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文档简介

（a）对比度差）对比度差 （b）对比度好）对比度好光刻胶和衬底折光刻胶和衬底折射率不匹配，抗射率不匹配，抗反射膜（反射膜（ARC）类型不匹配类型不匹配光刻胶和衬光刻胶和衬底酸碱不平底酸碱不平衡衡光刻胶顶部光刻胶顶部受到过多的受到过多的显影显影空气中氨分子空气中氨分子（碱性）与胶（碱性）与胶表面光酸分子表面光酸分子中和中和胶的光吸收不胶的光吸收不均匀，底部少均匀，底部少顶部多顶部多胶同衬底的粘胶同衬底的粘附性不好或附性不好或HMDS处理不处理不良良来自曝光区的光被圆片高低形貌反射，被不曝光区来自曝光区的光被圆片高低形貌反射，被不曝光区域的光刻胶吸收域的光刻胶吸收 NSR2005 i9c 型型 NIKON光刻机光刻机NSR2005 i9c 型型NIKON光刻机主要性能指标光刻机主要性能指标

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