蚀刻线宽调整指引

1、蚀刻线宽调整指引一 做首板前先看工卡，根据工卡上所注明的底铜厚度（双面板底铜厚度标注在开料栏，多层板底铜厚度标注在层压栏）和电镀孔铜厚，选择合适的蚀刻速度做首板。不同的底铜厚度和孔铜厚度的板件首板蚀刻速度如下表：底铜厚孔铜厚度首板蚀刻速度0.33OZ20um2.7m/min25um2.3m/min30um1.8m/min0.5OZ20um2.2m/min25um1.9m/min30um1.5m/min1OZ20um1.6m/min25um1.5m/min30um1.45m/min2OZ20um1.1m/min25um1.05m/min30um1.0m/min3OZ25um0.9m/min30u

2、m0.85m/min二 测量首板的线宽线距，如果线宽线距符合要求，则进行量产。如果首板的线宽线距不符合要求，则根据首板线宽线距状况，进行行调整。当可以通过调节蚀刻速度而使线宽线距符合要求时，则不要调节压力，即优先调整蚀刻速度。当无法通过调节蚀刻速度而达到要求时，才调整压力。 线宽整体偏大，线距整体偏小，则调慢蚀刻速度。 线宽整体偏小，线距整体偏大，则调快蚀刻速度。 局部线宽偏大或者局部线宽偏小，则调整线宽偏大或者偏小的地方相应的压力。当压力已经达到最上限，没有调整空间时，则先总压调小，将蚀刻速度调慢，再将线宽偏小的地方的压力调大。三 外层蚀刻机喷管分布1.外层蚀刻机每个上摇摆架共有7个压力调节

3、阀门,每个压力调节阀门可以调节两支喷管压力,上喷喷管分布:走廊34567891011121314122. 外层蚀刻机每个下摇摆架共有7个压力调节阀门,每个压力调节阀门可以调节两支喷管压力,下喷喷管分布:走廊1234567891011121314四 板边密集线当蚀刻板边有密集线的板件时,测量首板和抽测板线宽时,需重点测量板边密集线部分是否有蚀刻不净或者间距偏小现象。当板边有密集线或者板边高电流区（电镀夹点对面）有蚀刻不净或者线宽线距不符合要求时，可以采用竖向放板，高电流区朝前放板。 电镀夹点 电镀夹点 高电流区，铜厚偏厚，密集线位置易蚀刻不净五 蚀刻均匀性影响蚀刻均匀性的最主要因素为蚀刻喷压压力

4、值和喷嘴的堵塞。当发现蚀刻均匀性较差，压力较混乱时，则立即参照蚀刻均匀性较理想时的压力值，立即调整各段压力为蚀刻均匀性较理想时的压力值。外层蚀刻均匀性较理想状态压力值如下：上喷：左1左2左3左4左5左6左72.22.43332.32.3下喷：左1左2左3左4左5左6左72.62.52.52.52.52.52.5当发现喷嘴堵较多，线宽较难调整时，则立即对蚀刻机进行保养，拆下所有喷嘴清通。六 异常板件处理1. 镀铜偏厚或者偏薄当批量板中有部分铜厚偏厚或者偏薄（生产前注意看不合格品处理单或者工卡上的实测铜厚数据）的板件时,蚀刻时需与正常的批量板分开蚀刻,且需相应调整蚀刻速度。2. 镀铜不均当批量板中有部分镀铜不均的板件时，蚀刻时需与正常的批量板分开蚀刻，在蚀刻后退膜前接起来进行全检，有蚀刻不净的挑出来在蚀刻缸中泡药水进行返工，确认OK后方可退膜。七 放板方向原则蚀刻放板时需固定方向放板，原则上线路较密集的一面或者有BGA的一面朝下。八 保养后蚀放速度由于蚀刻机进行大保养后，