RENA设备SOP操作流程-滚轮水平校准_第1页
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1、RENA设备设备SOP操作流程操作流程校准滚轮校准滚轮水平水平拟拟制：刘国柱制：刘国柱日期：日期：2009.8.182009.8.181首先设备停止进料，点击首先设备停止进料，点击STOPSTOP键停止设备运行键停止设备运行 2以清洗以清洗ETCH BATHETCH BATH为例为例点击点击MODE MANUAL进入手动模式进入手动模式3以清洗以清洗ETCH BATHETCH BATH为例为例 点击点击MANUAL进入手动操作界面进入手动操作界面 4以清洗以清洗ETCH BATHETCH BATH为例为例 5以清洗以清洗ETCH BATHETCH BATH为例为例 点击点击 etch bath

2、，选择，选择MODE MAN,然后按按钮然后按按钮” system draining把把etch bath 的化学品排空的化学品排空 刻蚀槽以及刻蚀槽以及tank冲洗冲洗 刻蚀槽以及刻蚀槽以及tank冲洗，按下冲洗，按下”system rinsing“冲洗（荧冲洗（荧幕的左边）幕的左边）.刻蚀槽以及刻蚀槽以及 tank 将被充满水开始循环，这个将被充满水开始循环，这个过程可以设定冲洗的次数（参数过程可以设定冲洗的次数（参数第二参数，第三档位第二参数，第三档位 ，位于荧幕的下边。之后将水排掉，刻蚀槽和，位于荧幕的下边。之后将水排掉，刻蚀槽和tank将是空将是空的（建议冲洗两次，每次循环的（建议冲洗两次，每次循环10分钟）。分钟）。6手动冲洗盖板及滚轮手动冲洗盖板及滚轮7拆下设备盖板，用水枪冲洗拆下设备盖板，用水枪冲洗ETCH BATH 盖板及滚轮盖板及滚轮拆下拆下ETCH BATH 盖板及滚轮盖板及滚轮8清洗拆下滚轮并检查滚轮是否变形，清洗拆下滚轮并检查滚轮是否变形，O-RING是否磨损，并安是否磨损，并安装滚轮装滚轮9用水平仪校准滚轮水平，并调整滚轮支架用水平仪校准滚轮水平，并调整滚轮支架10校准水平后，加水跑假片观察无问题后安装好盖板，并换药等校准水平后，加水跑假片观察无问题后安装好盖板，并换药等工艺验证工艺验证1

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