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文档简介
1、会计学1TouchPanel双面双面SiO镀膜介绍镀膜介绍(jisho)第一页,共18页。2Touch Panel 产品产品(chnpn)介绍介绍背景:Touch Panel 产品是2007年伟光公司(n s)开发的新产品,主要用于高端电子产品显示屏,目前已经进入批量生产阶段。构造:Touch Panel 产品为双面Pattern结构,膜面和空气面均有图案。 F面SiO2F面ITO层玻璃(b l)R面ITOR面金属层R面ITO层第1页/共17页第二页,共18页。3双面SiO2镀膜前准备(zhnbi)双面SiO2镀膜是Touch Panel产品制程中最重要的工序,与常规的镀膜工艺相比具有其一定的
2、特殊(tsh)性,需要用到两种特殊(tsh)用品。镀膜特殊(tsh)用品介绍:金属Mask及铜磁背板。 第2页/共17页第三页,共18页。4双面SiO2镀膜前准备(zhnbi)金属(jnsh)Mask 金属(jnsh)MASK分两种,F面金属(jnsh)MASK间隔条为凹状,R面金属(jnsh)MASK间隔条为凹状第3页/共17页第四页,共18页。5双面SiO2镀膜前准备(zhnbi)金属(jnsh)Mask R面金属(jnsh)MASKF面金属MASK第4页/共17页第五页,共18页。6双面SiO2镀膜前准备(zhnbi)铜磁背板 铜磁背板没有(mi yu)镙孔面与玻璃基板接触第5页/共17
3、页第六页,共18页。7双面SiO2镀膜作业(zuy)将金属MASK置于对位台上,固定后打开真空吸附开关,将其吸附(注意(zh y)F/R面MASK不要用错)第6页/共17页第七页,共18页。8双面SiO2镀膜作业(zuy)将基板置于金属MASK上,必须避免基板在金属MASK上的滑动(hudng)(注意基板待镀面朝下,大角与金属MASK错开)第7页/共17页第八页,共18页。9双面SiO2镀膜作业(zuy)基板对位标金属(jnsh)MASK对位框OKNG手动对位(du wi)第8页/共17页第九页,共18页。10双面SiO2镀膜作业(zuy)在监视器上确认(qurn)基板与金属MASK对位是否在
4、规格内(基板上有四个“田”字型对位标,与金属MASK上对位方框对位)第9页/共17页第十页,共18页。11双面SiO2镀膜作业(zuy)将铜磁背板置于基板置于基板上,必须避免基板在金属(jnsh)MASK上的滑动第10页/共17页第十一页,共18页。12双面SiO2镀膜作业(zuy)将组合(zh)好的待镀品置于待镀品区域第11页/共17页第十二页,共18页。13双面SiO2镀膜作业(zuy)将待镀品挂上框架(注意金属(jnsh)MASK不能有翘曲)第12页/共17页第十三页,共18页。14双面SiO2镀膜品质(pnzh)缺陷主要品质(pnzh)缺陷电子击伤金属层划伤SiO2掉膜 SiO2打弧粉
5、尘、污染第13页/共17页第十四页,共18页。15双面SiO2镀膜品质(pnzh)缺陷电子击伤:ITO层在镀膜时被击伤,外观检查(jinch)时呈一条黑线第14页/共17页第十五页,共18页。16双面SiO2镀膜品质(pnzh)缺陷金属层划伤:在镀膜时三明治结构出现错位(cu wi),造成金属层的划伤第15页/共17页第十六页,共18页。17第16页/共17页第十七页,共18页。NoImage内容(nirng)总结会计学。Touch Panel 产品介绍。背景:Touch Panel 产品是2007年伟光公司开发的新产品,主要用于高端电子产品显示屏,目前已经进入批量生产阶段。构造(guzo):Touch Panel 产品为双面Pattern结构,膜面和空气面均有图案。双面SiO2镀
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