静电防静电器材ppt课件

1、靜靜 電電靜電防護器材篇靜電防護器材篇( (三三) )2019/10/05 Static Electricity黃賢松 彙編靜靜 電電Static Electricity黃賢松 彙編靜靜 電電Static Electricity外表電阻率的概念外表電阻率的概念靜電防護资料的分類靜電防護资料的分類- - 外表電阻率外表電阻率(/cm2 ): (/cm2 ): 10-110410510910111012靜電屏蔽靜電屏蔽靜電導體靜電導體( (導電體導電體) )靜電消靜電消( (耗耗) )散资料散资料( (放電體放電體) )擴散性擴散性抗靜電性抗靜電性靜電絕緣资靜電絕緣资料料( (絕緣體絕緣體) )1

2、01(EMI/RFI(EMI/RFI屏蔽资料屏蔽资料) )(ESD(ESD平安资料平安资料) )因此因此; ; 假设我們控制生產區域的物體的外表電阻率假设我們控制生產區域的物體的外表電阻率 在放電體範圍在放電體範圍, , 就可有效的防止因摩擦就可有效的防止因摩擦, , 接觸接觸, , 加工加工. .產生靜電產生靜電. . 並保證放電過程不會對元器件呵斥靜電並保證放電過程不會對元器件呵斥靜電損害損害. .1/30靜電導體资料靜電導體资料(導電體導電體)靜電荷可以在靜電導體资料外表自在分佈，遭到靜電荷可以在靜電導體资料外表自在分佈，遭到摩擦時，正負電荷可迅速擴散洩放而不產生靜電摩擦時，正負電荷可迅

3、速擴散洩放而不產生靜電. .1. 1.靜電導體资料置於靜電場中，其外表累積靜電荷，靜電導體资料置於靜電場中，其外表累積靜電荷， 必須將其接地才干將外表積聚的靜電荷洩放。必須將其接地才干將外表積聚的靜電荷洩放。2. 2.靜電導體资料可以用於靜電導體资料可以用於SSDSSD器件生產裝配環境中。器件生產裝配環境中。3. 3.電阻率很小的靜電導體资料不適於用作電阻率很小的靜電導體资料不適於用作ESDESD防護防護 包裝。因為這種包裝至於靜電場中，外表積聚的包裝。因為這種包裝至於靜電場中，外表積聚的 靜電荷可向元器件放電呵斥元器件失效。靜電荷可向元器件放電呵斥元器件失效。外表電阻率外表電阻率: 105/

4、cm2 : 105/cm2 或更小或更小2/30靜電消靜電消( (耗耗) )散资料散资料( (放電體放電體) )靜電耗散资料的電阻率高於靜電導體资料，靜靜電耗散资料的電阻率高於靜電導體资料，靜電荷在其外表移動速率大大低於靜電導體资料。電荷在其外表移動速率大大低於靜電導體资料。1. 1.靜電耗散资料遭到摩擦時，在其外表產生的靜電靜電耗散资料遭到摩擦時，在其外表產生的靜電 荷可以較快擴散和洩放。因其較高的電阻率，不荷可以較快擴散和洩放。因其較高的電阻率，不 會呵斥资料放電。因此可以用來做會呵斥资料放電。因此可以用來做ESDESD防護包裝。防護包裝。2. 2.可用於普通的可用於普通的SSDSSD器件

5、生產裝配環境中器件生產裝配環境中 。3. 3.此種资料运用時，通常也要採取接地措施。此種资料运用時，通常也要採取接地措施。外表電阻率外表電阻率: 105 109/cm2: 105 109/cm23/30靜電絕緣资料靜電絕緣资料( (絕緣體絕緣體) )靜電絕緣资料靜電絕緣资料; ; 常因摩擦常因摩擦, , 接觸接觸, , 分離呵斥分離呵斥電子電子( (離子離子) )移動而產生靜電移動而產生靜電, , 又因其為絕又因其為絕緣緣资料電子遭遭到束缚所以無法利用接地的资料電子遭遭到束缚所以無法利用接地的方法消除其靜電方法消除其靜電. . 但但; ; 可可- - 运用離子風扇以中和其靜電荷运用離子風扇以中

6、和其靜電荷. .- - 亦可运用抗靜電劑亦可运用抗靜電劑( (帶電防止劑帶電防止劑) )噴塗外表噴塗外表, , 使其無法感應靜電使其無法感應靜電, , 惟須留意其运用有效惟須留意其运用有效期期. .如如 : : 壓克力材治具壓克力材治具, , 塑膠封套塑膠封套等等外表電阻率外表電阻率: 1012/cm2 : 1012/cm2 或更或更大大4/30電磁屏蔽资料電磁屏蔽资料n電磁屏蔽複合耗散资料是屏蔽资料和耗散材電磁屏蔽複合耗散资料是屏蔽资料和耗散材n 料複合而成。屏蔽资料電阻率極低為導電料複合而成。屏蔽资料電阻率極低為導電體體n ，其遭到摩擦外表不起靜電荷，可用於屏，其遭到摩擦外表不起靜電荷，可

7、用於屏敝敝n 射頻和低頻電磁場，但其電阻太小，易在射頻和低頻電磁場，但其電阻太小，易在靜靜n 電場中產生靜電感應損壞元器件。通常在電場中產生靜電感應損壞元器件。通常在屏屏n 蔽资料內層複合一層靜電耗散资料。蔽资料內層複合一層靜電耗散资料。外表電阻率外表電阻率: 104 /cm2 : 104 /cm2 或更小或更小5/30洩放與接地洩放與接地洩放與接地的特殊情況洩放與接地的特殊情況當當ESDESD防護资料的面積足夠大，而且對大地的電容量也很大，防護资料的面積足夠大，而且對大地的電容量也很大，當少量的靜電荷洩放其上時，對當少量的靜電荷洩放其上時，對SSDSSD元器件不會呵斥損壞。所元器件不會呵斥損

8、壞。所以在某種情況下，可將外表積非常大的以在某種情況下，可將外表積非常大的ESDESD防護资料視為一懸防護资料視為一懸浮接地。即使不直接接地也不會對浮接地。即使不直接接地也不會對SSDSSD元器件呵斥損壞。元器件呵斥損壞。軟接地軟接地( (运用靜電耗散资料洩放运用靜電耗散资料洩放) )地線串接較高的電阻器後再與大地相連。軟接地的目的在於將地線串接較高的電阻器後再與大地相連。軟接地的目的在於將對地電流限制在人身平安範圍之下對地電流限制在人身平安範圍之下5mA5mA硬接地硬接地( (运用靜電導體资料洩放运用靜電導體资料洩放) )將地線直接接地或通過一低電阻接地。硬接地用於靜電屏蔽或將地線直接接地或

9、通過一低電阻接地。硬接地用於靜電屏蔽或儀器設備、金屬體的接地。儀器設備、金屬體的接地。6/30工作區防護工作區防護人體防護人體防護儲運防護儲運防護測量和監視測量和監視教育與培訓教育與培訓1. 1.地板地板. .地毯地毯. . 2. 2.桌墊桌墊. . 地墊地墊. . 3. 3.工作椅工作椅. .4. 4.刷子刷子. .托盤托盤. .5. 5.夾治具夾治具. .6. 6.風淋室風淋室. .7. 7.無塵室無塵室. .8. 8.離子風扇離子風扇. .9. 9.抗靜電液抗靜電液. .10.10.警語標示警語標示. .11.11.其他容器其他容器. .1. 1.工作服工作服. . 2. 2.帽帽. .

10、 3. 3.鞋鞋( (套套). ). 4. 4.襪襪. . 5. 5.手套手套. . 指套指套. . 6. 6.靜電手環靜電手環. .7. 7.腳環腳環( (鍊鍊). ).1. 1.台車台車. .2. 2.週轉箱週轉箱. . 3. 3.隔板隔板. . 4. 4.包裝用品包裝用品( (屏蔽袋屏蔽袋. .盒盒. .箱箱. .ICIC管夾管夾). ).5. 5.靜電海綿靜電海綿. .1.接地監控儀接地監控儀2.腕帶測試儀腕帶測試儀3.地阻儀地阻儀.4.高阻錶高阻錶.5.表面阻抗測表面阻抗測 試儀試儀.6.靜電測試儀靜電測試儀.7.人體阻抗綜人體阻抗綜 合測試儀合測試儀.靜電防護意靜電防護意識之教育與

11、識之教育與培訓培訓常用靜電防護器具常用靜電防護器具(以靜電防護的五個關鍵表示以靜電防護的五個關鍵表示)7/30溼度和靜電發生量的關係溼度和靜電發生量的關係帶電物帶電物相對溼度相對溼度低濕低濕（10-20%）高濕高濕（65-90%）在地毯上走動在地毯上走動35000V1500V在塑膠地板上走動在塑膠地板上走動12000V250V作業台的作業者作業台的作業者6000V100V塑料帶包裝資材塑料帶包裝資材7000V600V在作業台上拿起塑膠袋在作業台上拿起塑膠袋20000V1200V溼度和帶電電位的關係代表事例溼度和帶電電位的關係代表事例:在現場走動時可產生在現場走動時可產生20006000V200

12、06000V靜電靜電- 靜電發生量按相對溼度變化靜電發生量按相對溼度變化. .- 溼度管理在溼度管理在40%70%40%70%要點要點8/30靜電環靜電環WRIST WRIST STRAPSTRAP內部電阻為內部電阻為1M 1M 的作用：的作用：假設接地線接觸到假設接地線接觸到220V220V電壓電壓 時，電流時，電流 I= I= 電壓電壓V V/ / 電電 阻阻R R，所以，所以 I=220/1000000=0.2mA I=220/1000000=0.2mA，做業，做業 者平安，如無者平安，如無1Mohm1Mohm時有觸時有觸 電危險電危險. .- 人體容易儲存數千伏的靜電，如把此靜電平安的

13、人體容易儲存數千伏的靜電，如把此靜電平安的- 放電應採用帶有放電應採用帶有1M 1M 電阻的防靜電手環電阻的防靜電手環. .- 防靜電手環一定要與皮膚緊密接觸防靜電手環一定要與皮膚緊密接觸. .- 無線靜電環會殘留無線靜電環會殘留 150 350 V 150 350 V靜電壓靜電壓, ,不建議採用不建議採用. .要點要點9/30靜電環的配戴靜電環的配戴(1)( ( 靜電環須與靜電環須與 ESD Line ESD Line 相連接相連接 ) )金屬金屬正確的作業方式正確的作業方式: :1. 1. 將靜電環套於手腕上將靜電環套於手腕上, , 手環內圈的手環內圈的2. 2. 將靜電環伸縮帶拉緊使之與

14、手腕皮膚緊密接觸將靜電環伸縮帶拉緊使之與手腕皮膚緊密接觸, , 不可因作業環境較冷而繫於衣服袖口上不可因作業環境較冷而繫於衣服袖口上. .金屬部份必須直接接觸手腕皮膚金屬部份必須直接接觸手腕皮膚. .3. 3. 將鱷魚夾夾在靜電線露銅部份將鱷魚夾夾在靜電線露銅部份, , 銅線銅線( (片片) )必須位於必須位於 鱷魚夾鋸齒部份鱷魚夾鋸齒部份 ( (假设銅線或片隻直徑或面積較假设銅線或片隻直徑或面積較 大則可夾於任何位置大則可夾於任何位置 ) .) .10/30靜電環的配戴靜電環的配戴(2)( ( 靜電環須與靜電環須與 ESD Line ESD Line 相連接相連接 ) )留意事項留意事項:

15、:1. 1. 靜電環之手環與導線連接接頭不可有任何異物以靜電環之手環與導線連接接頭不可有任何異物以3. 3. 或作業員在離開任务崗位時或作業員在離開任务崗位時, , 可將夾於地線之鱷魚可將夾於地線之鱷魚夾鬆開夾鬆開, , 作業員在重新夾鱷魚夾時作業員在重新夾鱷魚夾時, , 方式須正確方式須正確 . . 影響靜電環运用壽命及运用效果影響靜電環运用壽命及运用效果 . .2. 2. 作業員在離開任务崗位時作業員在離開任务崗位時, , 可將連結導線與手環之可將連結導線與手環之間的接頭拔開間的接頭拔開, , 作業員在重新扣該接頭時必須檢查作業員在重新扣該接頭時必須檢查 能否有異物等附在接頭導電部份能否有

16、異物等附在接頭導電部份 . .11/30靜電環佩帶的測量靜電環佩帶的測量( ( 靜電環須與靜電環須與 ESD Line ESD Line 相連接相連接 ) )靜電環佩靜電環佩帶的測量帶的測量: :3. 3. 假设靜電環測試為假设靜電環測試為 “壞不能正常运用時壞不能正常运用時, , 須更換須更換或檢或檢 查再經測量為綠燈後方可查再經測量為綠燈後方可运用运用. .2. 2. 測量方法測量方法: : 將測量儀鱷魚夾夾在靜電線上將測量儀鱷魚夾夾在靜電線上, , 被測試作被測試作業員一手按住測試儀上之測試盤業員一手按住測試儀上之測試盤, , 依測量儀顯示之依測量儀顯示之 指示燈断定被測作業員佩帶靜電環

17、的好壞指示燈断定被測作業員佩帶靜電環的好壞, , 標準是標準是: :1. 1. 測量設備測量設備: : 靜電環測試儀靜電環測試儀 . . 綠燈亮為綠燈亮為 “ 好好 可正常运用可正常运用; ; 紅或黃燈亮均紅或黃燈亮均為為 “ 壞壞 不能正常运用不能正常运用4. 4. 測量頻率測量頻率: : 每日測量一次並作記錄每日測量一次並作記錄. .HIGHLOWGOOD12/30靜電環的配戴的效果靜電環的配戴的效果靜電檢點部位靜電檢點部位靜電發生量靜電發生量B-AB-A靜電環佩帶時靜電環佩帶時 A A靜電環未佩帶時靜電環未佩帶時 B B1. 1.工作服袖子部位工作服袖子部位 - - 停止狀態停止狀態 -

18、 - 作業狀態作業狀態+128 +128 V V+505 V+505 V+1215 +1215 V V+1275 V+1275 V1090 1090 V V 770 V 770 V2. 2.空手部位空手部位+20 +20 V V+255 +255 V V235 235 V V3. 3.戴手套部位戴手套部位 - - 棉手套棉手套-740 -740 V V-905 -905 V V165 165 V V4. 4.作業中把靜電環作業中把靜電環-佩帶在導電手套上佩帶在導電手套上-佩帶在衣服袖子上佩帶在衣服袖子上-佩帶在空手上佩帶在空手上 840 840 V V 460 V 460 V 20 V 20

19、V靜電發生量檢點事例靜電發生量檢點事例:空手佩帶靜電環才最理空手佩帶靜電環才最理想！想！13/30靜電環阻抗測試靜電環阻抗測試(1) 伸縮拉環伸縮拉環 插頭插頭插頭與拉環間阻抗為插頭與拉環間阻抗為1M10%14/30靜電環阻抗測試靜電環阻抗測試(2) 將數字万用表檔位調整到兆歐姆將數字万用表檔位調整到兆歐姆(M)(M)檔檔 2. 2. 用數字万用表一端表筆夾住靜電環接用數字万用表一端表筆夾住靜電環接地線地線 插頭插頭, ,另另 一端筆夾住靜電環靜電帶。一端筆夾住靜電環靜電帶。 3. 3. 讀出數字万用表的顯示數值并記錄于讀出數字万用表的顯示數值并記錄于靜靜 電環點檢記錄表中。電環點檢記錄表中。

20、 4. 4. 假设測量值超出規格假设測量值超出規格(1M+/-10%)(1M+/-10%)則則更換之。更換之。15/30防靜電桌墊防靜電桌墊( MAT)救救救救ICIC吧！吧！我害怕！我害怕！普通橡膠桌墊普通橡膠桌墊MATMAT前方是敵區，前方是敵區，但我沒事！但我沒事！我也沒事！我也沒事！導電性靜電桌墊導電性靜電桌墊MATMAT-防靜電桌墊防靜電桌墊MATMAT按用途分類為桌按用途分類為桌墊和地墊，按材質分類為傳導材質墊和地墊，按材質分類為傳導材質和絕緣材質和絕緣材質. .要點要點16/30防靜電桌墊防靜電桌墊( MAT)的點檢的點檢外表阻抗外表阻抗測試儀測試儀1. 1.將外表阻抗測試儀平放

21、于防靜電桌墊上將外表阻抗測試儀平放于防靜電桌墊上2. 2.按下測試按鈕按下測試按鈕3. 3.讀數在讀數在105109105109之間則為合格之間則為合格點檢周期：一個月點檢周期：一個月17/30防靜電防靜電 盒盒/箱箱 的點檢的點檢1. 1.將外表阻抗測試儀平貼于防靜電盒將外表阻抗測試儀平貼于防靜電盒/ /箱外表箱外表2. 2.按下測試按鈕按下測試按鈕3. 3.讀數在讀數在105109105109之間則為合格之間則為合格點檢周期：三個月點檢周期：三個月18/3025cm25cm以上以上平安距離平安距離負離子扇負離子扇有效距離普通有效距離普通為為1.5 3 cm1.5 3 cm產品不同而不同產品

22、不同而不同負離子負離子要點要點帶電體帶電體負離子扇對不能接地的絕緣類負離子扇對不能接地的絕緣類PIASTICPIASTIC、VINYIVINYI等有相當好的等有相當好的效果，但不同產品特性也不同，运用時須好美观說明書。平安效果，但不同產品特性也不同，运用時須好美观說明書。平安距離、清掃週期、同位元素、运用時的校正週期等須留意距離、清掃週期、同位元素、运用時的校正週期等須留意負離子扇負離子扇19/30靜電消除器的保養及效果檢驗靜電消除器的保養及效果檢驗1. 1. 保養保養: 1) : 1) 假设髒污變黑需用棉花棒沾酒精擦拭假设髒污變黑需用棉花棒沾酒精擦拭 . 2). 2)每每 2 2 週一次週一

23、次. .2. 2. 離子扇效果確認及檢驗方法離子扇效果確認及檢驗方法: : 可运用可运用紅外線靜電測試儀紅外線靜電測試儀做驗證做驗證 . . 4. 4. 檢驗方法檢驗方法: :可运用可运用紅外線靜電測試儀紅外線靜電測試儀做驗證做驗證, , 乃按乃按 ESD ESD 協會標準協會標準(EOS/ESD Association Standard) (EOS/ESD Association Standard) 符合符合: ESD / EOS S.3: ESD / EOS S.3標準標準, ,透過洩放電透過洩放電時間值及殘流平衡電位兩項來檢驗時間值及殘流平衡電位兩項來檢驗. .1) 1)靜電壓值變化時間

24、靜電壓值變化時間: : 由由 +/-1000V+/-1000V降至降至+/-40V+/-40V以內以內; ; 約約2 2秒左右秒左右. .2) 2)正負離子平衡狀態正負離子平衡狀態: : 吹過後須降至吹過後須降至+/-2040V.+/-2040V.5. 5. 普通靜電會藉由空氣散逸在空氣中普通靜電會藉由空氣散逸在空氣中, ,一段時間後空氣會累積靜電一段時間後空氣會累積靜電. .假设假设 每三個月校驗一次.3. 3. 離子扇效果確認離子扇效果確認: : 取取ESDESD量測儀在通過離子扇前後做量測量測儀在通過離子扇前後做量測; ; 假设所得假设所得值值未降至標準值未降至標準值 (+/-40V(+

25、/-40V以內以內) )時時, , 即表示失效即表示失效. . 空調不佳會導致空間之靜電值偏高,可量測空調附近之靜電值, 並更 為“抗靜電濾網即可.6. 6. 測量頻率測量頻率: : 每每 3 3個月校驗一次並做紀錄個月校驗一次並做紀錄. .20/30空氣中的離子影響空氣中的離子影響作用對象作用對象（- -）離子多的時候）離子多的時候（+ +）離子多的時候）離子多的時候血液血液鹼性鹼性酸性酸性心臟心臟跳動正常跳動正常跳動困難跳動困難血壓血壓正常正常升高升高呼吸呼吸舒暢舒暢困難困難血管血管正常正常變窄變窄骨骼骨骼健康健康脆弱脆弱疲勞狀態疲勞狀態不易疲勞，疲勞後恢復很快不易疲勞，疲勞後恢復很快容易

26、疲勞，疲勞後恢復很慢容易疲勞，疲勞後恢復很慢21/30靜電度測量留意事項靜電度測量留意事項(1) 溼度管理留意事項溼度管理留意事項 1 1當室內有煙霧產生時須即時換氣。當室內有煙霧產生時須即時換氣。 2 2熱交換情況，例如：將熱交換情況，例如：將55，65%65%的空氣加的空氣加熱到熱到20 20 时，溼度將變成时，溼度將變成24%24%，此時需求加，此時需求加濕。超聲波加濕或用水把毛巾浸濕等方法濕。超聲波加濕或用水把毛巾浸濕等方法- - 留意：此時水中假设含有氯成分較多的自來留意：此時水中假设含有氯成分較多的自來水部品容易被腐蝕，不能运用水部品容易被腐蝕，不能运用 3 3相對溼度相對溼度50

27、%50%以下的低溼度狀態時，帶電以下的低溼度狀態時，帶電電壓會急昇，相對溼度控制在電壓會急昇，相對溼度控制在50 60%50 60%範圍內範圍內較好。較好。22/30靜電度測量留意事項靜電度測量留意事項(2)2. 接地留意事項接地留意事項1機器類的金屬部分直接接地。機器類的金屬部分直接接地。2絕緣體接地無效果絕緣體接地無效果.3作業台或作業地面运用外表帶電阻的導電性作業台或作業地面运用外表帶電阻的導電性MAT105109 接地接地.為了作業者的平安和控制電流，為了作業者的平安和控制電流，必須佩帶電阻值為必須佩帶電阻值為1M的靜電環接地。的靜電環接地。4运用絕緣阻抗計定期檢查作業台或作業地面的導

28、電运用絕緣阻抗計定期檢查作業台或作業地面的導電性性MAT，作，作 業者佩帶的靜電環能否斷開，電阻值業者佩帶的靜電環能否斷開，電阻值能否正常等等。能否正常等等。5接地線不能运用鐵材構成的作業台或傳送帶，應設接地線不能运用鐵材構成的作業台或傳送帶，應設置專用接地線。置專用接地線。23/30靜電度測量留意事項靜電度測量留意事項(3)3. 3. 靜電度測量時的留意事項靜電度測量時的留意事項1 1帶電物和測定器之間的測試距離要坚持一定的正確距離。根據帶電物和測定器之間的測試距離要坚持一定的正確距離。根據儀器的不同，測定距離也不同，普通為儀器的不同，測定距離也不同，普通為 3 5 C M 3 5 C M2

29、 2雖然物體的帶電量一定，但因其與周圍的其他物體之間的電位關雖然物體的帶電量一定，但因其與周圍的其他物體之間的電位關 係，所以此測定物體的電位有變化係，所以此測定物體的電位有變化. .例如：測定物體附近有其他例如：測定物體附近有其他帶電物體時，測量值比實際要高。帶電物體時，測量值比實際要高。3 3測量導電性物體時，因靜電在此物體外表大面積分散，所以使測測量導電性物體時，因靜電在此物體外表大面積分散，所以使測 定器無法測定高精度值。定器無法測定高精度值。4 4測定前把測定器接地。測量者佩帶靜電環才不會影響測定器的測定前把測定器接地。測量者佩帶靜電環才不會影響測定器的精確度精確度24/30防靜電防

30、靜電 衣衣/帽帽/手套手套/指套指套防靜電衣是用防靜電滌卡等布料製成的服裝。其導電機理是布料紗線含防靜電衣是用防靜電滌卡等布料製成的服裝。其導電機理是布料紗線含一定比例的導電紗，導電紗又是由一定比例的不鏽鋼纖維其他導電纖維一定比例的導電紗，導電紗又是由一定比例的不鏽鋼纖維其他導電纖維與普通纖維混紡而成。通過導電纖維的電暈放電和洩漏作用消除服裝上與普通纖維混紡而成。通過導電纖維的電暈放電和洩漏作用消除服裝上的靜電。由於不繡鋼纖維屬金屬類纖維，所以，由它織成的防靜電布料的靜電。由於不繡鋼纖維屬金屬類纖維，所以，由它織成的防靜電布料的導電性能穩定，不隨服裝的洗滌次數而變化的導電性能穩定，不隨服裝的洗滌次數而變化. .帶電電荷密度帶電電荷密度7c7