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1、卢瑟福背散射分析卢瑟福背散射分析Rutherford Backscattering Spectrometry(RBS)22121221011cossin121MMMMMMEEK220210221)4(MEMEMkME返 回2/ 122122/ 12212222120sin1sin1cossin241MMMMEeZZddLLddd1 探测系统的计数与平均截面的关系为: dxNNNps0返 回 1cos/00 xindxxdxdEEE 2cos/01xoutdxxdxdEkEE 21cos/0cos/010 xoutxindxxdxdEdxxdxdEkEkEE 上面导出了上面导出了E与深度与深度x
2、的关系式,由于式子比较复杂,的关系式,由于式子比较复杂,故在实际的应用中采用多种近似方法,(参见王广故在实际的应用中采用多种近似方法,(参见王广厚厚粒子同固体物质的相互作用粒子同固体物质的相互作用 P111) 表面能近似表面能近似适用于薄靶或厚靶的近表面区适用于薄靶或厚靶的近表面区 平均能量近似平均能量近似适用于厚靶适用于厚靶 能量损失比法能量损失比法适用于薄靶,对厚靶也适用,但精度差适用于薄靶,对厚靶也适用,但精度差 数值积分法数值积分法适用于薄靶和厚靶适用于薄靶和厚靶 这里只介绍这里只介绍表面能近似和数值积分法表面能近似和数值积分法 0EinxdxdExdxdE 0kEoutxdxdExd
3、xdE xxdxdEkxdxdEEkEE21cos1cos00 21cos1cos00kEExdxdEkxdxdES返 回 在在K因子的推导中曾得出这样一个结论:因子的推导中曾得出这样一个结论: 增大散射角增大散射角 增大入射粒子质量增大入射粒子质量 增大入射粒子能量增大入射粒子能量 提高探测系统的分辨提高探测系统的分辨0211222)4(EMEMM返 回 轻基体上的重元素有很好的分辨轻基体上的重元素有很好的分辨 重基体上的轻元素分辨差重基体上的轻元素分辨差返 回 提高探测系统的分辨,即减小提高探测系统的分辨,即减小E 增大增大S 采用重离子入射采用重离子入射 采用倾角入射,即增大采用倾角入射,即增大1 2返 回薄靶背散射图04008001200350370390410430450470道数计数返 回多元素薄靶04008001200300320340360380400420道数计数返 回 表面产额表面产额 取取E为探测系统每一道对应的能量,为探测系统每一道对应的能量, x为对应为对应于能量间隔的靶厚度,于能量间隔的靶厚度, 则表面层的产额为:则表面层的产额为: H=Np(E0)Nx/cos1 为简化,令为简化,令1 =0 H=Np(E0)Nx,利用表面能近似结论利用表面能近似结论 H=Np(E0)NE/S(E0)Np(
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