液体静压导轨设计(论文)_百度文库

1、毕业设计(论文题 目： 液体静压导轨设计 姓 名： 指导教师： 专 业： 机械设计与制造 层 次： 成绩评定表指导教师评语及评分论文评分指导教师（签名） 年 月 日评审教师评语及评分评审评分组长（签名） 年 月 日综合评分成 绩评定人签名 年 月 日毕业论文（设计）任务书题 目液体静压导轨设计学生姓名专业机械设计与制造层次专科学号指导教师任务书下达时间概述： 液体静压导轨时将具有一定压力的油液经过进油孔送入导轨上开设的油腔中，形成承载的压力，将运动导轨微浮起，使两导轨间形成极薄的油膜，且油膜厚度基本保持恒定不变的一种纯液体摩擦的滑动导轨。此种导轨无磨损，无静摩擦力，无低速爬行现象，阻尼系数大。

2、但设计、制造、使用均较复杂。要求阅读或检索的参考资料及文献（包括指定给学生阅读的外文资料）：1高钟毓主编.机电一体化系统设计.北京：机械工业出版社，2000;2王昆，何小柏，汪信远主编.机械设计课程设计.高等教育出版社,1995年12月第一版；3濮良贵，纪名刚主编.机械设计.高等教育出版社，濮良贵，纪名刚主编，2001年7月第七版；4洪钟德主编.简明机械设计手册.同济大学出版社.2002年5月第一版；5刘希平主编.工程机械构造图册.机械工业出版社目录前言 11导轨概述 21.1导轨的作用和特点 31.2导轨设计的基本要求 31.3低速运动的平稳性分析 62 液体静压导轨设计 82.1静压导轨的

3、工作原理及特点 82.2液体静压导轨的结构设计 92.3节流器 122.4静压导轨的设计计算 16结论 18致谢 19参考文献 19摘要开式液体静压导轨具有运动精度高，磨擦功耗小与导面寿命长的特点。但由于传统节流器性能差，节流参数选择不当，再加上导轨工作面制造精度不高故这种导轨在实际应用中效果不佳。开式液体静压导轨具有两有两大特征，即：导轨间隙上浮不受限制与每个滑囊承受的载荷范围很大，但这两个特征过去常被忽视导致应用效果不够理想，现在社会对此种导轨在采用新型可变节流器与选择最佳节流比或最佳供油压力就能保证在大载荷范围内导轨间隙近于不变，很有实用价值。应用平圆组合导轨可提高工作面制造精度有助于实

4、现导轨间隙近于不变，故可大大提高运动精度。关键词：开式静压导轨 节流器 使用价值 导轨间隙前言导轨副用于引导运动部件的走向，保证执行件的正确运动轨迹，并通过摩擦和阻尼影响执行件的运动特性，如定位精度和低速均匀性。导轨副包括运动导轨和支撑导轨两部分。支撑导轨用以支撑和约束运动导轨，使之按要求作正确的运动。而对导轨副的性能要求是：导向精度、接触精度、精度保持性以及低速运动稳定性。我们知道，液体静压导轨是将具有一定压力的油液经过进油孔送入导轨上开设的油腔中，形成承载的压力，将运动导轨微浮起，使两导轨间形成极薄的油膜，且油膜厚度基本保持恒定不变的一种纯液体摩擦的滑动导轨。液体静压导轨无磨损，无低速爬行

5、现象，阻尼系数大。因此，此导轨可用于需平稳运动，磨损大的场合。应注意的是，液体静压导轨静压导轨设计、制造、使用均较复杂。所以，我们在设计液体静压导轨，应从这些方面入手，去设计出能克服这些方面问题的导轨，尽量让它做到大众化。从这个角度考虑，液体静压导轨的设计还有许多的地方需要完善，需要去克服，需要去解决。在21世纪的今天，更是机械与电子紧密发展的社会，其中，对导轨的广泛应用更是方便现代工业制造，例如，数控机床、车床、铣床等应用。导轨在此过程中更是具有重要作用。导轨就成了这些机械的关键部件。1导轨概述1.1导轨的作用和特点如图1-1所示的导轨副，运动构件1的导轨，称为动导轨，常见的为工作台，拖板或

6、溜板的导轨；支撑件2的导轨，称为静导轨，常见的为床身导轨。由于动导轨沿静导轨作定向运动，运动的直线直接影响到系统的工作精度。因此导轨在机电一体化系统中具有重要的作用，其特点是： 图1-11.工作运动的速度低，精度机械常要求工作台移动速度为0.55mm/min的低速度情况下运动不爬行。所以设计时要考虑低速爬行问题。 2.导轨工作部分刚性较差，对于一般机械和仪器工作台的静导轨，既长又薄，是系统中刚性最薄弱的环节。3.受力较复杂，计算较困难。4.大形导轨加工的工作量较大，需要专门机床加工或手工刮研。1.2导轨设计的基本要求导轨设计的基本要求是：导向精度高、刚度大、耐磨、运动灵活和平稳。一些高精度的导

7、轨，还要求导轨的承载面与导向面严格分开，对承载大的动导轨设置卸荷装置、设计导轨的支承时必须符合运动学原理或误差平均原理。1.导向精度导向精度是导轨副主要技术指标。导向精度是指导轨副中运动件沿给定方向作直线或旋转运动的准确程度。运动件实际运动方向对于给定方向的偏差越小，说明导轨精度愈高。一般高精度的导轨要求精度为0.1um/1000mm。所以，导向精度首先是指导轨自身形状的准确性，其次是与其他有关基准相互位置的准确性。导向精度的高低主要取决于导轨面的集合精度及装配精度。这里着重介绍直线运动导轨几何精度的几项指标。（1）导轨在水平平面内和垂直平面内的直线度图1-2（a）、1-2(b所示为V形导轨在

8、水平平面内和垂直平面内的直线度，其误差为。 （a）在水平面内 （b）在垂直平面内图1-2 导轨的直线度根据工作要求不同，导轨在水平面内或垂直面内直线度误差对测量或加工结果会造成不同的影响。如图6-3所示，设静导轨在垂直平面内的直线度误差是按抛物线M分布的，全长直线度误差为。动导轨紧贴在静导轨上运动，则跟导轨一起运动的工件误差为=·(/L ² 。按此公式即可求出在静导轨全长L=1500mm,直线度误差=0.03mm，工件长度为500mm时的工件直线度误差=0.0033mm。由此可知，导轨在垂直面内直线误差对平面工件的加工精度影响较大。因此导轨精度的确定，需根据具体情况而定。（

9、2）导轨间的平行度和垂直度对于坐标镗床、坐标测量机、CNC齿轮测量中心，除要求单个导轨的精度外，还要求两导轨间的平行度，如图6-4所示，及两导轨或三导轨间的垂直度。因为导轨间的微小垂直误差都会造成较大的加工或测量误差。实际上动导轨运动时的误差是很复杂的，是上述几项误差的综合影响使运动件产生x、y、z轴平移或微小转动。对于高精度机电一体化系统而言，导轨误差是系统总误差的主要部分。因此，提高系统中运动部件的运动精度，一般应从提高导轨的制造精度着手，这是最根本的措施。 图1-3 导轨在垂直平面内的直线 图1-4 两导轨面的平行度度误差对工作平面加工件平面加工精度的影响2.耐磨性导轨精度除符合出厂要求

10、外，还必须使这个精度在一定的期限内不变或少变，也就是说习惯上所说的“精度保持性”问题。实践证明，不少精密设备使用多年仍有较好的精度，有些则精度降低很快，甚至失效，其原因虽然很多，但耐磨是主要的因素。导轨磨损就要进行大修，很不经济。所以，提高导轨耐磨性是提高产品质量的主要内容之一。3.刚度导轨的刚度是之外力作用下导轨本身抵抗变形的能力（它不包括床身或基座对导轨变形的影响）。由于工作台、工件等运动部件质量的作用，导轨的变形是绝对的，变形后的导轨必然影响加工或测量的精度。4.低速运动平稳性导轨应有低速运动平稳性，无爬行、摆动现象。5.热变形当环境温度变化时，导轨的变形要尽量小。表1-1给出了各种导轨

11、的性能比较项目优良标志金属滑动导轨高分子材料滑动导轨滚动导轨液体静压导轨空气静压导轨磁力导轨摩擦系数小差差良良优优粘性系数小差中良优优优平行精度高差中良优优良转角精度高差中中优优良刚度大优优优良差差振动、衰减大差良差良良优最高速度高差差良良优优发热量小差差良中优良温度影响小差差优良中良寿命长中良良优优优成本低优优良差差差1.3低速运动的平稳性分析在精密或数控机械设备中，某些进给运动的执行部件在连续或间断进给时，经常要作低速或微小的位移（0.051mm/min或0.00010.002mm/次），在低速运动下，主动件虽作等低速运动，从动件却往往会出现明显的速度不均匀性。如图1-5所示的工作他该传动

12、简图，当丝杠1作极低的匀速运动时，工作台2可能会出现一快一慢或跳跃式的运动，这种现象称为爬行。在间歇进给的微位移装置中也会出现爬行。爬行是引起低速微动不平稳的主要因素。 图1-5 工作太传动简图 图1-6 工作台传动系统的力学模型1.产生爬行的原因和过程产生爬行的原因和过程，可用图1-6所示的力学模型分析。主动件1以匀速移动，通过传动件2（例如齿轮、丝杠螺母副等）推动从动件3（如工作台）。在工作工程中，传动系统并不是绝对刚体，它要克服阻力来推动从动件，并且每个传动件还会产生弹性变形，所以可将其简化为一个弹簧，其刚度为K。从动件3的质量为m。当主动件按图示方向开始作匀速运动时，由于摩擦力的作用，

13、这时的从动件并不移动，而是压缩弹簧；当压缩到一定程度，其弹簧力超过静摩擦力的瞬时，从动件开始移动，此时静摩擦变为动摩擦，摩擦阻力突然降低，因此弹簧的弹性力大于动摩擦力，使从动件加速向前移动，产生所谓跳跃运动状态。由于从动件向前移动后使弹簧变形减小，弹性力减小，当弹性力减小到等于动摩擦力时，对从动件没有推动力，但由于惯性还要向前移动一段距离才静止。由于主动件继续匀速运动，这种跳跃静止的现象便反复交替出现，形成了从动件的爬行现象。如果主动件运动速度较高，从动件在一个运动循环之末速度还未降到零，弹簧就又被压缩而导致从动件开始下一个循环，则在运动的开始阶段，从动件的运动快慢不均，但由于传动件间存在着粘

14、性阻尼，如图1-6中的阻尼器4，其快慢不均的振幅将逐步衰减，过一定时间后，从动件的运动速度就接近于主动件的匀速运动，即较高速的进给系统没有爬行现象。由上述分析可知，低速进给爬行现象的产生主要取决于下列因素。（1）静摩擦力与动摩擦力之差，这个差值越大，越容易产生爬行。（2）进给传动系统的刚度K越小，越容易产生爬行。（3）运动速度太低。2.不发生爬行的临界速度实验表明，两个物体之间的摩擦系数是随着速度的变化而变化的。物体静止时的摩擦系数最大。一般，静摩擦系数总是大于动摩擦系数。两个物体间存在液体润滑时，摩擦系数将随速度发生变化，如图6-3.当两个物体开始有相对运动时，就由静摩擦系数下降为动摩擦系数

15、，然后动摩擦系数则随速度的增加而逐渐下降，这就时摩擦力的降落特性。这时两物体间也由于摩擦转化为半干摩擦，当速度增加到一定值时，完全转化为液体摩擦，摩擦性质发生质变，摩擦系数将随速度的增加而增大。摩擦系数最小时对应的移动速度称为临界速度Vk。当移动速度在小于临界速度Vk的范围内增加时，摩擦力也增大，而且只有动摩擦力存在，这时从动件的速度较大还来不及停下来产生静摩擦力，所以也就不会出现爬行现象。由试验及理论分析可知，当主动件的移动速度大于临界速度Vk时，进给系统就不会产生爬行现象。临界速度可按下式进行估算(1-1式中 F静、动摩擦力之差（N）K传动系统的刚度（N/m）阻尼比m从动件的质量（Kg）同

16、理，对于旋转进给系统，也有一个临界角速度k(1-2 式中 M静动摩擦力矩之差（N·m）;Km扭转刚度（N·m/rad）;I 转动从动件的转动惯量（kg·m²）3.消除爬行现象的途径爬行是影响进给精度的主要因素。为了提高进给精度，必须消除爬行现象，主要从提高传动系统的刚度和减少摩擦力的变化这两个方面采取措施。（1）提高传动系统的刚度a.在条件允许的情况下，适当提高各传动件或组件的刚度，减小各传动轴的跨度，合理布置轴上零件的位置。如适当的加粗传动丝杆的直径，缩短传动丝杆的长度，减少和消除各传动副之间的间隙。b.尽量缩短传动链、减小传动件数和弹性变形量。c.合

17、理分配传动比，使多数传动件受力较小，变形也小。d.对于丝杆螺母机构，应用整体螺母结构，以提高丝杆螺母的接触刚度和传动刚度。（2）减少摩擦力的变化a.用滚动摩擦、流体摩擦代替滑动摩擦，如采用滚珠丝杆、静压螺母、滚动导轨和静压导轨等，从根本上改变摩擦面间的摩擦性质，基本上可以消除爬行。b.选择适当的摩擦副材料，降低摩擦系数。c.降低作用在导轨面的正压力，如减轻运动部件的重量，采用各种卸荷装置，以减少摩擦阻力。d.提高导轨的制造与装置质量，采用导轨油等可以减少摩擦力的变化。表6-2中列出了各种材料摩擦面的摩擦系数。表1-2 各种材料摩擦面间的摩擦系数摩擦面材料静摩擦系数fb动摩擦系数fd差值f铸铁-

18、铸铁0.250.270.150.170.1钢-铸铁0.200.250.050.150.12钢-钢0.130.160.050.100.10钢-青铜0.150.200.100.150.05铸铁-青铜0.200.250.150.170.06铸铁-夹布塑料0.250.300.170.200.10铸铁-聚四氟乙烯0.050.070.020.030.03注：试验条件：压强0.2MPa，润滑油45号机械油。2 液体静压导轨设计液体静压导轨是将具有一定压力的油液经过进油孔送入导轨上开设的油腔中，形成承载的压力，将运动导轨微浮起，使两导轨间形成极薄的油膜，且油膜厚度基本保持恒定不变的一种纯液体摩擦的滑动导轨。2

19、.1液体静压导轨的工作原理及特点现以开式静压导轨的工作原理，说明静压导轨的工作原理。图1-15是恒压供油开式静压导轨系统的组成图，液体静压导轨通常将动导轨的面分成若干段，每段相当于一个独立的油垫，由油腔和封油面组成。来自油泵并经过虑的压力为图1-15 开式静压导轨工作原理1-油泵； 2-溢流阀； 3-滤油器； 4-节流器； 5-运动部件导轨； 6床身导轨；7-回油槽； 8-油腔； 9-封油边P。的油液，经节流器节流后压力降为P。进入导轨油腔，当油腔内的总压力升高到足以把动导轨浮起时动导轨和静导轨之间就被一层厚度为h。的油膜隔开，油腔中的油不断地穿过各封油面形成的封油间隙流回油箱，压力降低为零。

20、当动导轨受到外载W的作用时，动导轨向下产生一个位移，导轨间隙h。变为h(h 。 ，使封油间隙减小，造成油腔回阻力增大，在节流器的调节下油腔中的压力也相应增加，以平衡外载荷，并将动导轨的浮力 = 动量 |h 。 -h| 限制在微小的变化范围之内。液体静压导轨的主要优点有： 1.摩擦系数极小，约为0.0005；2.不会产生摩擦损伤，长期保持导向精度、寿命长；3.低速运动时不会产生爬行现象；4.油液有吸振作用，抗振性能好；5.具有误差平均效应，导轨副运动精度超过导轨自身的几何精度；6.运动速度变化和载荷变化对承载能力和刚度的影响较小。这种导轨的主要缺点是，结构较复杂，需要配置一套供油系统，且容易因漏

21、油而污染环境。液体静压导轨特别适用在各种大型、重型机械及精密数控机械工作台的运动的运动件上。2.2液体静压导轨的结构设计1.导轨结构图1-16为开式和闭式静压导轨的横剖面结构示意图1.油腔结构形式及数量表1-16所示为几种常用油腔的结构形式和尺寸，在选择油腔结构形式时，既要保证有足够的初始浮起推力，又要避免供油停止时此压过大造成过多的磨损。油腔的结构形式虽不同，但只要支座尺寸L、B和油腔的尺寸l 、 b对应相等就是有基本相同的有效面积。这时，矩形油腔的油压作用面积大，具有较大的初始浮起推力，但停止供油后主要靠周围的封油边承载，比压较大；而直槽形成H型油腔的油压作用面积小，初始浮动推力小，但停止

22、供油后导轨的承载面积大，比压小。一根导轨上油腔的数量取决于导轨长度、载荷分布情况及支承件的刚度，但直线运动导轨，每根导轨上的油腔不得少于两个。当动导轨长度在2m以下时，每根导轨面上设置24个油腔；动导轨长度在2m以上时，每个油腔的长度取0.22m，对于载荷分布较均匀而且机械系统的刚度较好时，油腔长度取大些，相应的油腔数目就少；否则相反。另外，直线往复运动导轨的油腔应开在短导轨上，长导轨应有足够的长度，保证在运动过程中油腔不露出；对于回转运动的静压导轨，为了方便进油，油腔一般开在静导轨上。图1-16 开式和闭式静压导轨直线运动开式静压导轨 直线运动闭式静压导轨（a）平-V形导轨；（b）双V形导轨

23、 （c）闭式导轨在床身一条导轨两侧（d）闭式导轨在床身两条导轨内侧 （e）闭式导轨在床身两条导轨上、下和一条导轨两侧（f）闭式导轨在床身上呈三角形布局表1-6 油腔的结构形式及尺寸结构形式导轨宽度Bl/b12油槽深405084607080100 100140>4>4>41520308101245680110100140<4<42030101256150190 200 3040121566注： 如果油腔之间距离小于（B-b）时，就必须以回油槽隔开3.导轨的技术要求（1）导轨间隙 导轨间隙（即油膜厚度h。）越大，流量越大，刚度越小，导轨易出现飘移。导轨间隙小，流量也小

24、，刚度增大，运动平稳性好。由于导轨的几何精度，表面粗糙度，零部件刚度和节流器尺寸的影响，导轨间隙不能无限制取小。目前，空载时的导轨间隙常取为h。=0.010.08mm，根据设备的大小h。相应取偏大或偏小。（2）导轨的几何精度 根据摩擦性质，静压导轨在工作中应始中有一层油膜将两导轨分开。所以，在导轨的接触长度范围内，导轨的几何精度误差总和应小于导轨的间隙。一般取短熬过全长的直线度和平行度不超过导轨间隙的1/31/4。（3）导轨的刚度 导轨及其相关零部件如工作台、机身及同地基联接件的刚度不足将造成导轨变形而丧失几何精度。若变形量超过了导轨间隙，则会造成静压导轨失去作用，所以要核算在载荷作用下，导轨

25、及其支承的刚度，使其变形量小于导轨间隙。（4）导轨的防护 为了防止尘屑和其他杂物进入导轨副的润滑油中，导轨应加防护罩，并设置封闭的回油装置。（5）导轨的材料 液体静压导轨的材料一般为铸铁。表1-7为导轨油腔内有压力油时的许用平均比压。表1-7 铸铁导轨许用平均比压导轨结构和工作状态铸铁导轨许用平均比压p(Mpa滑动速度很高（达到切屑速度）直线运动导轨中型设备0.4大型设备0.2 2.6回转运动导轨转盘是大型环形0.15转盘直径小于3m0.4大于3m只有一个导轨0.3有两个导轨0.2滑动速度低（进给速度）1.21.5磨床3.050.1注：静压导轨的许用平均比压适当增大，开式和闭式静压导轨，取（1

26、1.5）（）；卸荷静压导轨取（11.3）（），其他类（非机床）机械设备及仪器设计时参考上述数据选用2.3节流器由流体力学可知，流动的流体在通过狭窄的通道时会发生所谓节流现象，其本质时由于流动阻力而产生一个压力降。液体静压导轨系统中的节流器就是一个起节流作用的阻力元件，它可根据外载荷的大小调整油腔中的压力，从而决定导轨运动方向垂直的位置。只要节流器的阻力选择正确，支承就可以获得最大的刚度。节流器的结构形式可以分为固定式节流器和可变节流器两种。节流器的流阻不随支承载荷变化的，称为固定节流器，如毛细管节流器，隙缝式节流器和小孔节流器等；若节流器的流阻随支承载荷变化的，称做可变节流器，如润滑节流器和薄

27、膜节流器等。这些常用的节流器结构如图1-17所示。1.毛细管节流器毛细管节流器的特点是其管长远大于通道面积的当量直径d。（对于非圆截面的毛细管可将非圆截面折算为相当于圆截面的直径）；为了保证毛细管内的液体处于层流状态，必须满足三个条件：图1-17 常用的节流器类型（a）毛细管（b）隙缝式（c）孔口式（小孔式）（d）薄膜式（e）滑阀式在最高工作温度下，雷诺数Re2000;通常要求毛细血管长度。和直径d。之比。/d。20100;毛细管长度。应大于层流起始长度，即。0.065Red。(cm,为了防止毛细管的堵塞，一般取d。0.05 cm。流过毛细血管节流器的流量为：（1-17） 式中 液体的粘度；d

28、。毛细管的直径； 通过节流器后的压力差；l。毛细管的长度。毛细血管节流器的流阻为 （1-18）常用的毛细血管节流器结构有两大类：（1）直通式圆截面毛细管节流器 这类节流器通常采用玻璃毛细血管或医疗用的注射针管截取所需的长度，粘（焊）在接头上，如图1-18所示，玻璃毛细血管及注射针管的直径规格见表1-8.表1-8 玻璃毛细管及注射针管直径规格玻璃毛细管外径/mm5注射外径/mm0.8、0.9、1.1、1.2、1.4内径/mm0.5、0.55、0.6、0.65、0.7、0.75、0.80、0.85、0.90、0.95、1.00、1.05、1.10针管内径/mm0.46、0.56、0.71、0.84

29、、1.07（2）螺旋槽式毛细血管节流器 直通式毛细血管在满足层流条件的要求时，毛细血管长度l。较大，所占安装空间大，所以仅适合低速状态。为了减少安装空间且便于调节节流的流阻，可以采用螺旋槽式非圆截面节流器。图1-19所示的螺旋槽式毛细血管其外圆同壳体内孔配合的直径间隙在0.0080.012mm之间。螺旋槽截面形状有矩形、三角形等，其槽面的粗糙度取Ra=0.00160.0008mm.图1-18 直通式毛细管节流器 图1-19 螺旋槽式毛细管节流器1-管接头或外椎体 2-注射针管 （a）节流长度不可调整（b）节流长度可调整在液体静压导轨上，目前主要采用可调螺旋槽式毛细血管节流器，可以通过调节节流器

30、的长度l。，得到不同的节流比，即可消除节流器的加工误差，还可保证静压导轨处于最佳工作状态。2.隙缝式节流器隙缝式节流器和毛细血管节流器一样，是粘性节流器的一种。所谓隙缝是指间隙只有0.0250.20mm左右的窄缝，液体通过一定长度的隙缝产生沿程损失而起节流作用，液体在隙缝中容易实现层流的流动状态。3.小孔节流器（孔口节流器）小孔节流器是利用液体通过薄壁小孔的局部阻力损失而产生压力降。因为孔壁很薄即孔的长度l。非常小，几乎没有沿程摩擦损失，所以通过小孔的流量和液体的粘度无关，这是小孔节流器与毛细血管节流器的不同之处，理论上，节流小孔的直径d。应远大于小孔的长度l。，试验和实际应用表明，当液体粘度

31、较小时， 的小孔具有同薄壁小孔基本相同的性质，可以作为小孔节流器且便于制造，为了防止节流器堵塞，一般节流小孔的直径d。0.45mm。图1-20所示的小孔节流器的流量为 （1-19）式中 流量系数一般取0.60.7；液体的密度。小孔节流器的流阻为 （1-20）（1）单点外锥式小孔节流器（图1-20（a） 这种节流器的外锥面用作定位及密封，外锥面和安装部件内孔锥的接触面积不少于70%.（2）多点板式小孔节流器（图1-20（b）、（c） 这种节流器是将小孔集中在一快板上，每一个小孔通过各自的油路与一个油腔相通。小孔节流器比毛细血管节流器轴向结构紧凑，易于加工，刚度也大些，由于流过小孔的流量和粘度无关

32、，而流过支承的流量却和粘度成反比，所以小孔节流的静压支承的支承间隙和支承刚度与粘度和温度有关。小孔节流器主要用于高速、轻载的精密机械设备上。4.薄膜节流器（图1-17（d）薄膜节流器的节流作用是由圆环凸台和弹性薄板（薄膜）之间形成的小间隙h。来实现，当压力流从凸台的中心孔进入，再沿径向从间隙h。挤出，或者进出液体流向反向时，就产生了压力降p。由于薄膜具有一定的弹性，当薄膜两边的油压不相等时就会变形，这样两边的间隙也随之改变，使两边的出油压力不同，所以薄膜节流器属于可变节流器。当导轨受力后，不仅支承间隙改变引起间隙流阻的变化，同时薄膜节流器的液阻也随之变化，更促使油腔压力差增大，使支承法向位移量

33、很小甚至为零。 薄膜厚度约为0.82mm，应由计算确定。常用德尔薄膜材料为弹簧钢65Mn，且两平行度误差不大于0.01mm，表面粗糙度不大于Ra0.040um。节流间隙h。根据计算确定，需h。0.04mm，以免发生堵塞现象。5.滑阀节流器（图1-17（e）滑阀节流器的节流作用由滑阀与滑阀体两个圆柱面之间的微小环形间隙h。和长度l。来实现，当压力油从进油孔进入阀体并沿长度l。从间隙h。挤出后，由于沿程摩擦损失而产生压力降。图1-17（e）中滑阀的前端为导向部分其阀体配合间隙一般为0.010.02mm。滑阀直径约为d。=1216mm。为防止节流器堵塞，一般取h。0.03mm。滑阀的常用材料是40Cr或45钢，HRC4550，阀体材料选用HT200铸铁。上述各类节流器的油膜静刚度的油膜静刚度差别较大，由小到大的次序为毛细血管节流器，缝隙式节流器、小孔节流器和薄膜节流器。因此，小、中型机电一体化设备的