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文档简介

1、2022/7/61第二讲 真空技术 许多薄膜技术是在真空下实现的，“真空”是许多薄膜制备的必要条件，因此，掌握一定的真空知识是必需的。P1atm的气体空间都属于真空真空的区分(单位：Pa)：低真空中真空高真空超高真空10510210210-110-110-510-5不同的薄膜制备设备对真空度的要求不同：溅射CVD蒸发MBE1010-210010-310-3 50m，每个空气分子每秒钟内只经历10次碰撞；气体分子间的碰撞几率已很小，气体分子的碰撞将主要是其与容器器壁之间的碰撞。2.1.3 真空度单位12国际单位制：压强 压强高，真空度低，压强低，真空度高几种单位间换算：米千克秒制：1Pa = 1

2、N/m2 = 1Kg/ms2 = 10达因/cm2 = 7.510-3Torr1毫米汞柱（mmHg）= 1/760 atm = 133.3Pa = 1.00000014Torr 1Torr1巴（bar）= 105Pa 巴与大气压强相当，所以被广泛用于描述压强2.1.4 区域划分13 为了便于讨论和实际应用，常根据各压强范围内不同的物理特点把真空划分为粗真空、低真空、高真空和超高真空四个区域。低真空 102 Pa中真空 102 10-1 Pa高真空 10-1 10-5 Pa超高真空 r2-r1(r2玻管半径)，由于压强很低，Q310-1Pa，饱和 P10-6Pa，高速电子X射 IX IiB-A型

3、：改变离子收集极，板状柱状，X射 IX P10-10PaK：电离真空计的灵敏度 通常为440例一：薄膜制备系统: 金属喷镀仪金属喷镀仪的真空系统参数真空室：4.75英寸H4.75英寸真空泵：双级旋片机械泵 极限真空度：610-2Pa 抽速： 0.5L/s 真空计：皮拉尼电阻真空规 （0.1Pa-大气压）52名 称原 理精 度反应时间工作压力范围（Pa）其 它U形管压强计根据液柱差测量压力0.5托数秒10-510-2作为校正标准，与气体种类无关麦克劳真空计（压缩真空计）根据压缩后的液柱差测量压力几%几十%数分1010-3(10-4)作用校正标准，不适宜测可凝性气体皮拉尼真空计（电阻真空计）利用气体分子的热传导10%以上数秒10310-2(10-3)灵敏度因气体种类而变，热丝状态不同，零点变化。热电偶真空计灵敏度易变肖鲁斯电离真空计利用热电子电离残余气体1020%10-3秒1010-2灵敏度因气体种类而变，对电极和管壁除气极为重要，应注意灯丝断裂热阴极电离真空计10-110-6B-A型真空计10-110-10磁控放电真空计（潘宁真空计）利用磁场中的放电电流几十%数秒数分110-4灵敏度因气体种类而变气体放电管（盖斯勒管）利

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