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文档简介

1、真空单位换算 汇成真空帕Pa 托Torr 微米汞柱mHg 毫巴mbar 大气压atm 工程大气压am 1 Pa 1 7.5×10-3 7.5 10-29.86923×10-61.0197×1051 Torr 133.32 1 103 1.3332 1.31579×10-3 1.3595×10-31 mHg 0.13332 10-3 1 1.3332×10-3 1.31579×10-6 1.3595×10-61 mbar 102 7.5×10-17.5×102 1 9.86923×10-

2、4 1.0197×10-3 饱和水蒸汽的压力与温度的关系 ( 摘自 范仲元: "水和水蒸气热力性质图表"  p410 )温度水蒸气压力 MPa相应真空度 MPa220.002640.09869240.002980.09835260.003360.09797280.003780.09755300.004240.09709320.004750.09658340.005320.09601360.005940.09539380.006620.09471400.007380.09395温度水蒸气压力 MPa相应真空度 MPa420.008200.0931

3、3440.009100.09223460.010090.09124480.011160.09017500.012340.08899520.013610.08772540.015000.08633560.016510.08482580.018150.08318600.019920.08141温度水蒸气压力 MPa相应真空度 MPa620.021840.07949640.023910.07742660.026150.07518680.028560.07277700.031160.07017720.033960.06737740.036960.06437760.040190.06114780.043

4、650.05768800.047360.05397温度水蒸气压力 MPa相应真空度 MPa820.051330.05000840.055570.04576860.060110.04122880.064950.03638900.070110.03122920.075610.02572940.081460.0198796 0.08769 0.01364 980.094300.007031000.101330温度水蒸气压力 MPa1020.108781040.116681060.125041080.133901100.143271120.153161140.163621160.174651180.1

5、86281200.19854温度水蒸气压力 MPa1220.211451240.225041260.239331280.254351300.270131320.278311340.304071360.322291380.341381400.36138    真空计算常用公式 1、玻义尔定律        体积V,压强P,P·V常数(一定质量的气体,当温度不变时,气体的压强与气体的体积成反比。即P1/P2V2/V1)2、盖·吕萨克定律     当压强P不变时,一定质量的气体,其体积V与绝

6、对温度T成正比:(V1/V2T1/T2常数)        当压强不变时,一定质量的气体,温度每升高(或P降低)1,则它的体积比原来增加(或缩小)1/273。3、查理定律           当气体的体积V保持不变,一定质量的气体,压强P与其他绝对温度T成正比,即:P1/P2T1/T2              在一定的体积下,一定质量的气体,温度每升高(或降低)1,它的压强比原来增加(或减少)1/273。4、平均自由程:&#

7、160;    (5×10-3)/P (cm)5、抽速:      Sdv/dt (升/秒)或 SQ/P       Q流量(托·升/秒) P压强(托)V体积(升) t时间(秒)6、通导: CQ/(P2-P1) (升/秒)7、真空抽气时间:        对于从大气压到1托抽气时间计算式: t8V/S (经验公式)     (V为体积,S为抽气速率,通常t在510分钟内选择。)8、维持泵选择:   

8、;    S维S前/109、扩散泵抽速估算:      S3D2 (D直径cm)10、罗茨泵的前级抽速:     S(0.10.2)S罗 (l/s)11、漏率:       Q漏V(P2-P1)/(t2-t1)            Q漏系统漏率(mmHg·l/s)             V系统容积(l)    &#

9、160;      P1真空泵停止时系统中压强(mmHg)          P2真空室经过时间t后达到的压强(mmHg)           t压强从P1升到P2经过的时间(s)12、粗抽泵的抽速选择:       SQ1/P预 (l/s)      S=2.3V·lg(Pa/P预)/t           S机械泵

10、有效抽速            Q1真空系统漏气率(托·升/秒)            P预需要达到的预真空度(托)     V真空系统容积(升)         t达到P预时所需要的时间        Pa大气压值(托)13、前级泵抽速选择:           排气口压力低于一个大气压

11、的传输泵如扩散泵、油增压泵、罗茨泵、涡轮分子泵等,它们工作时需要前级泵来维持其前级压力低于临界值,选用的前级泵必须能将主泵的最大气体量排走,根据管路中,各截面流量恒等的原则有:  PnSgPgS 或 SgPgs/Pn    Sg前级泵的有效抽速(l/s)  Pn主泵临界前级压强(最大排气压强)(l/s)  Pg真空室最高工作压强(托)   S主泵工作时在Pg时的有效抽速。(l/s)14、扩散泵抽速计算公式:      SQ/P(K·n)/(P·t)(升/秒)式中:S被试泵的抽

12、气速率(l/s)     n滴管内油柱上升格数(格)t油柱上升n格所需要的时间(秒)   P在泵口附近测得的压强(托)K滴管系数(托·升/秒)    KV0·(L/n)·(0/m)+PaVt               其中V0滴管和真空胶管的原始容积(升)    L滴管刻度部分的长度(mm)           n滴管刻度部分的格数(格

13、)            0油的比重(克/厘米3)         m汞的比重(克/厘米3)           Pa当地大气压强(托)          Vt滴管的刻度上的一格的对应的容积(升/格)15、旋片真空泵的几何抽速计算公式:     SZnLKv(D2-d2)/(24×104) (l/s)     

14、;  式中:Z为旋片数,n为转速(转/分),L为泵腔长度,D为泵腔直径,d为转子直径(cm),Kv为容积利用系数(一般取95)。16、O型橡胶槽深B0.7D           D为橡胶直径,槽宽C1.6B17、方形橡胶槽深B0.8A          A为方形橡胶边长,槽宽C1.67B                                      东莞市汇成真空科技有限公司公司地址:东莞市大岭山

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