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会计学1ch溶液镀膜法化学溶液沉积溶液镀膜法化学溶液沉积第1页/共23页第2页/共23页第3页/共23页第4页/共23页第5页/共23页第6页/共23页第7页/共23页第8页/共23页旋覆法旋覆法 浸渍法膜厚控制不易，不适合于小衬底，浸渍法膜厚控制不易，不适合于小衬底，特别是小圆衬底。而旋覆正好适合于小圆衬底特别是小圆衬底。而旋覆正好适合于小圆衬底，但大面积均匀膜困难。，但大面积均匀膜困难。第9页/共23页MM2n +2ne第10页/共23页第11页/共23页屏蔽形膜，电解电容器。屏蔽形膜，电解电容器。第12页/共23页第13页/共23页第14页/共23页第15页/共23页第16页/共23页表面平滑，水平的基板从上向表面平滑，水平的基板从上向下缓慢下降，可制得理想的下缓慢下降，可制得理想的X型膜。型膜。第17页/共23页第18页/共23页第19页/共23页第20页/共23页好。好。第21页/共23页第22页/共23页

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