静电放电防护管制作业程序GQS-ZZ09-05A5繁体

1、 Quality Management System文件制訂/變更申請單首次發行 修訂 廢止品質手冊 作業程序 作業辦法 表單文件名稱：靜電放電防護管制作業程序ESD Protection Control Procedure文件編號：GQS-ZZ09-05總版次：A5申請單號：DDCN-11143總 頁 數 : 9 頁 頁次版次修訂/變更前要點：1. 靜電放電防護管制作業程序對應廠區文件編號為*QS-ZZ09-05。修訂/變更後要點：1. 因應集團文件一致性作業要求，将文件转换为集团共用文件，以便後續維護和管理，因此将靜電放電防護管制作業程序文件編號修訂爲GQS-ZZ09-05。 1A52A5

2、3A54A55A56A57A58A59A5相 關 單 位 會 簽核 准審 查編 撰【文件發行日即生效日】管理代表品質管理處品質管理處發行章： O-053F本文件之著作權及業務秘密內容屬於本公司，非經准許不得翻印COPYRIGHT OF THIS DOCUMENT AND BUSINESS SECRETS CONTAINED HEREIN ARE PROPERTY OF OUR COMPANY. NO DUPLICATION IS ALLOWED WITHOUT PRIOR APPROVAL主題：靜電放電防護管制作業程序編號：GQS-ZZ09-05版次：A5頁數：10/91 目的為降低靜電敏感元

3、器件及產品在公司內部流通過程中因受到靜電損害而影響產品品質，故制訂本程序以作為靜電防護管制的基本要求。2 適用範圍 需進行靜電防護措施之物品、區域與單位。3 職責3.1 品質管理處3.1.1 負責收集靜電放電國際/國內標準及客戶相關要求並公告、分享。3.1.2 協助事業單位規劃靜電防護系統。3.1.3 依照規劃週期稽核ESD防護作業的執行及改善追蹤。3.2 行政管理處3.2.1 負責建立正確的防靜電接地系統確保該系統適合相應的生產場地。(注意：因生產設備不同而要採用不同的防靜電接地系統如強磁場、強電場、高頻或微波設備場地要使用不同的防靜電接地系統。)3.2.2 負責定期監測各事業處的防靜電接地

4、系統確保防靜電接地系統的有效性、可靠性和安全性。3.2.3 協助靜電防護工程鋪設竣工驗收。3.3 事業單位3.3.1 品保/品管A 負責制定定期ESD防護稽核或確認計劃（至少每半年1次）。B 執行現場ESD測試/防護要求的點檢。C 靜電損害事件之追溯、調查、矯正與預防措施，作好記錄並存檔。3.3.2 工程(開發)A 負責將客戶靜電防護相關要求傳達給品質管理處。B 負責將客戶靜電防護規格納入公司內工程規範標準。3.3.3 製造/制工A 制定需靜電防護產品之標準作業規範（SOP）的操作標準、操作規範和注意事項。B 依SOP規定進行正確作業以免造成靜電損害。C 負責事業處(部)靜電防護規劃與維護及靜

5、電防護佈局圖制定。D 負責靜電防護工程鋪設竣工驗收。3.3.4 倉庫/物流A 正確理解ESDS的保管條件，執行ESDS倉庫內靜電防護的措施和相關的管理制度。B 靜電敏感元器件的標示和隔離。C 靜電敏感元器件的貯位、數量、發放、領用的正確性。 4 定義4.1 靜電放電(ESD: Electrostatic Discharge)靜電放電是指兩個有不同靜電電位的物體由於直接接觸或靜電場感應引起的兩物體間的靜電電荷的轉移現象。(當靜電能進入或接近敏感組件時會造成元器件的損壞 )4.2 靜電敏感組件(ESDS: Electrostatic Discharge Sensitivity Device)在常規

6、處理、測試或運輸中可能會受到靜電場或靜電放電損害的分立器件、集成電路或組件(ESDS)。靜電敏感器件主要是超大規模集成電路特別是金屬化膜半導體(MOS電路)。可根據ESDS分級表(附件二)針對不同的ESDS採取不同的靜電防護措施。4.3 靜電防護區(EPA: ESD Protective Area)配備各種防靜電設備和器材能採用靜電控制工藝限制靜電電位並具有確定邊界和專門標記的適於對靜電敏感器件作業的場所即為靜電防護區。靜電防護區應劃定區域設有區域性標誌室溫一般設定為 23±5相對濕度為 45-75RH。4.4 接地(grounding)接地是指電氣連接到能供給或接受大量電荷的物體(

7、如大地運載工具外殼等)。可分為硬接地和軟接地兩種：硬接地是指直接與大地電極作導電性連接的接地方式;軟接地是指通過一個足以限制流過人體的電流達到安全值的電阻連接到大地電極的接地方式。5 作業流程：無。6 作業內容6.1 靜電敏感組件 ( ESDS )管理 6.1.1 ESDS 進料管制 A IQC必須能識別防靜電保護包裝以及防靜電標簽、標誌。ESDS 進廠時要用導/抗靜電包裝(防靜電託盤器皿、透明靜電硬塑料管、導靜電塑料盒等)封裝且其包裝上應貼有ESDS的專用標簽。B IQC人員必須確認防靜電包裝袋是否有破損現象。C 若需要對ESDS 做必要的檢驗時應注意遵守以下原則。a ESDS 的檢驗測試均

8、應在防靜電工作區內進行或在全接地(即人體接地、工作臺接地、儀器設備工具接地)條件下暫時進行。b 在檢驗ESDS 時人體應先放電並手持ESDS 的兩端嚴禁人手觸及器件的引線端。c 檢驗ESDS時應從包裝盒取一塊測一塊放回原包裝一塊，不能堆在桌面上。經測試不合格的器件應及時退庫。6.1.2 運輸、存儲、保管過程中ESDS管制A 在整個流通過程中要在防靜電的環境中進行使用防靜電轉運箱，防靜電塑料袋、盒、架等防護工具、防靜電轉運車等。B ESDS運輸過程中不得掉落在地不得任意脫離包裝。   C 對入庫的所有ESDS 要檢查其包裝盒上和入庫驗收單上是否有防靜電的驚醒標誌。D

9、 如有需求應建立ESDS 保管專用庫房。ESDS 保管專用庫房應具有靜電防護的措施和相關的管理制度，庫房工作人員應經過防靜電教育訓練。E 存放ESDS的庫房相對濕度45-75RH。F ESDS在儲存過程中應保持原包裝，若需要更換包裝時，要使用具有防靜電性能的專用容器，不得任意使用普通塑料袋、普通塑料盒等非防靜電的容器。6.1.3 配料、收、發、領、退料過程中ESDS管制A 所有收、發、領、退料過程中，相關人員在執行每一程序時，首先確認所進行的項目是否屬於防靜電的範圍，且在整個過程中ESDS均應在防靜電包裝容器內進行作業，禁止將ESDS放置在沒有靜電保護措施的工作臺面上作業。B 在ESDS配料作

10、業時要在具有靜電防護的環境中進行，並盡可能按原包裝配料當缺料、補料。需分散包裝時，應採用防靜電包裝容器。C 配料、發、領料人員應根據工程藍圖中的靜電防護標誌符號按相關要求進行作業。在相應的領料單及物料追蹤單上，該類型器件型號的醒目位置處加注驚醒符號。 6.1.4 組裝過程中ESDS管制 A 靜電敏感器件在預處理過程中的靜電防護要求a ESDS的預處理，要求在具有“靜電洩漏”工藝設施的環境中進行。相關加工設備、儀器、工作臺面要防靜電接地，要求操作人員穿好防靜電工作服，正確佩戴腕帶，不允許將腕帶套在棉毛衫袖或襯衣袖布上。b ESDS進行引腳校整和成形操作時，成形機外殼應可靠接入防靜電地線。c 對E

11、PPOM進行寫、擦及信息保護操作時，將寫入器/擦除器充分接地，操作人員要正確取放、操作器件。B PCB組件裝插、焊接過程中的靜電防護要求a PCB組件的人工裝插、焊接應在防靜電工作區內進行，採用自動或半自動設備插裝、焊接時，要在採取了局部靜電中和以及可靠的靜電防護工藝的區域內或靜電防護區進行。b 在PCB組裝時，當採用自動或半自動裝插機、貼片機、自動焊接機（波峰焊、回流焊機）、自動/半自動清洗機、烘乾、固化、保溫設備、老化烘箱等時，均要直接接入大地地線，或採用有效的離子風機，以淨化環境。設備周圍的場地要鋪設防靜電地墊或採用防靜電地板；若生產在線使用傳送機時，其傳送在線的工裝板要是導靜電性的，並

12、安全可靠接地。c 除典型設備、儀器、臺面作防靜電接地外，手工操作用的電烙鐵、吸錫器應亦要可靠接地，不允許採用二芯電烙鐵焊接ESDS。d 對ESDS作業時操作人員穿的工作服、工作鞋，戴的工作手套、工作帽、腕帶均應符合防靜電要求。e 操作人員每次觸摸ESDS之前，都應將自身和工具習慣性地與接地物體碰觸一下，以釋放掉靜電荷。f 操作人員在裝插ESDS過程中，應持其外殼避免直接接觸引腳，對插件應持其兩端。在工作臺上作業時，應注意防止器件與臺面發生相對運動。g PCB組件在裝插過程中要儘量避免將ESDS放在防靜電桌面上。h 靜電敏感器件不允許插反。裝焊好的PCB組件插入防靜電袋保存或轉運。C PCB組件

13、測試檢驗過程中的靜電防護及要求a PCB組件的人工測試、檢查應在防靜電操作臺上進行，測試人員要作可靠的靜電釋放和人身接地處理。PCB的自動測試設備應可靠接地、在防靜電環境條件下進行。測試後的PCB組件應及時放入防靜電袋或防靜電插件周轉箱內。b 不允許在電源接通的情況下插撥PCB或拆、焊PCB上的ESDS。c 含有ESDS的PCB（部件、整件）在加信號測試時，應先接通部件、整件電源，後接通信號源。電源測試結束後先關閉信號源的電源，後關閉部件、整件電源。d PCB組件的供電電壓、輸入電壓不得超過額定值。電源要防止電壓瞬變。e 測試人員在拿取PCB組件時，要手持其邊緣部位，不要觸及插頭部位，嚴禁測試

14、人員用手或工具去觸及PCB線路或ESDS的導線。f PCB組件在測試過程中，若需要調換ESDS時，應在具有防靜電措施的設備上進行，並防止插反ESDS.g 測試、檢驗合格的PCB組件在封裝前最好用離子槍噴射一次，以消除可能積聚在其上的靜電荷，然後放入防靜電塑料袋中。D PCB組件中間處理過程中的靜電防護要求PCB組件在組裝、測試並經檢驗合格後，裝入整機以前存在一個“中間處理過程”，可能包括如下情況:單板入庫（PCB組件入庫），直接插入整機，單板經高溫加電工藝老化，然後入庫或裝入整機等。這些中間處理過程的靜電防護依據本程序6.1.2 部分 (運輸、存儲、保管過程中ESDS管制)作業。E 試運行及工

15、藝老化過程中的靜電防護及要求a 印製電路板組件的加電老化試驗應在有防靜電的設備上進行工藝老化的工作環境，並且應是一個防靜電工作區(點)。b 當在自動或半自動流水在線作單板工藝老化或作整機常溫試運行(包括高溫工藝老化)時，採用靜電洩漏工藝來進行靜電控制。F 包裝工藝靜電防護及要求a 包裝含有ESDS的部件、整件、產品尤其是PCB組件與整機拆散分立包裝時，要求一切包裝材料在作業過程中不積累電荷，要採用防靜電海綿、防靜電屏蔽袋在防靜電工作臺進行包裝並貼上防靜電標簽。b 對已經進行過防靜電內包裝的整件/ESDS印製板可按一般包裝件進行外包裝。G 維修a 重工、更換器件等維修作業應遵守以上相關規定。b

16、在公司以外對ESDS印製板和整機維修時，應使用靜電維修包，並遵守以上規定。6.2 靜電防護區(點)管理6.2.1 靜電防護區(點)的一般要求A 防靜電工作區(點)應設有區域性標誌，標誌範圍以內為防靜電控制區。一個防靜電工作區(點)的出入口至多兩個，並視為安全門。在其門口的醒目位置，設置安全區（點）的標識牌，並設統一的警告標誌。B 防靜電工作區（點）的操作人員，均要穿防靜電工作服，防靜電工作鞋（鞋套），戴防靜電工作手套和工作帽，並且用靜電測試儀或人體綜合電阻測試儀確認所配戴防靜電腕帶和防靜電鞋的性能。其結果應記錄在靜電環及靜電鞋測試月報中。測試Pass 者才可以開始工作，靜電環之外觀需由使用者進

17、行自我檢查，若有破損、鬆動情形需立即報告上級主管進行更換。線長及IPQC人員每日必須不定時檢查作業員配戴靜電腕帶是否緊貼皮膚。C 非安全作業區人員，如客戶參觀、品質人員稽核、機器維修保養人員等，經許可進入生產現場防靜電工作區，亦必須進行人體靜電釋放，並穿好防靜電工作服、工作鞋，在生產場所不得靠近或隨手觸摸ESDS或PCB，不得靠近正在操作的人員。D 安全作業區的室溫應控制在 23±5 之間，相對濕度應控制在4575RH之間。採用三相五線制的防靜電接地系統或單獨的接地系統，並確保系統的安全性和可靠性。設備接地線與靜電接地線在顏色上進行區分，設備接地線為黃綠色，靜電接地線為綠色。相互之間

18、不能接錯。E 安全區（點）內所有防靜電設施不得任意移動或拆除。F 安全作業區（點）內凡涉及到操作ESDS的所有桌面都必須是導靜電的。桌面、儀器設備、人體都必須安全接地（即處於零電位）或置於無靜電環境中，洩漏靜電的桌面上不得再加鋪普通塑料板、塑料布、膠木板、橡膠墊等。G 防靜電工作區（點）內，尤其是工作臺上禁止放置非生產性物品，如餐具、茶葉罐、提包、毛織品、塑料製品、報刊、橡膠手套、藥瓶、圓錐形紙卷等物。H 防靜電工作區（點）內操作人員所用的圖紙、資料等，應裝入透明的防靜電塑料袋內，不得使用普通的塑料袋。I 防靜電工作區（點）內，在生產作業過程中，不得隨意推拉窗簾（除非掛置防靜電專用窗簾）。J

19、操作人員在每次重新上崗操作前（包括停工待料一段時間後）必須作靜電防護安全性檢查，合格後才能進行生產。K 防靜電區（點）內，必須經常進行高壓危害的檢查，以便及時排除造成人身高壓損傷的可能性。L 防靜電工作區（點）應避免設在大功率輻射源或強電磁場附近。應避免產生瞬時高電壓源或瞬時高壓的各種作業。M 防靜電工作區（點）內的各項設施，要按生產過程需要而確定的靜電防護控制方法和工藝的要求進行安裝和施工。N 防靜電工作區（點）內應有健全的執行、控制、檢查的規章制度。6.2.2 靜電防護區(點)的配置要求A 接地要求項目管理值參考標準備註設備接地線小於1/設備接地小於5/SMT/DIP/烙鐵/測試儀器等工作

20、臺接地小於5/工作臺墊靜電接地1M±10%/腕帶靜電接地1M±10%/靜電地樁小於5/等電位連接小於109/防雷接地小於10/B 防靜電配置技術要求項目管理值使用範圍/區域人員防護防靜電腕帶對地電阻: 35 ×106作業人員、檢驗人員、其它接觸SSD及組件的人員防靜電手套1.106109/SQ2.磨擦電壓:100V以下作業人員、檢驗人員、其它接觸SSD及組件的人員防靜電帽1.1061011/SQ2.磨擦電壓:100V以下靜電防護區域人員防靜電衣1.1061011/SQ2.磨擦電壓:100V以下靜電防護區域人員防靜電鞋類1.鞋類:106109/SQ2.地板-鞋系統:

21、35×106/SQ3.磨擦電壓:100V以下靜電防護區域人員設備防護防靜電桌墊106109/SQ2.磨擦電壓:100V以下工作桌、測試桌、維修桌防靜電傳輸帶1.106109/SQ 2.磨擦電壓:100V以下流水線，SMT，DIP等防靜電地板1.104109/SQ2.磨擦電壓:100V以下 靜電防護區域防靜電椅1.106109/SQ 2.磨擦電壓:100V以下靜電防護區域材料放置架鋪墊1.106109/SQ 2.磨擦電壓:100V以下靜電防護區域，倉庫周轉車1.104109/SQ2.磨擦電壓:100V以下Magazine， 烏龜車動力/手工工具1011/SQ靜電防護區域離子風扇1.3s

22、ec(Decay time±1000V±100V)2.±50V(殘留不平衡電壓)靜電防護區域包裝材料導靜電箱104106/SQ機板暫存使用導靜電零件盒104106/SQESDS零件存放使用防靜電託盤1.1061011/SQ2.磨擦電壓:100V以下ESDS零件/半成品暫存使用防靜電泡棉/隔板1.1061011/SQ2.磨擦電壓:100V以下ESDS零件/半成品暫存使用靜電屏蔽袋50nJESDS零件/半成品暫存使用C 環境：a 由專門人員負責靜電防護區的環境溫濕度管控，並將溫度及相對濕度記錄于環境溫濕度日點檢表或各單位自製錶中。IPQC負責每天點檢及確認相關執行結果

23、。b 當發現環境溫濕度不在規格範圍內時，要及時告知相應工程師或主管以做處理。D 靜電放電符合性驗證a EPA各項點檢和測量頻率項目名稱驗證者表單備註每天環境溫度(2次/天)IPQC或其它各單位自製錶全檢.確認各區記錄及執行.環境相對濕度(2次/天)各單位自製錶佩戴腕帶時系統電阻(人體對地電阻)(1次/班)O-162*或自製錶抽樣防靜電鞋(束)性能(1次/班)O-162*或自製錶抽樣各接地點接頭牢固性及導通性各單位巡檢表全檢周轉車的接地鏈各單位巡檢表全檢靜電椅的接地鏈各單位巡檢表全檢防靜電衣，鞋，手套，指套，腕帶，帽穿戴各單位巡檢表全檢離子靜電消除系統(器)的使用狀態各單位巡檢表全檢抗靜電地板的

24、清潔度各單位巡檢表全檢接地監測儀使用狀態各單位巡檢表全檢每月防靜電衣/帽/手套/指套表面阻抗IPQC或其它O-163*或自製錶按10%抽檢如有1人檢測NG則進行全檢防靜電衣/帽/手套/指套/椅/周轉容器摩擦電壓及泄放時間靜電消散地板表面阻抗/摩擦電壓及泄放時間O-163*或自製錶工作區區分成九量測點量測工具的防靜電的性能O-161*或自製錶全檢材料架表面阻抗O-161*或自製錶全檢材料架靜電接地電阻O-159*或自製錶全檢桌墊靜電接地電阻O-159*或自製錶全檢防靜電屏蔽袋各單位巡檢表抽樣每季度防靜電椅/周轉容器表面阻抗IPQC或其它O-161*或自製錶工作/測試桌面表面阻抗/摩擦電壓及泄放時

25、間O-161*或自製錶烙鐵接地電阻O-159*或自製錶半年靜電接地樁電阻工務O-159*或自製錶全檢設備接地電阻工務O-159*或自製錶全檢防雷接地工務O-159*或自製錶全檢EPA驗收稽核小組全檢b 各事業單位可根據客戶等相關要求自行評估ESD總線測試頻率，每年至少測試1次，由工務進行量測，並將量測結果記錄於車間ESD總線接地點檢表記錄表。c 如有異常發生時，由發現者提出異常處理單責成責任單位改善。6.3 人員之教育訓練 為確保靜電防護能達到理想的效果，公司人員必須全員遵照規範執行。因此要對相 關人員進行培訓。包括：6.3.1 新進員工必須接受靜電原理/危害靜電防護的基本裝備培訓。6.3.2 現場管理人員(工藝、倉庫、品管、產線線長/組長/課長等主管)必須接受靜電的測試標準本文件及事業處相關之規定培訓，每半年進行一次。6.3.3 職務晉升之人員必須接受靜電的測試標準本文件及事業處相關之規定培訓。7 主要參考文件：無。8 相關表單8.1 接地線(點)點檢記錄表(O-159*)8.2 表面阻抗測試記錄表 (O-161*)8.3