MSE微粒喷浆冲蚀法

1、MSE微粒喷浆冲蚀法 基本原理MSE微粒喷浆冲蚀法是指压缩空气与浆料（水和固体粒子的混合物）在喷嘴中混合后，最终高速喷射到样品表面，产生相应的冲蚀痕迹。可快速评估各种涂层/材料表面性能，特别适合于目前难以测量的涂层。恒定的压缩空气与浆料对材料表面进行冲蚀，材料磨损量随表面强度而变化。再将磨损量的变化转换成磨损率，以此来评估和对比各种材料表面强度，是世界最新的材料评估方法，特别适用于超硬、超软、透明、超软、复合涂层等。涂层/材料综合性能评价试验机（MSE微粒喷浆冲蚀法）发展背景现今测量物体表面涂层、镀层、镀膜的膜强度或膜厚度的主要测量方法有：压痕试验、拉伸试验、弯曲试验、摩擦磨损试验。这些测量涂

2、层、镀层、镀膜的方法均存在局限性，不能很好地评价纳米级涂层及超硬、超薄、透明、超软、复合涂层等材料。MSE微粒喷浆冲蚀法是世界最先进的材料/涂层测量的评估方法，恒定的压缩空气与浆料持续对材料表面进行冲蚀，材料磨损量随表面强度而变化。再通过试验机将磨损量的变化转换成磨损率，以此来评估和对比各种材料表面强度。适用于所有涂层、镀层、镀膜，可很好地评估超硬、超软、透明、超薄、复合涂层等，填补了现在各种试验机不能评估硬质涂层的空白。领先技术l 摩擦表面的镀膜技术和品质管理（如切削工具、滑动表面镀膜的评价）l 超硬镀膜的技术和品质管理（如DLC、CVD钻石的评价）l 透明薄膜的技术和品质管理（如液晶膜的评

3、价）、l 光学功能膜的评价l 塑料上的硬质薄膜的技术和品质管理（如触摸屏、眼镜镜片的评价）l 切削和研磨工具研发领域/液晶LED研发领域/半导体研发领域/燃料、太阳电池的研发/汽车、飞机、火箭等坚硬材料和耐高温材料的研发试验仪器日本涂层/材料综合性能评价试验机（MSE微粒喷浆冲蚀法）超硬、超薄、透明、超软、复合涂层的最新评估方法，适用所有涂层、镀层、镀膜。可用于评估光学涂层、DLC、汽车零部件、滑动表面、液晶膜、CVD/金刚石、切削工具等。可用于评价：涂层强度数值话、表面至基体的强度变化、涂层与涂层/涂层与基体的结合力、评价镀膜工艺、评价涂层的均匀度。性能特点涂层/材料综合性能评价试验机（MS

4、E微粒喷浆冲蚀法）仪器特点：1、 MSE是市场上唯一的可以评估坚硬涂层的试验机，对坚硬涂层具有高分辨能力，可对多种坚硬涂层进行评估，如TiN，DLC（类金刚石镀膜），CBN（立方氮化硼）和金刚石等，填补了现在各种试验机不能评估坚硬涂层的空白。 2、MSE也是唯一的可对多涂层进行精确评估的试验机。3、MSE微粒碰撞产生的磨损是纳米级的，可在不破坏基体材料的情况下，对薄膜涂层进行评估。结合对碰撞微粒的精确控制，具有很好的重复性。 4、MSE评估分析时间短。浆体的高速喷射使得产生1m的磨损深度只需几秒时间，Si晶片约3s，蓝宝石约75s，TiN薄膜约350s，DLC约8000s。测量步骤评估事例用MSE微粒喷浆冲蚀法对市场上销售的六种不同的DLC涂层的铣刀进行测量。通过观察A到F六个试样图标，可看出其各自表面强度分布不同。即使具有同样DLC表面涂层，由于磨损率高或低，膜的薄厚会多少有些不同。六种DLC膜的不同加工工艺，导致磨损率最多相差约9倍。膜厚度最小为0.9µm，最大3.4µm。测量应用l 涂层和硬质涂层材料的研发l 切削工具和研磨工具的寿命预测，可与元素分析，划痕测试等设备联用。l 硬质涂层薄膜材料的研发。l 坚硬新材料的研发领域，用于尖端技术（飞机或火箭）的坚硬材料和耐高温材料等。l 薄膜制造工艺研发领域，不同的