MOS集成电路工艺入门

1、IC常用术语园片：硅片芯片(Chip, Die)：6、8 ：硅（园）片直径：1 25.4mm6150mm; 8200mm; 12300mm; 亚微米1m的设计规范深亚微米 0反型层 沟道源（Source）S漏（Drain）D栅（Gate）G栅氧化层厚度：50埃1000埃（5nm100nm）VT阈值电压电压控制N N沟沟MOSMOS（NMOSNMOS） P型衬底，受主杂质； 栅上加正电压，表面吸引电子，反型，电子通道； 漏加正电压，电子从源区经N沟道到达漏区，器件开通。N衬底p+p+漏源栅栅氧化层场氧化层沟道P P沟沟MOSMOS（PMOSPMOS）GDSVTVGSID+-VDS 0 N型衬底，

2、施主杂质，电子导电； 栅上加负电压，表面吸引空穴，反型，空穴通道； 漏加负电压，空穴从源区经P沟道到达漏区，器件开通。CMOS CMOS：Complementary Symmetry Metal Oxide Semiconductor 互补对称金属氧化物半导体特点：低功耗VSSVDDVoViCMOS倒相器PMOSNMOSI/OI/OVDDVSSCCCMOS传输门N-SiP+P+n+n+P-阱DDVoVGVSSSSVDDCMOS倒相器截面图CMOS倒相器版图pwellactivepolyN+ implantP+ implantomicontactmetalA NMOS ExamplepwellP

3、wellActivePolyN+ implantP+ implantOmicontactMetalNtype SiSiO2光刻胶光刻胶光光MASK PwellNtype SiSiO2光刻胶光刻胶光刻胶光刻胶MASK PwellNtype SiSiO2光刻胶光刻胶光刻胶光刻胶SiO2Ntype SiSiO2SiO2PwellpwellactivePwellActivePolyN+ implantP+ implantOmicontactMetalNtype SiSiO2PwellSiO2光刻胶光刻胶MASK activeMASK ActiveSi3N4Ntype SiSiO2PwellSiO2光刻

4、胶光刻胶光刻胶光刻胶MASK activeMASK ActiveSi3N4Ntype SiSiO2PwellSiO2光刻胶光刻胶光刻胶光刻胶Si3N4Ntype SiSiO2PwellSiO2场氧场氧场氧场氧场氧场氧PwellSi3N4Ntype SiSiO2Pwell场氧场氧场氧场氧场氧场氧PwellNtype SiSiO2PwellSiO2场氧场氧场氧场氧场氧场氧PwellpolyactivepwellpolyPwellActivePolyN+ implantP+ implantOmicontactMetalNtype SiSiO2PwellSiO2MASK poly场氧场氧场氧场氧场氧场

5、氧Pwellpoly光刻胶光刻胶Ntype SiSiO2PwellSiO2MASK poly场氧场氧场氧场氧场氧场氧Pwell光刻胶光刻胶polyNtype SiSiO2PwellSiO2场氧场氧场氧场氧场氧场氧PwellpolyNtype SiSiO2PwellSiO2场氧场氧场氧场氧场氧场氧PwellpolyactivepwellpolyN+ implantPwellActivePolyN+ implantP+ implantOmicontactMetalNtype SiSiO2PwellSiO2MASK N+场氧场氧场氧场氧场氧场氧Pwellpoly光刻胶光刻胶Ntype SiSiO2PwellSiO2场氧场氧场氧场氧场氧场氧Pwell光刻胶光刻胶polyN+ implantS/DactivepwellpolyP+ implantPwellActivePolyN+ implantP