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文档简介

1、    几种MEMS陀螺仪（gyroscope）的设计和性能比较        曹志良 时间:2009年03月13日     字 体: 大 中 小        关键词:         一、Systron Donner “MICROGYRO”MEMS传感器：双石英调音

2、叉信号处理：混合信号架构，数字和模拟输出；开放回路；两个用于加速度传感器的A/D通道封装：MEMS封装在陶瓷腔体中并跟ASIC一起封装在塑料腔体中。缺点：成本较高   Systron Donner “MICROGYRO”  二、博世BOSCH SMG 070    MEMS：平面MEMS；Z轴信号处理：闭合回路；混合模式；自测试缺点：尺寸太大  BOSCH SMG 070     BOSCH SMG 070原理图 三、INVENSENSE IDG 300 MEMS：体加工技术；用ASIC作封盖并提供收集和驱动信号的电极信号处理：开路；模拟缺点：无零点修正；温度导致+/-50度/秒的漂移。（汽车电子要求+/-1.5度/秒）  INVENSENSE

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