洁净室测试实用程序

1、洁净室测试实用程序 提要: 洁净室安装完毕以后,需要进竣工验收测试.由于工程安装实际情况及工期紧迫等问题,常常使测试工作难以按常规程序进行.本文根据实际的洁净室测试经验,对洁净室的测试条件,测试方法,测试程序,做一些总结,以供交流。 目前的洁净室特别是高级别洁净室,施工要求高,难度大,各专业交叉作业多,而且工期紧迫.这些都会对最后的测试工作带来影响.而洁净室测试工作必须严格按照有关规范标准进行.本文根据单晶硅抛光片洁净厂房项目的测试情况,予以说明.本项目洁净区总面积约1100平方米,包括1级,10级,100级,1000级,100000级5种级别的洁净间,其中前四种洁净间采用新风加FFU机组和干

2、盘管的方式,双层吊顶,100000级区域采用了空调机组加高效过滤风口的方式,单层吊顶. 竣工验收测试,根据有关约定,在空态环境下进行.一. 测试条件 洁净室的竣工测试前,各施工项目必须全部完成,并做好如下工作,满足测试要求:1. 洁净区域内及与之相关的施工作业已全部完成,如各类空调工艺等管道工程,通风工程,电气工程,洁净室的结构装饰工程等.(有条件时.应对整个工程分部在无生产负荷的情况下进行系统联合试运转.,调试).对于与工艺设备连接的涉及二次配管的风,液,气管,需要从吊顶开洞接入洁净间,和从架空地板开洞接入洁净间时,原则上应该将吊顶盲板和架空地板的预留洞开好,并将管道接入洁净间内的适当位置.

3、2. 对洁净室内及与之相关的各分部工程作外观及质量检查,对各专业及分包的分项工程, 作全面的严格检查,对质量缺陷及遗项做好补救措施.3. 对洁净间围护结构的检漏完成.主要是洁净室内的架空地板下分隔板,双层吊顶内的分 隔板的检漏.4. 对洁净室内各设施表面进行彻底的清洁,清扫.二. 测试准备工作 施工全面完成后,进行测试前,必须同时完成如下的准备工作,以利测试工作的顺利进行.1.系统准备:1.1单机试运转1.1.1 各新风机组,排风机组,空调机组 先检查各送风,排风机安全措施,转动叶轮,看有无卡阻及触碰现象,检查风机润滑情况,然后点动风机,检查叶轮转向是否正确,然后启动风机,在额定转速下试运转至

4、少2小时.试运转应无异常振动,响声. 注: . 实际施工中,新风机组的单机试运转,往往早已开始.这是因为在洁净工程施工过程的非常洁净阶段,需要送入室外新风或冷气.一方面是维持室内正压,另一方面可以增加室内舒适性,便于施工与清洁. . 对于如本项目高级别洁净室,新风系统设计有三级过滤,在非常洁净施工阶段,启动新风送风时,先在新风机新风进风口处,安装临时的无纺布,并安装初效过滤器,然后启动风机送风.以保证送入的新风相对洁净.当工程施工进入撕膜,打胶,清洁阶段时,在新风机安装中效过滤器,当打胶清洁结束进入超洁净施工阶段时,应将新风机组的高效过滤器安装上去,以确保新风的洁净程度.然后进行高效过滤风口及

5、FFU机组安装.1.1.2 FFU机组 先检查,看是否有线头异物掉入风机孔内,电源接线及接地情况是否可靠,符合要求,转动叶轮看有无触碰现象,开启电源,点动风机,看转向是否正确.先将风机挡位调到一档,待风机运转正常后调节到二挡(设计建议为3挡,调试后未生产时使用2挡).1.1.3 风淋室(通道) 先检查安全措施,电源及接地情况等,通电,按有关产品手册予以检查风淋室的门及其锁定,风机,喷淋口,报警等内容.1.1.4 其他设备的试运转1.2系统联合试运转系统联合试运转是在单机试运转合格后进行,先对各系统进行安全检查,以及各风系统水系统部件,执行机构,阀门,电气等是否正确. 空调,通风及照明等系统通水

6、通电等,然后启动各排气系统,空调及送风系统,启动FFU机组,风淋室等设备,进行联合运行.联动试运行时,各系统设备必须联动正确,协调,动作正确,无异常现象.1.3空吹系统联合试运转后合格后,让系统空吹.空吹时间至少24小时.(空吹时,FFU机组风机进口处的无纺布不要去掉)1.4彻底清洁空吹后,要对洁净室内进行彻底清洁,主要是对洁净室吊顶(除FFU外),四周墙板,及地面进行擦拭,清除浮尘.对较高的洁净室,应使用纯水,洁净纸或洁净布.空吹后清洁前,注意应将临时装在FFU机组风机进口处的无纺布去掉,并小心处理. 2. 确定测试方案 2.1 确定测试内容 洁净室检测,根据种类和级别不同,有不同的检测内容

7、.具体检测内容可以依据洁净室施工及验收规范,和设计要求确定.洁净室工程竣工验收测试一般要求如下表: 洁净室竣工验收测试要求 序号 项 目竣工验收1室内送风量,新风量(系统总风量),室内排风量2静压差3截面平均风速4截面风速不均匀度5空气洁净度6浮游菌和沉降菌7室内温度和相对湿度8室温(或湿度)波动范围和区域温差9室内噪音级10室内倍频程声压级11室内照度和照度均匀度12室内微振13表面导电性能14室内气流流型15流线平行性16自净时间17通风机风量,数量18高效过滤器检漏 注: -检测, -必要时检测 根据上表及设计要求,确定检测内容后,即可制定洁净室检测方案.本项目根据设计要求确定检测内容为

8、:系统总新风量,总送风量,各房间排风量及循环风量各区域静压差1,10,100级洁净间截面平均风速空气洁净度等级室内温度和相对湿度(由另一家承包商负责)室内噪音级室内照度通风机风量及转速高效过滤起检 2.2 选用测试仪器 粒子计数仪 1,10级洁净室洁净度检测采用激光粒子计数器,100级以下的洁净室采用光学粒子计数器 热球风速仪 微压计 照度计 声压计 2.3 确定测试方式及人员组成 对整个洁净工程的测试要求及具体情况做仔细研究,确定测试人员的组成.本项目施工工期紧张,洁净室级别种类多,送风排风管道风口繁多,因此,测试调校工作任务多,时间紧.另外,洁净度测试时,室内人员不超过3人,因此,测试采用

9、两个组,每组3人. 系统排风量调整检测,系统新风量调整与静压差测试,是在全区域进行的,由于需多次重复调节,调整测试时间很长.这部分由一个组承担. 高效过滤器检漏, 洁净度的检测,温湿度,噪音与照度等由另一个组承担. 经过适当安排,这两个组可以同时开展工作.2.4 测试资料准备 测试资料,包括各类参数测试数据记录表,各测试参数采样点坐标图.先根据各级别洁净间面积和要求,确定采用点分布图,再根据分布图,制作测试数据记录表,记录表中,需载明设计值,测试值,评判标准及评判结果. 2.4.1 采样点及测试分布图 依照洁净厂房设计规范及洁净室施工验收规范,以及设计要求绘制各测试参数采样测试点分布图.本项目

10、主要测试点分布图有: 排风(口)测试分布图(风口编号) 新风(口)测试分布图(风口编号) 静压差测试平面图 FFU分布(检漏)图 洁净度测试采样点分布图 温湿度测试点分布图 照度测试采样点图 噪音测试采样点图图一 采样点布置示意图 2.4.2 采样数据记录表 然后制作参数测试数据记录表,将测试数据记录表与采样点图对应编号设置,做到清楚明了.数据记录表祥见附表.附表1 系统总排风量测试数据表附表2 系统总送风量测试数据表附表3 系统总送风量测试数据表附表4 送、回、排风口风量测试数据表附表5 系统房间压力测试数据表附表6 系统洁净度测试资数据表附表7 系统洁净度测试数据表附表8 系统房间温湿度测

11、试数据表附表9 系统房间噪声测试数据表附表10系统照度测试数据表附表11电机转速测试数据表三. 系统测试 系统测试基本涵盖所有子系统,如排风系统,新风系统,温湿度控制系统,洁净循环系统,噪音和振动控制系统,照明系统,静电消除系统,洁净室结构等.各个系统承包商负责测试各自承包的系统所对应的测试内容,以完成洁净厂房的全部测试. 系统测试是在经过至少24小时空吹后,并按一定的先后顺序进行.首先是排风系统的调节与测试,之后是新风系统的调节与测试,其他测试项目数据是在设定的排风和新风情况下获得,如果要加快测试进度,可以在获得设计的总排风量和总新风量后,可以将其他测试工作适当提前搭接同时进行.1. 排风系

12、统测试1.1 测试仪器: 热球风速仪 1.2 测试方法和步骤 1.2.1 将所有支管风阀全部打开,启动排风机. 1.2.2 在排风机进风总风管上选择测点位置,测量系统总风量.测定截面位置原则上选择在气流比较均匀稳定的地方,距局部阻力部件的距离,在阻力部件前不少于3倍风管管径或长边长度,在局部阻力部件之后不少于5倍风管管径或长边长度. 1.2.3 选定测试截面后,确定测点位置. 对于矩行风管,将风管分成若干相等的小截面,尽可能接近正方行,在每一个正方行的中心测试风速.然后取平均值求出其风量. 管道边尺寸L/W小于450MM,等截面边长A必须不超过150MM(每边至少2个测点) 管道边尺寸L/W大

13、于1400MM,等截面边长A必须不超过200MM. 管道边尺寸L/W在450-1400MM,等截面边长A取150-200MM. 示意图如下: 对于圆形风管,按等面积圆环法划分测定截面和确定测点数,也可以按下表确定:风管直径/MM<200200-400400-700700圆环个数345>6 图二 风管测点示意图 1.2.4 按上述方式测出系统总风量后,按同样方法测出每一条道洁净室支管的风量.如果测试风量与设计风量不符,则调节各支管阀门,再测试,如此重复几次,直到达到所需的风量. 1.3 评定标准 系统总风量与设计风量的允许偏差为0-20,各风口风量与设计风量的风量之差不超过152.

14、新风系统及房间正压测试2.1测试仪器: 热球风速仪,微压计(灵敏度小于0.1Pa)2.2 测试方法和步骤 2.2.1 排风系统测试完毕后,再开始测试新风系统. 2.2.2 洁净室门全部关闭,打开所有风管的阀门,启动新风机组. 2.2.3 可以用和排风测试相同的方法,依照设计新风量,调整并测出新风的总风量. 2.2.4 根据每个新风口或洁净室的设计新风量,调节并测试每个风口的新风量,使之与设计风量相近. 如果测试风量与设计风量不符,则调节各支管阀门,再测试,如此重复几次,直到达到所需的风量. 2.2.5 一个洁净室,由一条风管送风时,也可以采用相同的方法测试. 洁净室内由新风口送风时,可以测定风

15、口风量. 根据风口形式选辅助风管，即用硬质板材做成与风口内截面相同、长度等于2倍风口边长的直管段连接与风口外部，在辅助风管出口平面上，按最少测点数不少于6点均匀布置测点，用热球风速仪测定各点风速。以风管出口截面平均风速乘以风管出口截面积确定风量。 2.2.6 按照设计新风量调节后,各房间应能形成相对的正压,如果达不到相对的正压,则可继续调节风口,直到达到要求,这时不需要求与设计风量相近. 2.2.7 正式测出洁净室之间的正压 测试应从洁净度由高到低的顺序依此进行,在架空地板下的分隔板上开一个小孔,经该小孔和架空地板空,将微压计胶管连接到相邻的两间洁净室,测出静压值.(有些将微压计胶管经洁净室门

16、缝测试.)如果到不到如下要求的静压值,则重复几次,直到达到规定值. 相邻洁净室 静压差(PA) 1级与10级 12.5 10级与100级 12.5 100级与1000级 5.0 1000级与10000级 5.0 10000级与100000级 5.0 100000级与无洁净区域 12.5 2.2.8 微粒数的测定 该测定的目的是检查新风机组高效过滤器之间是否漏风。制造300 x 300 x 400长及400长的L型风管，把风管抹干净，其中一端压在部分出风口，另一端用风速仪测其风速，风速必须在0.5米/秒以下，如果风速太大，压在风口的部分减少，以确保风速在0.5米/秒以下，用粒子计数仪测其颗粒度，

17、如果达到100级以上证明装在新风机组高效过滤器之间无漏。 3. 截面平均风速及循环风量的测试 3.1 测试仪器 热球风速仪 3.2 测试方法 3.2.1 截面风速及循环风量测试是在排风及新风系统调节测试之后进行.测试时,确 保各排风及新风系统正常运行. 3.2.2 安装好高效过滤器或FFU机组.并检查其处于正常的运行状态. 3.2.3 单向流洁净室 测定截面取距高效过滤器或FFU机组0.3M并垂直于气流的水平截面;对水平单 向流洁净室,测定截面取距送风面0.3M的垂直截面.测点间距不大于0.6M/个,测 数不少于5个,并均匀布置.记录所有测点的数值,取算术平均值作为截面平均风 速 单向流洁净室

18、循环风量按下式计算: Q=V*F*3600 式中: Q-洁净室送风量 M3/S F-测定截面面积 M2 V-截面平均风速 M/S 3.2.4 非单向流洁净室 非单向流洁净室的循环风量,根据实际情况,可以采用风口法或风管法测定.测 定方法参照上述风量测定方法.4. 高效过滤器检漏,洁净度测试及洁净循环系统 4.1 测试仪器 光学粒子计数仪,激光粒子计数仪,热球风速仪 4.2 测试方法和步骤 4.2.1 原则上,将上述三项测试项目完成后,在进行本项的测试. 4.2.2 检查各送排风及高效过滤器正常运行,按照预先准备的方案和人员组成,进行测试. 4.2.3 为了加快进度,并做到对个洁净室洁净情况有一

19、个预先的了解,可以在每个洁 净室取一到两个测点,用粒子计数仪测试,记录分析所取得的测试数据.如果有异常或不能达标的数据出现,则在检漏时,做重点检查.4.2.4高效过滤器的检漏 高效过滤器的本体性能实验检测,应在产品出厂前完成,现场主要是为确认高效过滤的正确安装状态而进行泄露检测. 采用扫描法对高效过滤器安装拼逢和主断面进行检测,检测点距被测表面20-30MM,测头以20-50MM/S的速度移动,对被测过滤器整个表面,封胶头,和安装框架处进行扫描.粒子计数器最小采样量大于1L/MIN. 图三 高效过滤器检漏示意图 检测时,如发现有漏尘,将测出的数据记录在FFU(或高效过滤器)分布(检漏)图上).

20、如有发现有不寻常的读数,则证实高效过滤器有漏,需要实施更换或做其他处理. 4.2.5 洁净度测试 4.2.5.1 采用速率大于1L/MIN的光学粒子计数器. 1,10级洁净室洁净度检测采用激光粒子计数器,100级以下的洁净室采用光学粒子计数器 4.2.5.2 采样点数量 采样点数量按下式计算: NL=A0.5 式中 NL-最小采样点数 A-洁净室或洁净区面积,M2 水平单向流时,A可以看成是与气流垂直的空气的截面积.采样点均匀分布在整个洁净室或洁净区内,并位于工作区的高度内(距地面0.8米的水平面).或设计指定的位置. 4.2.5.3 采样量 按规范规定,在指定的空气洁净度等级下被考虑粒径的最

21、大浓度限值时,在每个采样点要采集能保证检测出至少20个粒子的空气量.采样点采样量按下式确定: VS=20/CN.M*1000 式中 VS -每个采样点的采样量 CN.M 被测洁净室被考虑粒径的最大浓度值 20在规定被测粒径粒子的空气洁净度等级限值 时，科检测到的粒子数 采样量至少大于1L，采样时间最少为1分钟，并且每个采样点至少采样三次。 4.2.5.3 采样规定 a. 采样时，采样口出气流速度，应尽可能接近室内设计气流速度 b. 对单向流洁净室，采样管口应迎这气流方向，对于非单向流洁洁净室，采样管口应向上。 c. 采样管口必须干净，连接处不得有渗漏，采样管的长度应根据允许长度，如果无规定，不

22、宜大于1.5米。 d. 室内检测人员必须着洁净服，且不宜超过3人，应远离或位于采样点的下风侧，静止不动或微动。 4.2.5.4 采样点位置 采样点位于洁净室工作区高度（距地面0.9米高度).并且均匀分布。 4.3 合格标准 对洁净室的每次采样测量的结果与空气洁净度等级相关的各个被考虑粒径的浓度记录下来，并计算采样数据的平均值。如果在各个采样点测得的粒子（平均）浓度小于等于级别上限浓度，及室内平均浓度统计值95%置信上限小于等于级别上限，则该洁净室被认为达到规定的空气洁净度等级。洁净度等级及粒子浓度限值如下表: 洁净度等级大于或等于表中粒径D的最大浓度Cn（pc/m3）0.1m0.2m0.3m0

23、.5m1.0m5.0m11,000-1010,000-100-10,200-1000-102,000-10000-350,000-100000-3,500,000- 5. 洁净室温湿度测试 5.1 测试仪器 温度计，湿度计（根据温湿度精度要求选择合适精度的测试用温湿度仪器）5.2 测试方法 5.2.1 测试采样点的确定 a 采样点距地0.8米，距外墙0.5米（单向流洁净室0.2米），均匀布置。b 房间有无温湿度要求时，可以只测房间中心一点即可。当有温湿度要求时，可以按下表确定：波动范围测定仪器测点数量温度（t）<±0.5小量程温度自动记录议或0.01刻度的水银温度计测点间距为0

24、.52.0M，每间测点不少于20点相对湿度（RH）<±5氯化锂温湿度计t±0.5±20.1刻度水银温度计面积50平米，测点5点，>50平米，每增加2050平米，增加35点RH±5±100.2刻度的干湿球温度计t>±20.2刻度水银温度计面积50平米，测一点，当>50平米，每增加50平米，增加一个测点RH>±10通风干湿球温湿度计 5.2.2 检测温湿度控制 将温湿度的敏感组件，人为得加入信号，检查温湿度控制阀或其它控制装置动作是否正确。即人为地升高或降低温度和湿度，观察阀门地开启与关闭状态，以及

25、其它控制组件地动作，是否符合要求。5.2.3 测试温湿度 将在各测点得到地温湿度数据记录在测试数据表上。 5.3 合格标准 室温波动范围按各测点地各次温度中，偏差控制温度地最大值，整理成统计曲线，如90以上测点偏差值在室温控制范围内，为符合设计要求。相对湿度波动范围按温度的处理方法进行。 6噪音的测试 6.1 测试仪器 带倍频程分析的声压计（本项目只测试A声级的数据） 6.2 检测方法 a 测点布置 当面积小于50平方米时，仅测房间中心一个点，每增加50平方米，增加一个测点（国标）。测试位置为工作区高度（可选距地面1.0米和1.6米两个水平断面）。（当采用NEBB标准时，测点数按1.5米*1.

26、5米选取）b 记录测试A声压级数据6.3 合格标准 符合设计要求或按«洁净厂房设计规范»中的规定，在空态情况下，非单向流的洁净室的噪声级不大于60Db（A）,单向流，混和流洁净室的噪声级不大于65dB.洁净室的噪声频谱限制的各频带的声压值不应大于规范中的规定。7照度的测试7.1 测试仪器 照度仪7.2 测试方法 a 测点平面距地面0.85米，按间距12米布点，测点距墙1米。其基本要求与洁净度的测定位置要求相同。b 记录实测照度值，并计算总的平均照度值c 照度测定一般仅测定除局部照明外的一般照明。7.3 合格标准 符合设计要求或相关规范要求。无采光窗的洁净区工作面上的照度值，

27、不应低于相关规定，无采光窗的洁净区混合照明中的一般照明，其照度值按各视觉等级相应混合照度值的1015确定，并不低于200Lx。一般照度均匀度不应小于0.7四提出测试报告所有测试项目全部完成后，应对测试原始数据进行计算和评价分析，以确定所有测试结果是否在规定值之内。如果在之内，说明该洁净室符合规定要求，否则，不符合要求，需要进行改进或其它返工。并同时提出测试报告。测试报告一般应包括如下内容：1. 测试机构名称，地址2. 测试日期，测试者姓名3. 执行的测试标准4. 有关测试仪器的型号，规格，精度，标定证书和有效日期5. 被测洁净室的平面图，采样点分布图，原始数据记录表格等资料 6. 测试结果，数

28、据分析及异常测试数据的说明和处理7. 结论附表1系统总排风量测试数据表 NO:仪器名称风速仪 风 管 测 点 布 置 图 1 2 3 4 5 6ABC仪器型号仪器检定有效期测试时间2005-8-17设计风量系统名称测点A数值（m/s）测点B数值（m/s）测点C数值（m/s）备注111222333444555666777888999101010测试风量测试偏差允许偏差建设单位代表签字：测试人签字：技术负责人签字：项目经理签字：附表2系统总送风量测试数据表 NO:仪器名称风速仪 风 管 测 点 布 置 图 1 2 3 4 5 6ABC仪器型号仪器检定有效期测试时间2005-8-17设计风量系统名称测点A数值（m/s）测点B数值（m/s）测点C数值（m/s）备注111222333444555666777888999101010测试风量测试偏差允许偏差建设单位代表签字：测试人签字：技术负责人签字：项目经理签字：附表3系统风量测试资数据表系统总送风量测试数据表 系统名称测试风量设计风量实际偏差允许偏差评定年 月 日 时 分建