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文档简介

1、 常用分析谱仪的名称和主要用途名称X射线光电子谱（XPS）紫外线光电子谱（UPS）俄歇电子能谱（AES）低能电子衍射（LEED）能量损失谱（EELS）电离损失谱（ILS） 主要用涂分析表面成分，研究表面吸附和表面电子结构，目前已成为一种常规表面分析手段分析表面成分，更适合于研究价电子状态，与XPS相互补充分析表面成分，能分析除H，He外的所有元素，还可用来研究许多反应分析表面成分，研究界面反应和其它反应分析表面成分，研究元素的化学状态和表面原子排列结构，其中低能电子能量损失谱又称高分辨率电子能量损失谱，所探测到的是表面几个原子层的信息分析表面成分，研究表面结构入射粒子光子光子电子电子电子电子发

2、射粒子电子电子电子电子电子电子名称电子诱导脱附（ESD）静态次级离子质（SSIMS）次级中性粒子质（SNMS）离子散射谱（ISS）离子中和谱（INS）离子激发X射线谱（IEXS）同步辐射光电子（SRPES）角分解光电子谱（ARPES）入射粒子电子离子离子离子离子离子光子光子发射粒子离子离子中性粒子离子离子光子电子电子 主要用途分析表面成分，研究表面原子吸附态分析表面成分，可用来研究实际表面、固-液界面或溶液中分子以及易热分解的生物分子分析表面成分和深度剖析分析表面成分，具有只检测最外层原子的表面灵敏度，尤适用于研究合金表面偏析和吸附等现象，亦适用于半导体以及绝缘体的分析。分析表面成分，研究表面原子电子态分析表面结构分析表面成分，研究秒边原子的电子结构，同步辐射是理想的激发光源分析表面成分，研究表面吸附原子的电子结构

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