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文档简介
1、WALEXWALEX曝光工藝知識曝光工藝知識培訓教材培訓教材日期:日期:2015.03.26 QS2015.03.26 QS一、前言二、工序制作简介三、工艺制作流程四、作业环境要求五、讨论 編寫本教材為圖形轉移工藝製作原理,適用於本公司生產參考、及相關技術人員的培訓等範圍。v图形转移的定义: 利用油墨的感光性,透過紫外光照射,把板面油墨由单体变成聚合体.這種反應過程是由油墨成份中的感光樹脂與光敏劑所產生的光合作用來完成。形成一种抗蚀的护膜图形,那些未被油墨所保护覆盖的铜箔属于的不需要的铜箔,将在随后的化学蚀刻工艺中被蚀刻掉,经过蚀刻工艺后再褪去抗蚀膜层,得到所需要的裸铜电路图形。 v圖形轉移工
2、序包括:v 外層製作影像、 外層絲印、內層製作影像等三種工序,前兩種圖形轉移方法屬於我們常用生產工藝。 板面前处理曝光对位菲林制作QC显影预烤蚀刻印线路感光油QC印防焊感光油板面中处理后烤对位曝光QC冲板成型1、板面前处理工作原理:清洁、粗化板面,保证線路感光油墨转移至板面的结合力,并能抗蚀。 印刷感光線路油目的:將已處理合格的基板銅面,通過網印法將感光油墨整板印製在基板上,輔助線路導電圖成型及抗蝕效果。 預烤基板感光線路油目的:將已印好感光油墨的基板送入烤箱內烘烤,以便達到板面油墨不沾菲林及抗蝕之效應。 烘烤條件:恒溫75 時間:30分種 黃菲林製作目的:通過原始光繪負片菲林與重氮片正面吻合
3、,放入曝光機內並結合紫外光源給予圖形轉移成像。將已曝光成像的黃菲林放入26BE的氨水 桶內顯影,以至達到圖形完好成像。 菲林對位目的:將複製好的黃菲林與基板完全吻合,以至達到圖形位置精准無偏移。(菲林三點座標同基板座標完全重合,視為位置無偏移) 曝光原理:將已貼好黃菲林的基板放入曝光機內,利用油墨的感光性,透過紫外光照射,把板面油墨由單體變成聚合體.這種反應過程是由油墨成份中的感光樹脂與光敏劑所產生的光合作用來完成圖形轉移之效應。光源光源曝光机 紫外光能量 光引发剂 R 单体 聚合物 自由基传递 聚合交联反应 顯影目的:將未受光聚合部分油墨溶解並通過噴淋方式沖洗掉,從而使線路圖形顯現出來。顯影
4、液配比:0.81.2%水:碳酸鈉=100:0.81.2显影机 CO COOH OCH3 CO CO ONa OCH3未聚合之油墨層被Na2CO3溶液沖掉的原理,是形成鈉鹽而被溶解,而已感光部分則不會形成鈉鹽而得以保存。1%Na2CO3项目项目干膜抗蚀剂 干膜抗蚀剂 液态抗蚀剂 液态抗蚀剂 解像度3mil1 mil填平性差较好成本比干膜低4060%废水处理膜厚、处理量大无保护膜、膜薄、处理量小自动化程度可实现自动化生产,但要配用自动除干膜保护膜设备可以实现自动化生产房间:100K级房间:10K级设备:10K级设备:1K级适用蚀刻剂 酸性或碱性蚀刻剂酸性或碱性蚀刻剂洁净房要求注:产品线路结构特性而巽,干膜针对导电线路为精密形及在线宽0.15mm使用。v 曝光室操作环境环境控制: 1、温、湿度要求: 温度:20 2, 湿度:50 10RH%
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