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文档简介

1、1. 英文暮有名官司介名召General(一般暮有名盲司)3.英文暮有名官司4.中文明(敷字表示有日主)5.LCD(LiquidCrystalDisplay)6.液晶示器*日主.7.Glass,substrateorglasssubstrate8.玻璃基版*盲主.9.TFT(ThinFilmTransistor)10.薄膜雷晶B*言主.11.Panel12.面板13.Array14. 排列,指在玻壬成板上做TFT的®i程15. LCD-Array16.Cell17. 液晶填充®i程.分舄18. LCD-FEOL(Cell前段)19. LCD-BEOL(Cell废段含Cell

2、Tester)20.Module21. 模鲍,指彳灸段程22. LCM23.Monitor24顺器25. Pixel26. XGA:eXtendedGraphicsArray=1024*768Pixels27.SXGA:SuperXGA=1280*1024Pixels28. 像素*言主.29. PS.像素越多表示解析度越高30.Computer31.32.Notebook33.氧言己型雷胸(筒H舄NB)34.RGB(Red,Green,Blue)35.指三原色36.PM(PreventiveMaintenance)37.IS防保餐38.Quality39.40.Standard41.W(指作或

3、品ST指榛)42.Material43.材料44.Yield45.良率46.CIM(ComputerIntegrationManufacturing)47.HB整合®i造(指以H月皆系统整合裂造流程)48.FA(FactoryAutomation)49.工蔽白勤化50.Exit51.出口52.Precaution53.防措施54.Warning55.警告56.Emergency57麋急58.Alarm59.警幸艮60.CleanRoom。累浮室暮有名官司)61.英文暮有名官司62.中文明63.Cleanroom64.W室*言主.65.Particle66.微粒子*言主.67.HEPA

4、(HighEfficientParticulateAir)filter68.高效能粒子空69.Contamination70.污染71.Temperature(TEMP)72.温度73.Humidity74骡度75.Pressure76.厘力77.UPW(Ultra-PureWater)78.超水79.DIW(De-IonizedWater)80.去胃隹子水81.IPA(IsopropylAlcohol)82.巽丙醇83.Stickymat84.脂。踏黏塾*言主.85.Cleanliness86.W度87.ESD(Electro-staticDischarge)88.静雷破壤*言主.89.La

5、minarflow90.1流(流醴力孥名盲司)91.Turbulentflow92.®流(流醴力孥名盲司)93.Alcohol94.酒精95.Acetone96.内酮97.Particle98.微粒子99.Dust100.灰H101.Gowningroom102.换衣fW*言主.103.Raisedfloor(gratingfloor)104.高架地板*言主.105.Airshower106.兼浴室*言主.107.Prohibit108.禁止109.Cleansuit(bunnysuit,dust-freegarment)110.照鹿衣*言主.111.Glove112.手套113.H

6、airnet114.制冒115.Hood116.!罩117.Mask118.口罩119.Cleanshoes(dust-freeshoes,boots)120.蛆凄鞋121.FactoryAutomation(工蔽白勤化暮有名盲司)122.英文暮有名官司123.中文明124.Vehicle125.:$审俞工具或戴具126.AGV(AutomaticGuidedVehicle)127.白勤搬聿128.MGV(ManualGuidedVehicle)129.人力搬聿130.Cleanlifter131.天井傅送聿132.LIM(LinearInductionMotor)Carrier133.性感雁

7、®建傅送戴具134.OHS(OverheadShuttle)135.天聿或WfliK136.Stocker(cleandepot)137.存放Cassette推子)的暂存GS138.Battery139.雷池140.Bay141.作粟匾142.Bumper143.保IWit144.Charger145.充雷器146.Controller147.控制器148.Conveyor149.输送带150.Crane151.吊聿(在Stocke仍)152.FFU(FanFilterUnit)153.凰扇i!滤器154.Host155.156.I/O(Input/Output)157.输入律俞出1

8、58.Inter-bay159.作棠匾和作棠匾之160.Intra-bay161.作粟匾之内162.IR(Infra-Red)163.164.IRIF(Infra-RedInterFace)165.航外介面166.Load167.it料168.Unload169.卸K170.Magnetictape171.AGV路彳至所使用的磁倏172.POSEIDON173.海神生走作案系统174.Retrieve175.mma索,撷取慎料)176.RTM(RotaryTransferMachine)177.旋傅送檄178.SCARAarm179.AGV之傅送手臂180.Reset181.重新云定182.T

9、ransportation183.184.*言主.OPI(OperationPOSEIDONInstruction)海神生作It系185.英文暮有名官司186.中文明187.Recipe188.程式黑程参嗷189.Stockout190.>Cassett敬出191.Request192.言青求,要求193.Transfer194.傅送3!送195.Instruction196.命令,指令197.Select198.圈f199.Cancel200.取消201.Operation202.心,操作203.Support204.支援205.Process206.m程207.Start208.始2

10、09.Comp.210.Completion的编W,息指元成211.Batch212.批量213.Lot214.指生走上的在裂品或品,筒H攵215.ID(Identity)216.音哉另廊(如LotIDorChipID)217.Sheet218.片(Array匾玻璃基版敷罩位)*言主.219.Chip220.片(Cel偃玻璃位)*言主.221.Inspection222.械223.Defect224.缺陷225.Production226.生fg227.Hold228.留置在富站®i程(如有品日寺)229.Release230.>hol昨的货放行隔出231.Equipment2

11、32.WEQP)233.Tool234.工具樵台235.WIP(WorkInProcess)236.在®i品(裂程在®i品)237.Maintenance238.修保餐239.Cassette240.装在裂品的架子*言主.241.Empty242.空的243.Reserve244.IB勺245.Report246.幸暗247.Scrap248.幸胰249.Rework250.重工251.Logon252.登幄253.Logoff254.除幄255.Note256.言主解257.258.259.260.261.262.263.264.265.266.267.268.269.2

12、70.271.272.273.274.275.276.277.278.279.280.281.282.283.284.285.286.287.Array段®i程暮有名盲司介魅!288.英文暮有名官司289.中又明290.Material291.材料292.Metal293.金屠294.Target295.靶296.MoW(Moly-tungsten)297.fit化金目298.Mo(Molybdenum)299.金目300.ITO(IndiumTinOxide)301.金融易氧化物302.Al(Aluminum)303.铝304.AlNd(AluminumandNeodymiumAl

13、loy)305.铝和敛的合金以上皆舄曝渡檄金JS靶的材料之一306.ReticleorMask307.光罩308.Detergent(LH-300)309.界回活性强J的W(清洗横用来清洗玻璃表回用LH-300供雁商型甄)310.LAL-50311.含NH4F舆HF,舄清洗檄用来清洗玻璃表面氧化)f的化孥溶液312.O3(Ozone)313.臭氧,主要舄各®i程用来清除有檄物的污染或殛留314.NBA(1-butylAcetate)315.乙酸正丁酯,主要用来清洗旋阻日寺殛留在玻璃的光阻液316.ResistorPhotoResist317.光阻(筒稍PR)318.HMDS319.H

14、examethyldisilazanefi勺,舄一H化季中fW醴,用以增加光阻BWBirn晶片表面之附著力320.AC-1321.带静雷防止洌(ESD-PreventeD,在上光阻檄内使用,防止ffW生,破壤玻璃元件322.TMAH(供雁商型呻KTM-25)323.Tetra-MethylAmmoniumHydroxide的舄蔽内所使用之K影液324.OxalicAcid(H2C2O4)325.草酸,Y辎虫刻檄中用来笈虫刻5PEP中的a-IT。膜326.DHF327.成份舄49%氮氟酸HF,主要舄10虫刻檄中用来笈虫刻7PEP中的SiNx膜328.ITO-Etchant329.成份中含兽酸HC

15、l及硝酸HNO3,主要用来笈虫刻7PEP中的Poly-ITO330.BHF331.成份中含氟化践NH4F及HF,主要用?M虫刻7PEP中的SiON332.Al-Etchant333.成份中含乙酸CH3COOH、磷酸H3PO4及硝酸HNO3,主要用?M虫刻Mo/Al/Mo的沈置f335.巽丙醇IsopropylAlcohol的都W,主要用来作334.IPA舄云脩擦拭液,在去光阻裂程中亦用来清除玻璃基板上的有檄殛留物(如光阻或去光阻液)336.N-300337.去光阻液,N-300尚敞商型成份舄罩乙醇舆罩J酷的混合物338.(Process)Gas339.(裂程)MB-目前大多的KU,多舄提供CV

16、D,Sputters乾笈虫刻雷聚源之用340.SiH4341.矽甲烷裂程0曳漏有爆炸危除)342.NH3343.氨裂程!O!344.N2O345.笑K裂程!O!346.PH3347.磷化氢裂程348.N2349.氮兼裂程MB,常用舄破真空Ven域吹乾的媒介350.H2351.氢K裂程!O!352.NF3353.氟化氮程斜S,常用舄清除CVD反室壁沈稹矽Si媒介354.Kr355.氟K裂程KU,用来霾擎檄上的金JS靶356.Ar357.MM裂程KU,用的金JS靶或常用舄加熟tH#的熟傅媒介358.O2359.常用来作雷聚的基本鲍成,360.BCI3361.氯化硼裂程在乾笈虫刻中用以作舄笈虫刻Al

17、Nd的雷聚源362.SF6363.氟化硫裂程,常用的主要乾笈虫刻H聚源以舄提供笈虫刻主原料氟的来源364.He365.Hi程采醴,混合在其它Hi程采醴中,共同形成H聚源,使成分怖均匀366.CI2367.氯K裂程368.HCl369.氯化氢裂程MB,笈虫刻n+日寺的雷聚源之一370.CF4371.四氟化碳裂程,常用的主要乾笈虫刻H聚源以舄提供笈虫刻主原料氟的来源372.Equipment373.檄台(偎器)374.Vender375.Wra376.Cleaner377.清洗檄*言主.378.CVD(ChemicalVaporDeposition)379.化孥兼相沉稹*言主.380.Sputte

18、r381.«*言主.382.Coater383.上光阻檄*言主.384.Pre-bake385.烘*言主.386.Stepper387.步逵式曝光檄*言主.388.Exposure389.曝光390.Backside-Exposure391.背面曝光392.Titler393.刻W,蔽内部分的IE影檄具有此功能,将玻璃基板的ChipID,GlassID及Veri-Code曝出,以舄人n及檄台瓣ts之用394.EdgeRemover395.筒稿ER,指在旋阻彳灸用NBA洗净殛留在玻璃的光阻396.EdgeExposure397.曝光,指在前将玻璃基板光阻取:厚的部分再曝光,以防曝光量不

19、足,造成光阻在K影彳级留398.Developer399.影檄*言主.400.Hardbake401.硬烤*言主.402.Etcher403.笈虫刻檄404.WetEtch405.Y祥虫刻*言主.406.DryEtch407.乾笈虫刻*言主.408.Plasma409.雷聚*言主.410.RIE(Reactiveionetching)411.反鹿隹胃隹子笈虫刻*言主.412.PE(PlasmaEtch)413.雷聚笈虫刻檄*言主414.ICP(InductiveCoupledPlasma)415.雷感偶式刻檄*言主416.Stripper417.去光阻檄*言主418.O3Asher419.舄去

20、光阻檄的模鲍之一,用来去除®i程的有檄殛留*言主420.Tester421.422.Anneal423.回火*言主.424.AMSR(SheetResistance)425.沈稹膜的雷阻值测IStH#426.ATOS(Open/ShortTester)427.新短路428.ATTG(TEGTesterorTFTDeviceMeasurement)429.TFT的意隹430.ATAR(ArrayTester)431.ArrayDefect的测就哉脩432.ALSR(LaserRepair)433.雷射修彳甫檄434.ANNI(AnnealOven)435.回火tH#436.AMGI(P

21、articleCounter)437.微粒子值测,值测玻璃表面微粒子敷目及大小分怖438.AMOR;AMKL(PatternInspection)439.圈案或路检ftW;主要枷视沈稹膜彳冬曝光彳灸、笈虫刻彳灸及去光阻彳灸表面的路圈案检查(前者Orbo,彳灸者WKLA)440.AMSP(SurfaceProfiler)441.表面输廓检查檄,测量路圈案的高低分怖状况,亦可藉此求得笈虫刻速率(WBKLA-Tencor)442.AMOV(CD/Overlay)443.量用以测量CD,及加测Box重叠状况来检祖,Steppe酌精度*日主444.AMSH(Microscope)445.局倍US微主要在

22、祖.曝光彳灸、笈虫刻彳灸及去光阻倏表面的路BI案检查(®WOlympu$446.AMEL;AMOT(FilmThickness)447.膜厚量澳MU(前者Sopra,彳灸者WNano)448.AMVI(VisualInspection)449.目视检查檄,Array段St程的最彳灸出前检查450.CJ451.指高厘水洗452.MS453.指超音波水洗454.Conveyor455.傅送456.Spin457.旋(如SpinDryer:局速旋乾器)458.Chamber459.反雁室(如CVD,Sputter或乾笈虫刻)460.LoadLockLL461.舄大MitAM空或真空it入大

23、K的媒介462.Heat463.加熟464.Cool465.冷劄466.Probe467.(测款叫1的)探金十468.469.470.Process471.$4程472.Spec473.裂程的品g璋1474.Pin-Hole475.金十黑占小凹陷476.PEP(photoengravingprocess)477.完成次黄光®i程叫做彳固pep478.MI479.第一次沈稹的(M®)金JS膜如MoW480.MII481.第二次沈稹的(源桎和汲桎)金屠膜如MoAlMo482.a-Si(amorphoussilicon)483.非名吉晶矽,TFT沈稹屑之一484.n+(或n+a-

24、Si)485.拶亲隹磷的非名吉晶矽,TFT沈稹屑之一486.SiON(咐舄SiOxNy因O,N的比例不一定)487.氮氧化矽,TFT沈稹屑之一488.SiNx(x舄S典N的比例)489.氮化矽,TFT沈稹屑之一490.Cleaning491.清洗(Cleane的勤作稍舄Cleaning)492.Brush493.清洗檄所使用之款刷494.DI;DIwater;DeionizedWater496.UPW495.去胃隹子水497.超水498.Vent499.破真空,真空璘W的玻璃送至LoadLockH日寺,通入氮兼平衡厘力,以防止剌烈的化造成破片500.Purge501.用C成NF系列的兼醴通入C

25、VD清除器壁累稹的矽502.Rinse503.水洗504.Veri-Code505.光啊翻i*言主506.Vacuum507.真空508.Deposition509.沉稹510.Wetetching511./辱虫刻512.Dryetching513.乾笈虫刻514.Plasma515.n516.RIE(ReactiveIonEtching)517.反雕子笈虫刻檄*言主518.ICP(InductiveCoupledPlasma)519.雷感偶式雷聚笈虫刻檄*言主520.PE(PlasmaEtch)521.雷聚笈虫刻檄*言主522.Uniformity523.均匀性(似(大-小)/平均值的概念)

26、524.EtchingRate525.笈虫刻速率(W虫刻厚度/日寺)526.Anneal527.回火528.Laserrepair529.雷射修彳甫530.Inspection531.仲532.Pre-bake533.IS烤534.Coating535.上光阻536.Exposure537.曝光538.Develop539.IE影540.Alignment541.542.CD(criticaldimension)543.尺寸路跚IT虚的宽或W距)544.Overlay545.重叠546.Cure547.烘烤548.Bake549.烘烤550.Cell段®i程暮有名盲司介551.英文暮

27、有名官司552.中文明553.Material554.材料555.PI(polyimide)556.聚斐醯胺557.CF(ColorFilter)558.彩色滤光片559.Detergent560.洗洌561.丫-Butyrolactone562.丫-丁内酯,筒稍丫液,用於清除APR版上的PI563.Rubbingcloth564.配向布,舄棉材,用於rubbing檄台,使基板座生配向,使用前殖先挑除亲隹5(,稍舄挑布565.Seal566.框膝,功能在於圉住液晶不外漏及避免水Ki!入,使用前殖刷配,567.Spacer或MP(MicroPearl)568.隙球,功能栅持CF舆TFT钏玻璃之隙

28、距雕569.PS(PhotoSpacer)570.功能舆普通的Space相同,一般用於大尺寸走品,且可得到段好的cellgap571.Transfer或ConductivePaste或Agpaste572.金艮膝或573.UVsealant574.UVB,用於钏玻璃基板鲍合日寺假固定用575.Polyfron576.均厘纸,基板厘合日寺使用,用於分隔基板,可使厘力均匀分布以及减少亲隹5(所造成的揖害577.LC(LiquidCrystal)578.液晶579.Polarizer580.偏光膜581.582.583.Equipment584.585.CDA(CompressedDryAir)58

29、6.厘编高厘乾燥空K587.DIW,DIwater588.去胃隹子水,水589.Controlbox590.雷源控制箱591.Valve592.I8JP1,控制1?!593.Breaker594.雷源IW曷,器595.Chamber596.槽597.Cleanbooth598.漂浮工作台599.600.601.602.603.Process604.m程605.FEOL(FrontEndofLine)606.cell前段607.BEOL(BackEndofLine)608.cell废段609.Scribe(1stscribe,2ndscribe)610.切割(有一次切割及二次切割)611.Bre

30、ak(1stbreak,2dbreak)612.裂片(有一次裂片及二次裂片)613.Grind614.研磨615.PIPrint,PIcoater616.PI印刷617.PIPrebake618.PIIS烤619.PIPost-bake620.PI废烤621.Rubbing622.配向623.SealPattern,Sealdispense624.框膝壅布625.SpacerSprayer626.Spacer散丘f627.JigPress628.Jig厘合629.Alignment630.封位,631.Cure632.IO吉硬化633.SealPre-bake634.SealIS烤635.Va

31、cuumAnneal636.真空回火637.Injection638.注射(LC-Injection注入液晶)639.EndSeal640.封口膝641.PolarizerLamination642.偏光片1!占合643.644.645.Module(模鲍)段®i程暮有名盲司646.英文暮有名官司647.中文明648.Cell649.cell完成彳灸的在裂品(货)650.Backlight651.背光板652.Bezel653.外框654.DriverIC655.路656.Soldering657.焊接658.Assembly659.Big660.Aging661.老化662.Packing663.包装664.Chip665.晶片666.Tape667.踢t668.Screw669.螺670.FPC(FlexiblePrintedCable)671.可携性印刷路672.PCB(PrintedCircuitBoa

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