文献共享1仿真的必要性

1、Page 2 主要内容第一部分第一部分TCAD介绍介绍第二部分第二部分仿真的必要性仿真的必要性第三部分第三部分TCAD学习学习Page 31 TCAD介绍第一部分第一部分第二部分第二部分仿真的必要性仿真的必要性第三部分第三部分TCAD学习学习TCAD介绍介绍1.1 Silvaco 产品应用领域 Silvaco 产品涉及半导体的众多应用领域 Silvaco TCAD可进行半导体工艺和器件仿真Page 41.2 Silvaco TCAD框架 工艺仿真 一维工艺仿真 ATHENA 1D 二维工艺仿真 ATHENA 三维工艺仿真 Victory Process/Victory Cell 器件仿真 二维

2、器件仿真 ATLAS 三维器件仿真 ATLAS/Victory Device/Victory Stress 虚拟晶圆制造Page 51.3 工艺仿真ATHENA 开发和优化半导体制造工艺 可用于模拟离子注入，扩散，刻蚀，淀积，氧化以及光刻 通过模拟取代了耗费成本的硅片实验，可缩短开发周期和提高成品率Page 61.4 器件仿真ATLAS 模拟半导体器件的电学、光学和热学行为 分析以硅元素为基础的高级材料，在二维和三维模式下的直流、交流和时域响应Page 71.5 器件仿真ATLAS 仿真硅/化合物半导体的电学、光学和热学特性 仿真器件的量子特性和噪声特性 仿真器件的直流/交流/瞬态响应Page

3、 8S-PiscesBlazeGigaMixedModeQuantumDivece3DThermal3DGiga3DMixedMode3DQuantum3D 模拟器件在特定电路中的电学特性Page 9GTO 关断波形Page 102 仿真的必要性第一部分第一部分第二部分第二部分TCAD介绍介绍第三部分第三部分TCAD学习学习仿真的必要性仿真的必要性2.1 为什么要仿真？ 以前没有仿真也做得很好！ 我已经习惯了以前的思路，改变起来困难较大！ 现在任务已经很重，学习仿真比较乏力！ 我对仿真能起到何种效果表示怀疑！Page 112.2 仿真是设计技术的体现 器件开发的正向和逆向思维 开发过程应是正向

4、和逆向的综合Page 122.3 仿真与实验的关系 光有实验理论计算缺乏时主要依靠实验摸索，人力、物力投入高，周期长，缺乏设计依据，理解不全面 光有仿真很多经验的知识难考虑进来，缺乏验证 仿真与实验协同相互印证，合理进行实验方案设计，减少实验次数，提高效益Page 132.4 仿真能达到什么目的 仿真是理论性质的实验，提供设计依据，提高开发效率，节省成本 提升个人能力，提高知识输出（论文、专利）能力 提升芯片制造、器件设计水平，促进行业进步Page 14Page 153 TCAD学习第一部分第一部分第二部分第二部分仿真的必要性仿真的必要性第二部分第二部分第一部分第一部分第二部分第二部分TCAD

5、介绍介绍第三部分第三部分TCAD学习3.1 TCAD学习资料 用户手册 学习教程 Silvaco官方网站 Silvaco中国官方网站 .cnPage 163.2 TCAD学习方法 多看例子，多实际操作 Ctrl + C 和 Ctrl + V 的灵活使用 注意补充理论知识Page 173.3 本课程的目标 突出实用性，使掌握一定的仿真知识 熟悉仿真流程 了解仿真的输入和输出 能独立进行仿真分析 合理有效地提出仿真需求 促进对理论知识的学习Page 183.4 推荐书籍固体物理学，固体物理学， 黄昆黄昆 原著，原著， 韩汝琦韩汝琦 改编，高等教育出版社改编，高等教育出版社半导体物理学（第六版），半

6、导体物理学（第六版）， 刘恩科刘恩科 罗晋生，电子工业出版社罗晋生，电子工业出版社微电子制造科学原理与工程技术（第二版），微电子制造科学原理与工程技术（第二版）， Stephen A. Campbell ，电子工业出版社，电子工业出版社半导体制造技术，半导体制造技术， Michaael Quirk等著，电子工业出版社等著，电子工业出版社硅超大规模集成电路工艺技术：理论、实践与模型硅超大规模集成电路工艺技术：理论、实践与模型 ，James D. Plummer 等著，电子工业出版社等著，电子工业出版社晶体管原理与设计（第晶体管原理与设计（第2版），版）， 陈星弼陈星弼 张庆中张庆中 编著，电子工业编著，电子工业出版社出版社电子材料与器件原理（第电子材料与器件原理（第3版）版） ，萨法，萨法.卡萨普卡萨普 著著 汪宏汪宏 等译，西等译，西安交通大学出版社安交通大学