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1、【名词解释】TFT阵列工序（TFT array process）2010/12/08 00:00 打印 E-mail 从制造的角度来看液晶面板的话，可分为TFT阵列工序、液晶单元工序、液晶模块工序三类。各工序使用专用制造装置及部件和材料。在这些液晶面板制造工序中，尤其是TFT阵列工序和液晶单元工序决定液晶面板显示性能的重要工序。其中，TFT阵列工序对面板制造成本的影响尤为突出。 TFT阵列是对液晶进行驱动的电路基板。TFT和显示像素电极被排列在玻璃基板上，用于驱动TFT的栅极布线、输送加载在像素上的电压信号的信号布线纵横交错。 TFT阵列工序与半导体的制造工序相似。与在硅晶圆上制造半导体电路一

2、样，通过反复实施成膜、光刻及蚀刻工序，在玻璃基板上制造出TFT阵列。制造TFT阵列的各工序所使用的制造装置在原理上也与半导体制造装置相同。制造装置的性能会影响液晶面板的性能。同时，制造装置的生产效率（玻璃基板的处理能力以及工艺材料的使用量），以及制造装置的集合体即制造生产线的整体效率也会大大影响液晶面板的成本。 比如，业界为提高制造生产线的生产效率，多年来一直在努力削减掩模数。掩模数是指成膜工序、光刻工序及蚀刻工序的反复次数。掩模数的削减在液晶面板制造的技术革新中起到了突出的作用。19世纪80年代中期，松下电器产业首次投放市场的3英寸彩色液晶电视所使用的面板就是通过8张掩模的工序制造的。之后，各液晶面板厂商为了减少TFT阵列的工序数量，压缩投资金额，积极展开了减少掩模数的开发。目前已减少到了4张掩模，工序数量大为减少。 另外，一直在支撑着PC用及电视用液晶面板走向大屏幕化、值得一提的技术是玻璃基板的大尺寸化。19世纪90年代初TFT液晶面板开始量产时最初使用的是300mm×400mm左右的第一代基板，而目前已发展到了了2880mm×3130mm的第十代基板。液晶面板尺寸一直加大的话，一块玻璃基板能够获得的面板数量就会减少，使生产效率下降。为了对此进行弥补，就必须使玻璃基板实现大尺寸化。液晶用玻璃基板具有数倍于硅晶圆的面积。另外，玻璃基板面积的扩大速度要比硅晶圆

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