ITO玻璃浅显的知识讲解

1、11ITO玻璃入门知识玻璃入门知识12 ITO( ITO(Indium Tin Oxide) )玻璃简介玻璃简介 在普通玻璃的一个表面镀上一层氧化铟锡的在普通玻璃的一个表面镀上一层氧化铟锡的导电膜，就形成了导电膜，就形成了LCD常用的氧化铟锡玻璃，通常用的氧化铟锡玻璃，通常简称为常简称为ITO玻璃。玻璃。特点特点：不仅要求导电性能好，而且还要具有玻：不仅要求导电性能好，而且还要具有玻璃一样高的透明度璃一样高的透明度一、什么是一、什么是ITO13ITO玻璃的基本结构玻璃的基本结构:基板基板sio2 ITO二、二、ITO玻璃的基本结构玻璃的基本结构14基板基板: 常用的基板厚度有常用的基板厚度有1

2、.1mm;0.7mm;0.55mm;0.5mm,0.4mm 基板的主要生产厂家有：板硝子、旭硝子、洛玻基板的主要生产厂家有：板硝子、旭硝子、洛玻 根据材料的不同根据材料的不同,通常分为钠钙玻璃和硼硅玻璃两种通常分为钠钙玻璃和硼硅玻璃两种;LCD行业行业中较常用的为钠钙型玻璃中较常用的为钠钙型玻璃.优点优点缺点缺点钠钙型玻璃钠钙型玻璃成本低成本低含有钠、钾等离子含有钠、钾等离子, ,易产易产生渗透生渗透, ,影响产品性能影响产品性能硼硅型玻璃硼硅型玻璃玻璃硬度高玻璃硬度高, ,透透过率好过率好成本较高成本较高二、二、ITO玻璃的基本结构玻璃的基本结构15（1）Si02层的作用层的作用:主要是防止

3、钠钙型基板中的金属离子扩散渗透到主要是防止钠钙型基板中的金属离子扩散渗透到ITO层中层中,影响影响ITO层的导电能力层的导电能力.（2）SiO2层的膜厚层的膜厚: 标准膜厚一般为标准膜厚一般为20-30nm二、二、ITO玻璃的基本结构玻璃的基本结构Si02层：层：16ITO(Indium Tin Oxid)层层:为氧化铟锡的透明导电层为氧化铟锡的透明导电层,其中其中I表示表示In2O3，T表示表示SnO2,一般一般Sn（即即Tin)的含量约为的含量约为10%。随着随着ITO层厚度的增加层厚度的增加,ITO层的厚度逐渐减小层的厚度逐渐减小.-应改为应改为“随着随着ITO电阻值的增加电阻值的增加,

4、ITO层的厚度逐渐减小。层的厚度逐渐减小。”二、二、ITO玻璃的基本结构玻璃的基本结构17三、三、ITO玻璃的分类玻璃的分类根据基板玻璃表面状态的不同，通常分为以下三种类型：根据基板玻璃表面状态的不同，通常分为以下三种类型：类型类型说明说明TNTN未抛光型未抛光型直接在玻璃的浮法面进行镀膜HTNHTN简单抛光型简单抛光型/TN/TN精选玻璃精选玻璃将玻璃的浮法面进行简单的抛光后,在抛光面进行镀膜STNSTN超抛光型超抛光型将玻璃的浮法面进行精细的抛光后,在抛光面进行镀膜18四、四、ITO玻璃的生产工艺流程玻璃的生产工艺流程ITO玻璃的生产工艺流程主要分为以下三个步骤：玻璃的生产工艺流程主要分为

5、以下三个步骤：（1）切割倒角；（2）抛光；（3）镀膜注：注：TN型玻璃不需要抛光。生产工艺流程更简单。型玻璃不需要抛光。生产工艺流程更简单。19ITO玻璃简要生产工艺流程如下：玻璃简要生产工艺流程如下：原片来原片来料检验料检验切割切割磨边磨边倒角倒角清洗清洗检验检验清洗清洗抛光抛光检查检查SI02镀膜镀膜ITO镀膜镀膜检验检验包装包装入库入库四、四、ITO玻璃的生产工艺流程玻璃的生产工艺流程TN型玻璃不需经此流程110五、五、ITO玻璃的评价参数玻璃的评价参数5.1透过率：透过率：在波长为在波长为550nm的光波照射下，具有的光波照射下，具有SI02阻档层玻璃的透过率不阻档层玻璃的透过率不小于

6、小于80%，其主要取决于玻璃材料、，其主要取决于玻璃材料、ITO厚度和折射率。厚度和折射率。 透过率定义：透过率定义：透过玻璃的光通量透过玻璃的光通量T2与入射光通量与入射光通量T1之比的百分率之比的百分率Tt=T2/T1X100%。1115.2方块电阻方块电阻:如图如图d为膜厚，为膜厚，I为电流，为电流，L1为膜厚在电流方向上的长度，为膜厚在电流方向上的长度，L2为膜层在垂为膜层在垂直电流方向的长度，直电流方向的长度，为导电膜的体电阻率。为导电膜的体电阻率。和和d可以认为是不变的可以认为是不变的定值，当定值，当L1=L2时，为正方形的膜层，无论方块大小如何，其电阻率时，为正方形的膜层，无论方

7、块大小如何，其电阻率为定值为定值/ d，这就是方块电阻的定义，即，这就是方块电阻的定义，即R= / dL2L1dIR=L1/(dL2)五、五、ITO玻璃的评价参数玻璃的评价参数1125.3平整度平整度:平整度可用平整度可用h/1表示，意思为在长度为表示，意思为在长度为L的范围内，表面最高点与最低的范围内，表面最高点与最低点的差值为点的差值为h。 Lh玻璃微玻璃微观表面观表面ITO玻璃基板平整度参数包括：玻璃基板平整度参数包括： 1、玻璃表面粗糙度；、玻璃表面粗糙度； 2、基板表面波纹度；、基板表面波纹度； 3、基板翘曲度；、基板翘曲度； 4、基板垂直度；、基板垂直度； 5、ITO膜表面粗糙度；

8、膜表面粗糙度； 6、ITO玻璃基板、膜厚均匀度。玻璃基板、膜厚均匀度。 五、五、ITO玻璃的评价参数玻璃的评价参数1135.3.2基板翘曲度基板翘曲度:用用h/L表示表示(如图如图) 即翘曲的高度与翘起边的长度之比即翘曲的高度与翘起边的长度之比Lh 其中要求如下其中要求如下: 厚度厚度0.7mm的基片玻璃，的基片玻璃， 翘曲度（翘曲度（h/L）0.1%。 厚度厚度0.55mm的基片玻璃，翘曲度（的基片玻璃，翘曲度（h/L）0.15%。 不允许有不允许有S形翘曲形翘曲五、五、ITO玻璃的评价参数玻璃的评价参数1145.3.3基板垂直度基板垂直度:用用a/L表示表示(如图如图) 用来描述玻璃基板四

9、条边互相垂直的程度用来描述玻璃基板四条边互相垂直的程度La通常通常a/L0.1%五、五、ITO玻璃的评价参数玻璃的评价参数1155.4化学稳定性化学稳定性:ITO镀膜层的耐化学性能应符合表镀膜层的耐化学性能应符合表2中技术要求。中技术要求。a) 耐碱性耐碱性 镀层在温度为镀层在温度为602, 浓度为浓度为10%的氢氧化钠的氢氧化钠(分析纯分析纯)溶液中浸泡溶液中浸泡5分分钟钟, ITO膜的方电阻与浸泡前的方电阻相比不得超过膜的方电阻与浸泡前的方电阻相比不得超过110%。b) 耐酸性耐酸性 在在252, 6%盐酸盐酸(分析纯分析纯)溶液中浸泡溶液中浸泡2分钟分钟, ITO膜的方电阻与浸泡膜的方电

10、阻与浸泡前的方电阻相比不得超过前的方电阻相比不得超过110%。c) 耐溶剂性能耐溶剂性能 将镀膜玻璃放入丙酮将镀膜玻璃放入丙酮(分析纯分析纯)、无水乙醇、无水乙醇(分析纯分析纯) 中浸泡中浸泡5分钟后，分钟后，ITO膜的方电阻与浸泡前的方电阻相比不得超过膜的方电阻与浸泡前的方电阻相比不得超过110%。五、五、ITO玻璃的评价参数玻璃的评价参数1165.5热稳定性热稳定性:在空气中经在空气中经30分钟分钟3005（触摸屏用（触摸屏用ITO玻璃是在玻璃是在2005）高）高温后，温后，ITO膜的方阻的变化率小于膜的方阻的变化率小于300% 5.6附着力附着力:用用3M胶带粘在玻璃表面迅速撕开胶带粘在

11、玻璃表面迅速撕开,ITO层无明显开裂现象层无明显开裂现象五、五、ITO玻璃的评价参数玻璃的评价参数117六、六、ITO膜面的判定膜面的判定拉伸浮法方向相关定义相关定义:浮法方向浮法方向:在基板玻璃制造过程中在基板玻璃制造过程中,液态玻璃流动的方向液态玻璃流动的方向.118ITO膜面主要判定方法膜面主要判定方法:(1)将万用表打至欧姆档将万用表打至欧姆档,用探针分别测试两个点用探针分别测试两个点,如果显示不为如果显示不为”1”,则则所测试面为所测试面为ITO膜面膜面;(2)用方块电阻测试仪测试面电阻用方块电阻测试仪测试面电阻,如果显示电阻值无穷大如果显示电阻值无穷大,测所测面为测所测面为非非IT

12、O膜面膜面(3)通过大角识别通过大角识别:以以1614英寸的玻璃为例英寸的玻璃为例六、六、ITO膜面的判定膜面的判定119七、七、ITO玻璃使用常见问题玻璃使用常见问题ITOITO玻璃异常玻璃异常LCDLCD的影响的影响基板中的钠离子发生渗透字肥基板的波纹度较差排骨彩虹基板的粗糙度较差涂膜的均匀性；点状彩虹面电阻不均蚀刻易发生断短路玻璃表面较脏内污,短断路ITO测射不均上下短路翘曲度差LCD生产中定位不准表面伤痕、异物、气泡LCD显示效果异常磨边倒角粗糙制程中易破损常见常见ITO玻璃异常对玻璃异常对LCD产品的影响产品的影响:120八、八、ITO玻璃的使用注意事项玻璃的使用注意事项主要注意事项主要注意事项:1、ITO玻璃连同包装应存放在干燥、阴凉、清洁的环境中，玻璃连同包装应存放在干燥、阴凉、清洁的环境中，温度温度28度以下，湿度不大于度以下，湿度不大于70%RH为宜；为宜；2、ITO玻璃的贮存期不应超过半年，包装打开后应尽快用完，玻璃的贮存期不应超过半年，包装打开后应尽快用完，如不能尽快用完，应重新密封；如不能尽快用完，应