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文档简介
D:俄罗斯 Cradley Crystals公司C面2英寸蓝宝石基板技术参数 2英寸蓝宝石基板参数 项目 Item 规格 Specifications 材料 Material 晶向 直径 厚度 Orientation Dismeter Thickness 高纯度单晶Al2O3 >99.99% C轴（0001）± 0.2° 50.8±0.1mm 330 m/430 m±25 m 10 m 5 m A轴（11-20）± 0.3° 16±0.8mm 精细抛光（开盒即用） finishing polishing epi-ready Ra0.3nm 精细研磨 Fine grind Ra1µm或80/50polishing 100级洁净室冲氮包装25片盒装 总厚度偏差 TTV 翘曲度 BOW 定位边方向 Primary Flat Location 定位边长Primary Flat Length 正面 Front Surface 表面粗糙度Surface Roughness(
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