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文档简介

1、 电子的质量 9.109 382 15(45) 10 -31 kg，或 5.485 799 094 3(23) 10-4 amu Bell实验室实验室 戴维森戴维森-革末实验革末实验 mvhPheVmvE221)109788. 01 (25.126VV25.12V阴极阳极W丝或LaB6W/ZrO2发射极阳极(提取极)抑制极真实电子源几何光学透镜使光线聚焦旋转对称面焦点、焦距、物距、像距电子光学电磁透镜（电场和磁场）旋转对称的电场或磁场产生的等位面焦点、焦距、物距、像距聚焦折射面光学参量电子在等电位面的折射B等电位面AV1V2v1v2电场中等电位面是对电子电场中等电位面是对电子折射率相同的表面折

2、射率相同的表面电子穿过透镜磁场时，速度不变，方向连续偏转，形成复杂的空间轨道圆锥螺旋近轴运动。fvu111ffvfufuvM2)(INVkf BEISEISEI和和BEI比较比较SEI具有高的分辨率具有高的分辨率俄歇电子仅在表面俄歇电子仅在表面1nm层产生层产生，适用于表面分析二次电子在表面二次电子在表面10nm层内产生层内产生，其发射的深度和广度与入射电子束的直径相差无几。SEM成像的各种信号中，SEI具有最高的具有最高的分辨率分辨率背散射电子能量较高，可从试样背散射电子能量较高，可从试样表面较深处射出表面较深处射出，BEI的分辨率比SEI低得多，取决于入射电子能量和试样原子序数X射线信号产生的深度和广度范射线信号产生的深度和广度范围较大。围较大。对于特征X射线，只有能量大于Ek的

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