射频集成电路论文射频集成电路 片上螺旋电感 沟槽隔离 衬底损耗 无源滤波电路

1、 射频集成电路论文：基于STI隔离的片上铜线电感及其在滤波电路中的应用【中文摘要】在射频通信电路中,电感在收发机的射频预选回路、低噪声放大器(LNA)、压控振荡器(VCO)、阻抗匹配网络和滤波器等各个模块中的应用非常广泛,尤其是随着现代通信系统工作频率的不断提高,电感在高频下的性能将直接影响移动通信系统的质量。在这种背景下,无源射频螺旋电感及相关电路模块的实现成为一个极为重要的研究课题。当前,铜工艺的优势十分明显,主要体现在：铜的导电性能优于目前普遍使用的铝,而且铜的电阻小,散热量小；采用0.13m及以下铜工艺芯片制造技术将有效地提高芯片的工作频率。因此,在标准硅衬底上采用先进的CMOS铜工艺

2、技术制作射频集成电路,符合RFIC低成本、全集成的发展要求。本文在广泛调研文献的基础上,基于电路和电磁学理论,分析影响电感Q值的各种因素,如衬底损耗、欧姆损耗、涡流损耗、趋肤效应、邻近效应等,综合考虑各影响因子,应用HFSS三维电磁仿真软件,分析改变螺旋电感形状、优化衬底结构和电感制备工艺等对电感性能的影响,重点研究了采用先进铜布线工艺的螺旋电感,设计了若干组具有不同版图参数的铜工艺螺旋电感。其中,既有普通结构的螺旋电感,又有新型渐变结构的螺旋电感,并对设计的铜电感进行了工艺流片和测试。在此.【英文摘要】In RF communication circuits, inductors are w

3、idely used in each module of RF transceivers, such as low-noise amplifier (LNA), voltage-controlled oscillator (VCO), impedance matching networks and filters. Especially, with the increasing operating frequency of modern communication systems, the performance of inductors at high frequencies will di

4、rectly affect the quality of mobile communication systems. In this context, the realization of RF spiral inductors and the related RF circuit modules has become a very.【关键词】射频集成电路 片上螺旋电感 沟槽隔离 衬底损耗 无源滤波电路【英文关键词】RFIC on-chip spiral inductor trench isolation substrate loss passive filters【索购全文】联系Q1：138

5、113721 Q2：139938848【目录】基于STI隔离的片上铜线电感及其在滤波电路中的应用摘要6-7Abstract7第一章 绪论9-161.1 引言9-101.2 片上电感研究现状及应用10-141.3 本文的立题意义及创新点141.4 研究内容14-16第二章 电感的损耗分析及优化设计16-282.1 螺旋电感的基本结构及分类16-172.2 螺旋电感的性能参数17-192.3 螺旋电感的损耗分析及优化19-28第三章 铜工艺螺旋电感的制备和测试28-433.1 铜工艺螺旋电感的工艺流程28-303.2 铜工艺螺旋电感的在片测试30-333.3 铜工艺螺旋电感测试结果分析33-43第四章 沟槽隔离结构电感的提出及性能分析43-514.1 浅沟槽隔离的研究背景与理论基础43-444.2 优化沟槽隔离的螺旋电感设计思想及验证44-464.3 沟槽隔离螺旋电感的性能分析46-51第五章 沟槽隔离结构电感在射频滤波电路中的应用51-625.1 无源射频滤波器性能分析51-535.2 无源低通滤波器的设计53-555.3 无源低通滤