[整理]AE(Advanced Energy)直流电源

1、AE（AdvancedEnergy）直流电源Puinacle系列产品业界公认的Pinnacle直流电源平台具有绝佳的工艺一致性和控制功能，从而大大减少了工艺变化，提高了产量。这个紧凑、功能强犬的套件提供了业界最低的存储能量、最快的弧反应以及最广的全功率运行阻抗范围。优势：最低的运行和安装成本业界最快的弧反应时间可配置的弧反应参数最人的工艺效率精确的工艺控制特点：最低的存储能量一一每T瓦输出不到lmJ无需调节输出变压器4:1的阻抗范围靶材处理时间一一最大限度地缩短新靶材的处理时间 ±0.1%的输出重复性 Joule模式一一最优化的能量传送.规格：输入电压：200/208、400或480

2、VA.C（±10%）、3宀4线、50/60kHz功率因素：负荷90%输出电压：低Z、标准Z或高Z输出极性：浮动默认值，具有正和负功能输出波纹电压：与输入线频有关，输出波纹电压分量5%RMS输出功率重复精度：0.1%,从设计功率到10%到100%。负荷调整：±1%,输出阻抗范围的V限值内4：1的负荷变化温度系数：20°C至40°C的环境温度范|制内调整输出参数变化0.005%/°C模拟接II选项：37针绝缘，0至10VDC模拟。0/24VDC数字37针，0至10VDC模拟，0/15VDC数字37针，0至5VDC模拟，0/15VDC数字串行通信选项

3、：RS-232,RS-422,RS-485（可选波特率高达57.6K）AEBus协议ASCII协议（MDX和仿真）Piofibus（可选波特1.5或12MB）AEBus协议具有DeviceNet?选项输出功率接头：三个终端、多个触点、可插入式接头、UHF、军用附件或接线坏输入功率接头：五个终端，DIN压缩接头尺寸：133X483X639mm（高X宽X长）重量:29.5kgPuinacle?6KW.6/6KW、8KW、10KW、10/10KW、12KW、15KW.20KWPumaclePlus+系列AdvancedEnergy（AE）的PinnaclePlus+电源为单体直流脉冲电源，为您的反应

4、丁艺提供脉冲直流电解决方案所有优点，包括使用简单、节约成本以及具有绝佳的灵活性。结合标准直流电技术和经过工艺证明的脉冲直流电技术，PinnaclePlus+电源与复杂而昂贵的交流电解决方案相比，沉积率更高，重复性能更好，薄膜质量更为优异。优势:更高的沉积率与产品率薄膜均匀性和品质一流成弧造成的基材损坏减少成本更低系统整合容易极佳的工艺灵活性和宽容度重复性能在过度曲线上运行稳定吞吐量更高便于监控无与伦比的系统灵活性特点：一个紧凑型封装频率调节范闱为5-350kHz占空比高达45%电压范闱宽一一单输出宽阻抗范I韦I大功率运行基材温度低单输出（5kW和10kW型号）用于双阴极生产的双输出（双路5kW

5、型号）绝佳的弧控制反应性溅射闭坏控制规格：输出功率：5KW单输出、5KW双输出、10KW单输出电压范围:325-65OVDC,可选325-800VDC输出（宽Z）输出功率接头：五个终端、DIN压缩接头；最人电线尺寸：#6AWG输出接头：两个终端、多个触点、带有应力释放功能的可插入式接头或UHF接头最人电流：15.4ADC；15.4ADC7输出；3O.8ADC频率：5到35OKHZ,可变反向电压：工作电压的10%点火功能：最大1500VDC,正常1350VDC调节模式：功率、电压或电流交流线电压：200/208>400或480VAC电流：5KW：200/208VA.C：标称值17A/4）4

6、00VA.C：标称值8.5AAP480VA.C：标称值7.5AAP5KW双输出/10KW单输出200/208VAC：标称值35A/Q）400VAC：标称值17A/Q）480VA.C：标称值15A/CP尺寸:133X483X639mm（高X宽X长）重量:5KW：21.4kg；5/5、10KW：30kgPumaclePlus+5KW>5/5KW、10KWPumacle3000系列AdvancedEnergy的Pumacle3000直流电源提供最高的效率和功率因素，从而带来业界最低的运行和安装成本。Pinnacle工艺一致性和控制带来的额外好处是使在正常溅射工艺和偏压应用中的工艺变化明显减少、

7、产量提高。优势:经过证明的Pumacle性能和可靠性最人的工艺效率一一最低的运行和安装成本通用性一一在溅射工艺和偏压应用上均表现出色快速、可配置的弧反应一一弧损伤少精确的工艺控制多种显示/控制选择符合安全/辐射标准特点:业界最高的效率和功率因素紧凑在一个2-U、1/2支架封装中，功率达3000W单输出抽头，疲惫范围广泛Piofibus和RS-232串行通信靶材处理时间一一最人限度地缩短新靶材的处理时间仅400VAC输入存储能量低一一每下瓦输出不到6mJ在人于15%的功率卞，输出重复性为±0.1%Joule模式一一最优化的能量传送对输出电平、击穿电压和工艺电压的可编程限制储存设定自动保

8、存有CE标志规格：输入电压:400VAC+10%,3,4线，50/60HZ输入电流：5AAI）过流保护：10ADC输出功率：3KW输出电压：370-1000VDC满功率输出尺寸：87X216X517nun（高X宽X长）重量:9.1kgPumacle3000WPumacleDiamond系列在工艺和偏压应用中，PumacleDiamond直流电源都能提供最高的效率和功率因素，从而带来业界最低的运行和安装成本。Pumacle绝佳的工艺一致性和控制带来的额外益处是通过一个极其紧凑的部件大人减少了变化、提高了产量。优势:经过证明的Pumacle性能和可靠性最人的工艺效率一一最低的运行和安装成本通用性一

9、一在工艺和偏压应用上均表现出色快速、可配置的弧反应一一弧损伤少众多显示/控制选项精确的工艺控制符合安全/辐射标准特点:业界最高的效率和功率因素紧凑一一在一个3-U、1/2支架封装中，功率高达15kW单输出抽头，匹配范围广泛Piofibus和RS-232串行通信靶材处理时间一一最人限度地缩短新靶材的处理时间水冷式仅400VAC输入存储能量低一一每下瓦输出不到6mJ在人于15%的功率卞，输出重复性为±0.1%Joule模式一一最优化的能量传送对输出电平、击穿电压和工艺电压的可编程限制储存设定自动保存有CE标志规格：输入电压：400VA.C土10%,3,4线，50/60HZ输入电流：5AA

10、I）过流保护：30ADC输出功率：8KW.10KW和15KW输出电压:400-800VDC满功率输出（500J000VDC可选）尺寸：8KW/10KW：499.7X132.3X215.9nun（长X宽X高）15KW：575.9X132.3X215.9iwn（长X宽X高）重量：8KW/10KW：38KG15KW：20KGPumacleDiamond8KW>10KW、15KWMDX系列500WMDX系列500W在真空环境中经久耐用，能够在磁控坏境中对不同类型的弧进行多级抑制和灭弧。在基本磁控溅射、射频偏压直流溅射以及直流偏压射频溅射中表现一流。其小巧的尺寸使其非常适合于实验室系统和小规模的生

11、产环境。优势:超载内置保护町靠性和耐用性快速反应时间兼容性认证特点:多级弧抑制及灭弧用户I/O接入功率、电流或电压调节功能规格：输入电压：90-132VAC（50-60HZ）,1180-265VAC（50-60HZ）,W输入电流：10A120VAC500W63A230VAC500W输出电压/电流：0-600V0-1A,500W0-1200V0-0.5A,2000W输出功率：0-500W尺寸：（单）86.63X215.9X406.4imn（高X宽X长）（双）86.63X482.6X406.4mm（高X宽X长）重量:（单）5.57KG（双）11.14KGMDX500W1kW和1.5kWMDX系列l

12、kW和1.5kW电源在真空环境中经久耐用，其小巧的尺寸使其成为实验室系统的理想解决方案。它们最常用作直流磁控溅射电源：在该领域，二者精密的调节性能、一流的灭弧功能和较低的存储输出能量使之成为业界领先产品。它们还在射频溅射和蚀刻系统中被用作精密调节的偏压电源°优势:针对标准z和低Z应用的两种配置高频开关电路从线路到负载的效率超过90%Aic-Out?抑制电路常用作直流磁控溅射电源特点:尺寸小输出纹波很低町调节抑弧时间规格：输出功率：MDX1KW：1000W,MDX1.5KW：1500W输出电压：1000V,1300V；500V,750V点火电压：1500V；900V,1200V输入电压

13、/电流：MDX1KW：115VAC,50/60HZ+10%,16Aniax：208/220VAC50/60HZ+10%,8.9ANIDX1.5KW：208/220VAC50/60HZ+10%,13.4A尺寸：1753X266.7X400111111重量：8.6KGMDX1KW、1.5KWEWave双极脉冲直流电系列AdvancedEnergy的EWave双极脉冲直流电源改善了表面均匀性，减少了DDPF匚艺流程(dual-dainasceneprocessflow,DDPF)应用的镀铜阶段之附加消耗，包括在生产坏境和铜工艺开发中的晶圆电镀。E'Wave电源提供多达三个通道，每个都有一个独

14、立驱动的双极电源，能够生成、存储和运行多达15个由电流控制或由电压控制的波形。优势:绝佳的填隙一流的表面均匀性降低了附加消耗强有力的监控减少了无尘室空间要求广泛的配置选择特点:通用波形形成多达三个独立控制的通道双极脉冲直流电输出，0-5kHz高电流能力四终端控制和晶圆的电压测量主机接口紧凑型封装规格：输入电压：180-230VAC3"频率：47-63HZ输出功率：2400W最大，2000W尺寸：127X432X660mm(高X宽X长)重量：30KGEWave?2400WAE(AdvancedEnergy)低频/中频电源PDX中频电源系列PDX系列小功率(1250和1400W)及大功率

15、(5000和8000W)中频电源为各种广泛的工艺应用提供一种高效、紧凑、易于整合的电源。这些高度可靠的电源提高了工艺灵活性，提供广泛的运行频率范围以优化工艺控制，确保较高的工艺重复性，并提高了吞吐量。PDX1250规格：输出功率：18-1250W频率：325-450KHZ反向功率：250Wmax输入电压：180-253VAC,50/60H乙Z)输入电流：15ARMSmax最人输出电压：300V最人输出电流：6A冷却方式：强制风冷尺寸:89X483X483mm（高X宽X长）重量：14KGPDX1400规格：输出功率：25-1400W频率：235-305KHZ反向功率：280Wmax输入电压：18

16、0-230VAC,50/60HZ,3输入电流：15ARMSmax最人输出电压：300V最人输出电流：6A冷却方式：强制风冷尺寸:89X483X483mm（高X宽X长）重量：14KGPDX5000规格：输出功率：100-5000W频率：330-460kHz反向功率：1500W输入电压：180-230VAC,50/60HZ,3输入电流：18A最人输出电压：735V最人输出电流：14.9A运行环境：5-30°C冷却方式：水冷2gpm0-30°C尺寸：178X483X508（高X宽X长）重量：41KGPDX8000规格：输出功率：100-8000W频率：340-440kHz反向功率

17、：1500W输入电压：180-230VAC,50/60HZ,3输入电流：29A最人输出电压：735V最人输出电流：14.9A运行环境：5-30°C冷却方式：水冷2gpm0-30°C尺寸：178X483X508（高X宽X长）重量：41KGPEII低频系列PEII低频系列电源提供40kHz脉冲输出，具有增强的弧控制以及与高达60kW的输出功率，该系列电源具有极宽的匹配阻抗，无输出变压器等外部组合硬件，特别适用于反应溅射。优点恒功率、电压或电流输出最高的灵活性与模块性强人的电弧控制自动制程保护装置极宽的祖抗匹配范圉高功率密度PEII5000输入电压:180-230VAC,3（接地

18、）输出频率：40kHz±0.01%输出功率：5000W输出电压：547VRMSnominalintap4；953VRMSmaxilltap7输出电流：9ARMSnominalilltap4；16ARMSmaxilltap1冷却方式：水冷，5-30°C,2gpm尺寸：177X482.6X495.3imn（高X宽X长）重量:40.8KGPEII10K输入电压:180-230VAC,3（接地）输出频率：40kHz±0.01%输出功率：5000W输出电压：547VRMSnominalintap4；953VRMSmaxilltap7输出电流：18ARMSnominalint

19、ap4:32ARMSmaxilltap1冷却方式：水冷，5-30°C,2gpm尺寸：177X482.6X495.3imn（高X宽X长）重量:40.8KGLFGS射频发生器系列LFGS发生器是用于半导体生产和一般等离子处理的多功能射频发生器。此类可变频率发生器采用了一种半桥、D类型放人器理念，拥有一种空冷式紧凑型的设计，可安装在19英寸机架上面。典型的应用包括溅射、等离子蚀刻、化学气象沉积、聚合以及表面处理。优点：可达到目前市场上可获得的最低反射功率功能：空冷式设计多功能前面板脉冲模式：0到10kHz更完善的操作功能表2个模拟用户端IRS-232接1丨、以太网接II及PROHBUS接I

20、ILFGS1250A频率：40-80kHz±0.005%输出功率：15W-1250W输入电压：187-240VAC,50/60HZ输入电流：7.5AAD,2300VA冷却方式：强制风冷130111113尺寸：483X500X88（宽X长X高）重量：19.5KGLFGS1250B频率：80-150kHz±0.005%输出功率：15W-1250W输入电压：187-240VAC,50/60HZ输入电流：7.5AAD,2300VA冷却方式：强制风冷130111113尺寸：483X500X88（宽X长X高）重量：19.5KGLFGS1250C频率：150-300kHz±0.

21、005%输出功率：15W-1250W输入电压：187-240VAC,50/60HZ输入电流：7.5AAD,2300VA冷却方式：强制风冷130111113尺寸：483X500X88（宽X长X高）重量：19.5KGLFGS1250D频率：300-500kHz±0.005%输出功率：15W-1250W输入电压：187-240VAC,50/60HZ输入电流：7.5AAD,2300VA冷却方式：强制风冷130111113尺寸：483X500X88（宽X长X高）重量：19.5KGLFGS1250A.1250B.1250C、1250DCiystal高功率电源系列AdvancedEnergy(AE

22、)的Crystal电源非常适用于人面积玻璃镀膜应用，如建筑玻璃、汽车玻璃、减反射镀脸和高反射镜等。更低的故障率，回报您更高的产量。这些电源的可用功率为180kW,120KW,60KW。为双靶磁控溅射应用提供了更宽祖抗匹配的低频率正弦工艺电源。AE的Crystal电源是唯一特别为等离子环境而设计拓扑结构的交流电人功率电源。优势:更灵活产量更高减少当机时间吞吐量提高特点:宽阻抗匹配低频率正弦工艺电源大功率电源最人ISOkW功率专为等离子环境而设计Crystal180KW规格：输入电压：400-480Vrms±10%,50/60HZ输入电流：325Aims180KW,400Vnns270A

23、1111S180KW,480Vrms输出功率：180KW输出频率：40kHz-60kH乙80kHzmin最人输出电流：600A1111S最人输出电压：1460Vnns运行环境：5-45°C冷却方式：水冷,15-40°C,14gpm尺寸:213X152X76cm（长X宽X高）重量：1220KGCivstal60KW>120KW.180KWJAE（AdvancedEnergy）RF电源Paramount射频功率输送系统这款半机架的3kW的Paramount射频（RF）功率输送系统拥有更强的功率和阻抗测量性能，能够在13.56MHz固定或可变频率、50欧姆和非50欧姆负载卞

24、（电压驻波比（VSWR）超过3:1）,为您带来出色的输送功率精度和控制性能。能够与最突然变化的等离子阻抗保持实时同步，Paiamount射频功率输送系统能为新一代技术节点带来更快的转换速度、更少的制程步骤以及更短的制程时间。其阻抗测量精度可与网络分析仪的水平相媲美，而可选频率的调谐几乎可以瞬间实现（达到亳秒数量级），其速度较市场上的任何其它产品都快。从而实现真正卓越的精确性、可重复性和对制程的控制。优点：凭借卓越的功率输送精度，实现前所未有的薄脸均匀度与传送效能（throughput）的最优化以更快的制程转换来支持新一代蚀刻与沉积制程帮助实现无缝的制程转换提高产量实现投资回报最人化<特点

25、:新一代测屋系统能够在所有输出范I制内（50欧姆和非50欧姆负载）对功率和阻抗进行极精确的测量近乎瞬间的频率调谐（可选）可选脉冲和同步脉冲的脉冲频率范闱很宽广可选的HALO(高精确度、低输出)及弧管理系统紧凑半机架型外观设计Paiamount3KW规格：输出功率：3000W频率：13.56MHz±0.005%(可选12.88-14.24NIHz)输入电压：200/208VAC±10%,3450/60HZ输入电流：13.7/14.5A/208/200VAC冷却方式：水冷和强制风冷，水温+5°C,>2gpm尺寸：13.3X21.6X44.5cm重量：<16

26、KGPaiamount3000WApex射频供电系统通用Apex系列射频电源和供电系统采用复杂的射频转换技术，在适合于真空室安装的模块化设计中提供增大的产品和工艺可靠性。Apex平台在针对半导体、平板显示器或数据存储制造以等离子为基础的薄膜工艺中表现优异。优势:更高的功率密度更好的工艺灵活性产量提高持有成本降低简化工艺工具整合灵活的通信特点:简化的设计真空室安装、框架安装、支架安装和鞋盒式(shoebox)选择宽带控制回路和可选的高重复率脉冲业界领先的弧管理符合监管要求Apex?1513规格：频率：13.56MHz输出功率：1500W输入电压：208V,50/60HZ,3宀输入电流：17A冷却

27、方式：水冷，35°C尺寸：132.59X215.14X425.96mmApex3013规格：频率：13.56MHz输出功率：3000W输入电压：208V,50/60HZ,3®输入电流：17A冷却方式：水冷，35°C尺寸：132.59X215.14X425.96nuiiApex5513规格：频率：13.56MHz输出功率：5500W输入电压：208V,50/60HZ,3宀输入电流：17A冷却方式：水冷，35°C尺寸：132.59X215.14X425.96mmApex1513、3013、5513、7KW/13、10KW/13HFV变频（2MHz）电源灵活的

28、HFV电源主要用作200和300nun晶圆制程、平板显示器和DVD设备的等离子发生器，为离子化物理气相沉积（IPVD）、CVD和蚀刻提供了工艺一致性。这种通用电源的特点有数字合成变频输出和微处理器控制，输出功率电平为3、5和8kWo此外，其输出频率范圉为1.7652165MHz。固件上的频率调谐参数町进行定制，以确保在各种真空室结构和工艺方法下的可重复运行。优势：提高了run-to-run准确性具有通用性提高了可靠性增强了工艺灵活性降低了持有成本特点：町定制的频率调谐参数输出频率范I制为1.765-2.165MHz3、5和8kW的输出功率电平数字合成频率输出微处理器控制CESAR射频发生器我们针对高级等离子应用设计了一整系列的CESARE射频发生器。针对不同频率和功率水平的该种发生器均已推出。CESAR发生器一定可以满足您最苛刻的要求。标准功能包括：多功能前面板、人的液晶显示屏、用户友好型软件、模拟和串行用户接丨I以及针对VanoMatch网络的手动控制。CESAR发生器获得了CE认证，而且还在紧凑、轻量型的设计中运用了经过实践检验的E级架构。模块化设计带来了成本上的优势，使这些坚固耐用发生器的价格非常具有吸引力。优点：利用面向最主要应用的内置脉冲能提高控制水平能提高处理灵活性利用灵活的通讯功能能进行控制和监控功