 静电序列的应用静电序列的应用.41ESD防护的安全性考虑防护的安全性考虑 防止意外漏电等情况：防止意外漏电等情况： 1. 安全电流：安全电流：5mA 2. 限流电阻：限流电阻：1M 3. 安全电阻的上限：安全电阻的上限：109(静电泄放的需要静电泄放的需要) 4. 漏电断电保护器漏电断电保护器 其他安全考虑：其他安全考虑： 1. 出现危险时容易脱开出现危险时容

22、易脱开 2. 无腐蚀无腐蚀, 无刺激等无刺激等42ESDS器件警示标志器件警示标志共同接地点标志共同接地点标志ESD标志和标注标志和标注ESDS保护标志保护标志43ESD标志和标注标志和标注接地点标志接地点标志(一般用于设备一般用于设备)可能含高电压的可能含高电压的EPA标志标志防静电区防静电区(EPA)标志标志44ESD标志和标注标志和标注早期的静电敏感器件标早期的静电敏感器件标志志, 现在还有少数产品现在还有少数产品在用在用警示标带警示标带, 可用于多种区域可用于多种区域可回收使用标志可回收使用标志, 常用于包装上常用于包装上45ESD防护材料界定防护材料界定 Conductive Mat

23、erials导电材料：导电材料： 表面电阻率小于1x 105 /square,或其体积电阻率小于 1x 104 -CM Static Dissipative Material静电耗散材料：静电耗散材料： 表面电阻率1x 105 /square1x 1012 /square, 或 其体积电阻率1x 104 -CM1x 1011 -CM Anti-Static Material 抗静电材料：抗静电材料： - 能抑制摩擦生电的材料 - 摩擦电压200V以下的材料 - 抗静电材料没有表面电阻率或体积电阻率的要求.46 Insulating Material l 绝缘材料：绝缘材料： 表面电阻率大于1x

24、1012或体积电阻率大于1x1011的材料 (EIA-625-1994; ESDA ADV 1.0-1994) Static Shielding Material 静电屏蔽材料：静电屏蔽材料： 可防止元件遭受外界的静电场破坏的一种防护屏障表面 电阻小于1.0 x 103 的材料ESD防护材料界定防护材料界定47ESD防护材料界定防护材料界定48建立防静电工作区建立防静电工作区(EPA)EPA (Electrostatic discharge Protected Area) 的含义就是静电放电保护工作区的含义就是静电放电保护工作区.EPA就是能够提供器件保护条件的工作区域就是能够提供器件保护条件

25、的工作区域.49保护区设置保护区设置涉及到敏感器件的场地就应当设置为保护区，常见的保护区有涉及到敏感器件的场地就应当设置为保护区，常见的保护区有以下几种情况：以下几种情况：类型类型要求要求涉及部门涉及部门完整包装敏感器的完整包装敏感器的存储存储集中存放，警示提醒集中存放，警示提醒原料仓库原料仓库备料仓库备料仓库不完整包装敏感器不完整包装敏感器件的存储件的存储与敏感器件操作区与敏感器件操作区相同要求相同要求备料仓库备料仓库原料仓库原料仓库敏感器件的操作区敏感器件的操作区(台台)警示、接地、等电位、警示、接地、等电位、静电压控制、绝缘材静电压控制、绝缘材料控制、操作要求料控制、操作要求生产线、检测

26、台、生产线、检测台、分料台、维修返分料台、维修返工台工台50静电防护的基本原则静电防护的基本原则原则一：静电敏感器件打开包装的操作只能在原则一：静电敏感器件打开包装的操作只能在EPA 中进行。中进行。原则二：离开原则二：离开EPA的敏感器件必须使用屏蔽包装或的敏感器件必须使用屏蔽包装或 容器存放或运送容器存放或运送原则三：定期检测所安装和使用的静电防护用品是原则三：定期检测所安装和使用的静电防护用品是 否正常否正常原则四：确保供应商明白和遵守以上原则原则四：确保供应商明白和遵守以上原则51进入进入EPA的基本要求的基本要求 穿戴合格的防静电用品：防静电服、防静电鞋、防静穿戴合格的防静电用品：防

27、静电服、防静电鞋、防静 电手腕带，并通过检测后方可进入。电手腕带，并通过检测后方可进入。 防静电区的工作人员有权有义务监督外来人员按照要防静电区的工作人员有权有义务监督外来人员按照要 求进入求进入EPA，对于不符合要求的人员，可以拒绝其进，对于不符合要求的人员，可以拒绝其进 入。入。 每次进入每次进入EPA都进行手腕带和鞋的检测。都进行手腕带和鞋的检测。52EPA中的工作规范中的工作规范 操作敏感器件之前一定要戴好手腕带，并确保接好接地后操作敏感器件之前一定要戴好手腕带，并确保接好接地后 再进行操作。再进行操作。 外来人员需工作区人员同意才能进入工作区。进行操作或外来人员需工作区人员同意才能进

28、入工作区。进行操作或 检查前必须戴好手腕带，并接好地。检查前必须戴好手腕带，并接好地。 使用离子风机的工作台，必须先开离子风机再进行操作，使用离子风机的工作台，必须先开离子风机再进行操作， 工作完毕后再关离子风机工作完毕后再关离子风机 桌面保持清洁，不必要的物品一律移出工作区桌面保持清洁，不必要的物品一律移出工作区 不可避免的绝缘材料放入屏蔽袋或远离敏感器件不可避免的绝缘材料放入屏蔽袋或远离敏感器件30厘米厘米 以上以上 在填写记录区填写资料在填写记录区填写资料53桌面的处置桌面的处置 每天检查接地扣是否正确接地，保证接地连接牢固每天检查接地扣是否正确接地，保证接地连接牢固 使用耗散材料，避免

29、过强的放电电流使用耗散材料，避免过强的放电电流(有敏感器件操有敏感器件操 作的不锈钢台面必须铺防静电桌面垫）作的不锈钢台面必须铺防静电桌面垫） 注意防静电台垫清洁剂必须得到注意防静电台垫清洁剂必须得到ESD工程师的许可工程师的许可54工作区静电源的防范工作区静电源的防范 注意可能产生静电的绝缘材料：注意可能产生静电的绝缘材料： 普通塑料包装袋、文件袋、泡棉等普通塑料包装袋、文件袋、泡棉等 塑料凳子塑料凳子 笔、键盘、鼠标笔、键盘、鼠标 CRT显示器显示器 纸张纸张: 有可能是也有可能不是有可能是也有可能不是, 因此首先要有因此首先要有ESD协管员评估协管员评估 有时黑色的包装材料也可能是绝缘材

30、料有时黑色的包装材料也可能是绝缘材料x55防静电贴面地板防静电贴面地板 成分：成分：PVC树脂、导电材料、增塑剂、稳定剂、填料树脂、导电材料、增塑剂、稳定剂、填料 厚度厚度(mm)：1.0 1.2 1.5(板面使用板面使用) 2.0 2.5 3.0(地面使用地面使用) 系统电阻：导静电型系统电阻：导静电型 106，静电散耗型，静电散耗型106-109 保养：现场温度不低于保养：现场温度不低于15，理想温度为，理想温度为20-29 56防静电桌面垫防静电桌面垫 确保工作界面静电足够小和工作表面接地而设计确保工作界面静电足够小和工作表面接地而设计 静电泄放电流控制静电泄放电流控制 容易接地容易接地

31、 摩擦电压小摩擦电压小 寿命长，耐磨损寿命长，耐磨损 耐热、抗常规腐蚀耐热、抗常规腐蚀 多层结构多层结构: 面层为耗散材料面层为耗散材料,下层为导电材料下层为导电材料 面层一般为内混式抗静电剂制成面层一般为内混式抗静电剂制成(可能对酒精、丙酮等非可能对酒精、丙酮等非 极性清洗剂敏感极性清洗剂敏感)。技术参数技术参数表面电阻表面电阻107-109底面电阻底面电阻103-105体积电阻体积电阻105-108磨耗率磨耗率 0.02g/cm2散电散除时间散电散除时间 0.1s57设备和工具设备和工具 设备要有良好的故障及安全接地设备要有良好的故障及安全接地 防静电工作区中设备的按钮、按键、手柄等防静电

32、工作区中设备的按钮、按键、手柄等 部位使用防静电材料或进行防静电剂处理部位使用防静电材料或进行防静电剂处理 有直接接触敏感器件的金属面有直接接触敏感器件的金属面, 应加添防静电应加添防静电 台垫台垫, 并接地并接地.58周转用品周转用品 敏感器件的周转容器敏感器件的周转容器 使用静电耗散或导静使用静电耗散或导静 电材料电材料 EPA内容器接地内容器接地 (软软 接地接地) 移出移出EPA的容器屏蔽的容器屏蔽 措施措施: 须加盖或层叠须加盖或层叠 形成封闭空间形成封闭空间.*表面电阻103-106*可订做任何规格表面电阻表面电阻103-10659移动设备移动设备 接地接地 桌面垫的使用桌面垫的使

33、用 (注意注意 接地和相互间的连接接地和相互间的连接)注意接地的吊链不要断开注意接地的吊链不要断开60人体静电的泄放途径人体静电的泄放途径1、人体接地：、人体接地： 站立状态通过防静电鞋、站立状态通过防静电鞋、 脚束带经防静电地板接脚束带经防静电地板接 入接地系统入接地系统 坐姿通过手腕带坐姿通过手腕带, 经共同经共同 接地点接入接地系统接地点接入接地系统 2、屏蔽：、屏蔽： 防静电服、防静电帽防静电服、防静电帽61手腕带手腕带 所有与静电释放敏感产品和设所有与静电释放敏感产品和设 施有直接接触的人员在加工中施有直接接触的人员在加工中 或在成品处理中必须佩戴腕带或在成品处理中必须佩戴腕带. 作

34、业员在每班开始前必须用腕作业员在每班开始前必须用腕 带测试仪检查其连续使用性带测试仪检查其连续使用性,并并 在在ESD日检表上作记录。发现日检表上作记录。发现 有不合格的须立即进行更换，有不合格的须立即进行更换， 直到检测合格为止。直到检测合格为止。62佩戴防静电手腕带注意事项佩戴防静电手腕带注意事项1. 手腕带必须贴紧皮肤手腕带必须贴紧皮肤, 不要戴在衣服或手套上；不要戴在衣服或手套上；2. 皮肤干燥的员工皮肤干燥的员工, 如果测试失败如果测试失败, 可在再次测试可在再次测试 前前, 在戴手腕带处抹一些专用皮肤霜在戴手腕带处抹一些专用皮肤霜, 以增加皮以增加皮 肤的导电性肤的导电性.x63手

35、腕带测量仪的使用与测试手腕带测量仪的使用与测试基本原理：基本原理：测量配戴后的对地电阻测量配戴后的对地电阻LOW设置设置750KHIGH设置设置10M100M(通常为通常为10M）指示指示校准依据校准依据声响声响低低(红色红色)R9M无无测试方式：测试方式：1. 戴好腕带戴好腕带,把插头插入标有把插头插入标有 “WRIST CORD” 标志的插孔内标志的插孔内.2. 按住表面金属测试按键按住表面金属测试按键,保持保持5-10秒钟秒钟.3. 如果绿色如果绿色 “PASS” 指示灯亮指示灯亮,则表示腕带功则表示腕带功 能正常能正常.4. 如果红色的如果红色的 “FAIL LO” 或或 “FAIL

36、HI” 指示指示 灯亮同时伴有响灯亮同时伴有响 声声,则表明腕带功能不正常则表明腕带功能不正常, 需要立即检查需要立即检查.64其他防静电仪器和检测设备其他防静电仪器和检测设备 表面电阻测试仪表面电阻测试仪 兆欧仪兆欧仪 数字静电场测试仪数字静电场测试仪 接地保护检测控制器接地保护检测控制器 脚腕带与手腕带测试仪脚腕带与手腕带测试仪 65防静电服防静电服 屏蔽作用防止衣物产屏蔽作用防止衣物产 生的静电场生的静电场 通过与身体的接触，通过与身体的接触， 将静电通过人体手将静电通过人体手 腕带防静电鞋泄放腕带防静电鞋泄放 到大地到大地 防静电服的技术要求：防静电服的技术要求： 1) 布片之间相互导

37、通布片之间相互导通 2) 与人体有效接触与人体有效接触 3) 覆盖内部衣物覆盖内部衣物66工衣的穿着和检测工衣的穿着和检测工衣的穿着工衣的穿着 扣好衣扣扣好衣扣, 保证覆盖内部衣物保证覆盖内部衣物; 保证袖口松紧完好保证袖口松紧完好, 并避免内部并避免内部 衣物露出袖口衣物露出袖口.工衣的检测工衣的检测 兆欧表检测测试平台兆欧表检测测试平台, 保证阻值保证阻值 11012； 检测袖对袖及衣襟点对点阻值检测袖对袖及衣襟点对点阻值x67防静电鞋防静电鞋 每天在人体综合阻每天在人体综合阻 值测量仪上检测穿值测量仪上检测穿 戴后能否达到要求戴后能否达到要求. 洗涤后洗涤后, 或被酒精丙或被酒精丙 酮等

38、溶剂浸渍后检酮等溶剂浸渍后检 测电阻值是否符合测电阻值是否符合 要求要求. 脚束带、防静电鞋脚束带、防静电鞋 套佩戴时导电带一套佩戴时导电带一 定要通过紧贴皮肤与定要通过紧贴皮肤与 人体连接人体连接.68防静电鞋的检测防静电鞋的检测 人体综合阻值测量仪人体综合阻值测量仪 Static Shoes/Wrist Strap Tester 基本原理：测量对地电阻基本原理：测量对地电阻 LOW设置设置750KHIGH设置设置10M100M(通常为通常为10M)鞋的测量应当左右脚分开鞋的测量应当左右脚分开说明：说明： 准确测量静电手环及两脚之电阻准确测量静电手环及两脚之电阻,从从10M至至750M。 将

39、测量结果与预设制值比较并自动将结果输入至电脑作统计显示将测量结果与预设制值比较并自动将结果输入至电脑作统计显示 Pass/Fail限制值可调整。限制值可调整。69防静电鞋测试方式防静电鞋测试方式 放一只脚于底盘上放一只脚于底盘上,假如已铺设导电地板假如已铺设导电地板,那么必须抬起那么必须抬起 另外一只脚离开地板另外一只脚离开地板,并且确信并且确信 “WRIST CORD” 插座插座 无插头插入无插头插入. 按住表面金属测试按键按住表面金属测试按键,保持保持5-10秒钟秒钟. 如果绿色如果绿色 “PASS” 指示灯亮指示灯亮,则表示静电鞋功能正常则表示静电鞋功能正常. 如果红色的如果红色的 “F

40、AIL LO” 或或 “FAIL HI” 指示灯亮同时指示灯亮同时伴伴 有响声有响声,则表明静电鞋功能不正常则表明静电鞋功能不正常,需要立即检查需要立即检查. 换另一只脚重复上述步骤换另一只脚重复上述步骤.70线路板的持拿线路板的持拿正确的持拿方法如图所示：正确的持拿方法如图所示：71ESDS产品的运输、存放和操作器具产品的运输、存放和操作器具1. 在运输和存放在运输和存放ESDS产品时应使用防静电袋、防静产品时应使用防静电袋、防静 电货架、防静电推车和防静电周转容器电货架、防静电推车和防静电周转容器;2. 防静电货架必须铺垫防静电垫防静电货架必须铺垫防静电垫, 并接地并接地;3. 运输用的防

41、静手推车和转运车的表面必须覆盖上防运输用的防静手推车和转运车的表面必须覆盖上防 静电垫静电垫, 每层之间相互连接每层之间相互连接;4. 推车的轮子必须是导电轮或使用金属链条拖地接地推车的轮子必须是导电轮或使用金属链条拖地接地.72防静电包装袋防静电包装袋注意注意: 防静电包装袋应标注防静防静电包装袋应标注防静电标志电标志, 以示区别！以示区别！屏蔽袋、防潮袋最安全的包装袋屏蔽袋、防潮袋最安全的包装袋导电袋导电袋, 一般为永久性防静电材料一般为永久性防静电材料暂时性防静电材料制成的包装暂时性防静电材料制成的包装袋袋, 需要定期评估需要定期评估表面电阻：表面电阻：1011 73防静电材料的种类防静电材料的种类 防静电材料按防静电防静电材料按防静电有效性时间长短分为：有效性时间长短分为：永久性防静电材料；永久性防静电材料；暂时性防静电材料；暂时性防静电材料； 永久性防静电材料一永久性防静电材料一般使用填充添加炭粉、般使用填充添加炭粉、碳纤维、金属及金属碳纤维、金属及金属氧化物等工艺制成。氧化物等工艺制成。暂时性防静电材料一暂时性防静电材料一