基于FMEA在晶圆研磨工艺中的应用_第1页
基于FMEA在晶圆研磨工艺中的应用_第2页
基于FMEA在晶圆研磨工艺中的应用_第3页
基于FMEA在晶圆研磨工艺中的应用_第4页
基于FMEA在晶圆研磨工艺中的应用_第5页
已阅读5页,还剩6页未读 继续免费阅读

下载本文档

版权说明:本文档由用户提供并上传,收益归属内容提供方,若内容存在侵权,请进行举报或认领

文档简介

1、基于FMEA在晶圆研磨工艺中的应用晶圆是半导体晶体管或集成电路的衬底也叫基片,以硅材质最为常用,接下来,天行健中六西格玛黑带大师李老师使用新版FMEA,七步法"的分析方法,并借助SGSE-FMEAC件来对晶圆研磨工艺进行PFMEAb析:第一步:筹划与准备创立PFMEA5目,定义产品、跨功能团队等信息,如下列图所示叫5-tEto«?*it-.m加上图©电g工用fie中g小的加杰城W出正血上斗班341.第二步:结构分析人-操作员90P1"上料司机-研哥裳H人-操作员根据晶圆研磨的工艺流程,定义结构,并分析过程工作要素(5M1E),如下列图所示:0OP30-下

2、料“机二哥丁N人-检验员-84"检验中机-码著盒H机-三乍台|系统自动生成的工艺流程图,如下:第三步:功能分析"7:L根据晶圆研磨的制造工艺,定义各过程项、过程步骤、工作要素的功能和要求,如下列图:c|OP20-珥胆IL口Fu.g芸号号制要击晶园胃忘kG7口nm±1Z5un口U.电电费明修飕咕去萼!即:=月1H115ipmLr/C勒e2um-K,白美瞿,Lr/c:无粮人-邕作黑0pao"AH?r.机新口|LA检i&aq0P40-m-甜登-矶-If*fe18gff-Fi胃一/L$C安彳MFMllSiar9Fl.华经等三主耳F工Ir小工_fLTOqw

3、才卜LRC5GAMHHl卬GTIfF亡日机.;A-Dhi:l*nmtrFewF<n9«$!,0口和r4*emE*|i通过功能矩阵,维护过程项、过程步骤、工作要素的功能和要求的关联关系:第四步:失效分析维护过程项、过程步骤、工作要素的功能和要求的失效,如下列图:1人-蝌下戾Ofu:km讪jsttL二=J=_#:r-T0P2D-研用手:的三厘号0.6575mmEFU;E声即参三隼宁可节假设京4维工工旧£5唱融事泞宜规法要求u,iLFl天,於K&WTFU:iFI£全初设五正帮;0_6!>75minJF&25hieLF:Rt>C;的鞋亨度

4、5S为XXXL新容母香率37鼻寺笥异JFUiIS缰4岂知/要卡口Ri事QZmfL:-La*Q_15_m31VdlF1维护过程项、过程步骤、工作要素三级失效的关联关系“白匚幽te对xit上SdE*»EFau唐音芝:;p|.fi.r-iTilMTJr-Si'Dmrii*Q+vnDMBS忘l.Olfknm?,阳弘5隹国:也H*话查1M才日3口JU>Oln.至累宝金k:任先免KMW三RFMX弁SBI#自wycAIMl£qh:丁ke-/,yr|-f&?tS9Olrsrr?>¥ftfljsfMngFmioikft苧叁m量幔耳T«JWnaw

5、*ki日nHKr而g!S*RE五行七占dfk0.n&nt白W*5|Ofh巾Cimm白R/C'HW-JOtw24«*L口F5,"=740#占=EX通&FV:mA.F.&R/<:-MHSi2flMNLn,产?u£M4喊胡加gXHFFMiWAM*查看失效网第五步:风险分析对FME越行S/O/D的评分并制定预防举措(PC)和探测举措(DC).渤uWeC«<lSi2SSig玄说依冠离徐.华,小-,渣田铤:*Mt:出E30不WB1FB盘色总向彳*4削的H*Taw语|-ISiKX*WKEW也南仲一可新制翻整日度*脑说叼国8*

6、三择卫脸库一号方.强国鳖11社海"罡三三:*匹千干-1叮分所关EKhG3H此4场M-1F二;!3X:W1U*a*KK/TffltEBXSriVJRMl*S.I0|hWfro«T.rMSsT工趾二二至w二0飞n二七*<IMtAY二*七城工厂-j*ITEf7MBs-AI9?»WI7ajr»Wfl»n«irKIU“WMny0.r<l工la.!t.整e?叫1“距时1J'1«*"!1.r*皿仪EfctlrUM-«BUtJ川tawmc市fta与"ULd二,*4w4tiElAU*Z'

7、;'0EmmU呆莫且BB2»mTUIB4+tUM»TE±'-*tzW/asn-eHjm71n-*wj="HfltHfrESH4BcrMn«w第六步:优化对AP行动优先级为1的必须进行改良,对AP行动优先级为M勺必须进行改良重新制定预防举措和探测举措并进行再改良,然后进行重新评估.工虹,.:sit-MluiM工3>«*t*3««*9.WMM0MMDHWEAtT*0*3«-1*tSHrMmum4鼻明nm翼号CPMIfeK/I.jUTi-t«£»0Cm二.t,

8、N74H航a1EFSU*M*KHua3WAHf114BIUE7Mli1&,F.-sflMSSfF"Td咤Mlg4WfrW*_a.-"I|rMFE>?_工?.nil1M-认1-1.*7.*Kttf.>1.*'*.w-守F.任务分配:Hjge.K5:ElrFM:呈圆厚成>1.的Srrrn舌|fc:gl眄一理g即送H即指於奈氨-FSMSSt可:阿蜘出五|曲京工»:第七步:文件化局部展示,供参考FME能析完成后,生成新版FME标准表格:Mt*fCdm>ww_!.J勺K*怛事计电拿w«.»tR1Hr*-,n?KA.

9、HWEU:»£4L二工年:工一£li上!FFU子Eft零驻工r*二FKSKb=蓑3方=*依MktmW±1二t*士工七帘*A硝声*日A.一,S1-A*17f*Nwm!UIJ(L»?i3ri124AAJimhrvnNXBncEwrizAn1,f.阳14HFtf-41hffS4舞"M版yjtf*W4-rJmWMtwwDimcpw*nigi“E-F1*4M门!一理BVIlRAaBtadF.1B-aFMMi1ftmMhdMroiwwtw彳*-T-WE.,»m_E3Ww*ifr-NX»40T41B-*ziLKHE*式miwscaitwaM:anMurder73MFEj&r*«a5MT*7T*v>fwr*WE«GlEUKiW*snT*a*f-aauia*wiet-wi|EI七不走f立iU1T整«!1、仔用JBmwciK-ilrt1*4w»*nirrr9口.ilMfl4RavlS14MWU"2Wnwv'Jur4UVJB-IiMT*j

温馨提示

  • 1. 本站所有资源如无特殊说明,都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
  • 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等,如果需要附件,请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
  • 3. 本站RAR压缩包中若带图纸,网页内容里面会有图纸预览,若没有图纸预览就没有图纸。
  • 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
  • 5. 人人文库网仅提供信息存储空间,仅对用户上传内容的表现方式做保护处理,对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑,并不能对任何下载内容负责。
  • 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容,请与我们联系,我们立即纠正。
  • 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。

评论

0/150

提交评论