LP1300镀膜机操作流程电子教案

1、Good is good, but better carries it.精益求精，善益求善。LP1300镀膜机操作流程-上海映象光电科技有限公司LP1300镀膜机作业标准书核准：文管中心：单位主管：制定：文件编号：版本：发行日期：映象光电科技有限公司制定部门树脂镀膜文件编号LP1300作业标准书制定日期页数第1/0修订记录表修订次修订日期修订内容页次版次备注映象光电科技有限公司制定部门树脂镀膜文件编号LP1300作业标准书制定日期页数第1/1一目的规范LP1300机台标准操作之动作、手法。二范围本标准适用于LP1300之镀膜流程。镀膜机腔体电子枪电源箱镀膜机主机映象光电科技有限公司制定部门树脂

2、镀膜文件编号LP1300作业标准书制定日期页数第1/2三操作流程1.暖机1.1打开各电源开关电源箱开关(1)、POLDCOLY电源开关、电子枪电源开关、触屏开关(2)及电脑开关(3)；确保指示灯亮POLYCOLD开关POLYCOLD开关(1)电子枪开关(2)映象光电科技有限公司制定部门树脂镀膜文件编号LP1300作业标准书制定日期页数第1/3(3)1.2按“中文/Chinese”进入主画面后,按按钮(1)“自動”，再按按钮(2)“幫浦起動”，开始暖机；映象光电科技有限公司制定部门树脂镀膜文件编号LP1300作业标准书制定日期页数第1/4(2)(1)1.3如(1)所示达到设定温度后，暖机结(1)

3、DP温度绿色字体为设定值映象光电科技有限公司制定部门树脂镀膜文件编号LP1300作业标准书制定日期页数第1/52.上镜片2.1按F1后再按(1)“排氣”，开始抽真空，抽真空30分钟后，按按钮(2)“洩氣”，泄气完毕后机器自动打开仓门，按下(3)“警报确认”解除警报；(2)(1)2.2用吸尘器清理机台如图(1),清理完毕后给机台加药，首先按F2后再按按钮(2)，进入界面后按图示(3)中数字按钮选择坩埚添加药品如图(4)，加完药品后可按F2退出(注意药品与坩埚平齐即可)；(1)映象光电科技有限公司制定部门树脂镀膜文件编号LP1300作业标准书制定日期页数第1/6(2)(3)映象光电科技有限公司制定

4、部门树脂镀膜文件编号LP1300作业标准书制定日期页数第1/7(4)2.3加完药后确认监控片更新取出装镜片的监控杯映象光电科技有限公司制定部门树脂镀膜文件编号LP1300作业标准书制定日期页数第1/8倒出监控杯内的旧监控片装入新监控片映象光电科技有限公司制定部门树脂镀膜文件编号LP1300作业标准书制定日期页数第1/92.4.1从无尘工作炉取来已装入镜片的伞具，如图将伞具放入腔体回转上；2.4.2放入回转上确认镜片有无放平；3.镀膜3.1关上仓门，按F2后点击按钮(1)门开关由“Open”变为“Close”；(1)映象光电科技有限公司制定部门树脂镀膜文件编号LP1300作业标准书制定日期页数第

5、1/103.2按F1后再按图示(1)按钮“排氣”开始抽真空，抽真空15分钟以上真空度达到8.0E-5以下开始打开离子枪；抽真空15分钟以后(1)确保真空度8.0E-5Torr以下映象光电科技有限公司制定部门树脂镀膜文件编号LP1300作业标准书制定日期页数第1/113.3打开离子枪电源开关，图示(1)电压、电流及流量数据，在所设定范围之间镀23分钟即可关闭；3.4离子辅助完成后，真空度达到处6.0E-5以下开始镀膜，移动电脑光标选择“OpenDataFile”按回车后选择制程，选择完毕后再按回车退出；OpenDataFile图标Deposition图标3.5制程确认选好后，移动光标选择“Dep

6、osition”按回车键进入镀膜菜单，再选择“Depprocess”开始蒸镀映象光电科技有限公司制定部门树脂镀膜文件编号LP1300作业标准书制定日期页数第1/12DepProcess图标光标移动键Enter回车键ESC键映象光电科技有限公司制定部门树脂镀膜文件编号LP1300作业标准书制定日期页数第1/133.6镀膜过程中应注意事项：3.6.1如实填写手顺记录；3.6.2确保如图所示中曲线与设定线（黄色曲线）大致吻合；3.7最后一层蒸镀完毕，按F1后点击图标“洩氣”；泄气完毕，机器自动开仓时，应点击“警报确认”解除警报。报警确认泄气气映象光电科技有限公司制定部门树脂镀膜文件编号LP1300作

7、业标准书制定日期页数第1/144.下镜片4.1手动移开仓门后，打开吸尘器清洁机台(操作见2.2)，并给坩埚添加药品(操作见2.3重复部分)；在将镀好之镜片放在无尘工作炉台上收取；4.2开启并推动升降车进入镀膜机腔体内，车身紧靠机台后按寸动按钮缓慢将升降台升高抬起伞具，拨动并移开吊具，按下降按钮，待停止后拉出升降车。4.3继续按下降按钮，待停止后应由两人协力取下镜片置放于指定处（注意必须戴好防护手套和口罩）如图(1)。5.关机工作结束确认镀膜腔内无镜片后，关上仓门（操作见3.1），按按钮“排氣”，5分钟后再按“阀门全闭”,切换到F7关机按钮(1)，40分钟后会自动关机或按按钮(2)“STOP”后，再关闭图示开关(3)呈“off”状态，即可完成关机动作。(1)映象光电科技有限公司制定部门树脂镀膜文件编号LP1300作业标准书制定日期页数第1/15(2)(3)四注意事项1镜片伞具放入腔体后确认镜片是否放平,避免有膜欠不良。2更换电子枪座及离子枪钨丝时请务必先关闭电源，使用乳胶手套安装部件,不可直接用手触摸,以防止钨丝寿命