光学薄膜技术标准发展综述课件

1、薄膜光学光学薄膜技术标准发展综述1、光学薄膜的历史背景4、光学薄膜标准发展建议3、光学薄膜标准的发展概况2、光学薄膜技术相关领域 目 录光学薄膜的使用始于20世纪30年代，至今已应形成一门独立的技术，广泛应用在天文、军事、医学、科学检测、光显示和光通讯等行业。光学薄膜能改善系统性能（如：分束、滤光等），是满足目标的必要手段，对光学仪器的质量起着重要或决定性的作用。近三十年来，随着我国光学与光电子产业的迅猛发展，光学薄膜技术在镀制设备、膜系设计、特性测试和应用开发等方面取得了广泛的成果，形成了相当的产业规模，产品正在走向国际化“随着光学薄膜技术产业化的扩大，其生产的社会化程度逐渐提高，技术要求日

2、趋复杂，因此对标准化的要求也越来越高”。光学薄膜的历史背景什么是标准化？所谓标准化，是为了在一定范围内获得最佳秩序，对现实问题或潜在问题制定共同使用和重复使用的条款的活动。“标准化活动最终会形成标准，其定义为：为了在一定范围内获得最佳秩序，经协商一致制定并由公认机构批准，共同使用的和重复使用的一种规范性文件。“完善的标准化体系对促进产品在技术上的相互协调配合、优化产业结构、增强产品的市场竞争力等方面具有不可估量的作用。是国民经济和社会发展的重要技术支撑”。环境适应性膜层功能产品应用表面疵病面型偏差膜层功能光学薄膜可实现诸如反射、增透、滤光、分束等不同功能，以满足多样化的设计要求，不同膜层功能需

3、要用不同的技术指标去描述和评判光学薄膜技术相关领域实际光学表面与理想光学表面必然存在一定的偏差，这称为面形偏差，在光学薄膜领域，面形偏差一方面由基片加工水平决定，另一方面也会受到膜层应力的影响而降低或加剧镀膜表面会存在一定的缺陷，如麻点、擦痕等，统称为表面疵病“。表面疵病程度会影响光学系统的性能，进而制约着光学薄膜的用途光学薄膜必然工作于一定的环境条件，如：温度、湿度等，而在该条件下薄膜能否长久稳定工作，体现了光学薄膜环境适应性的强弱“环境适应性是评判光学薄膜的一项重要因素，需要用一定的环境试验来检验光学薄膜最终会形成产品，光学元件，安装在仪器中以满足一定的使用要求，一种应用类型的光学薄膜产品

4、中可能涉及多个功能的膜层。面形偏差类标准的发展国内面形偏差类标准只有GB/T2831,其最早是颁布于1982年，即GB2831-81光学零部件的面型偏差检验方法（光圈识别）。该标准适用于以等厚光波干涉原理检验球（包括平面）光学零部件的面形偏差，其提出的用“光圈”描述面形偏差的方法，在国内获得普遍应用。2009年，该标准参照国际标准ISO10110-5:2007进行修订，即GB/T2831-29光学零件的面形偏差，国际标准的接轨。修订后保留了“光圈”的描述方式，同时引进了国际上描述面型偏差的术语，如“PV值”“rms值”等，初步实现了与国际标准的接轨。表面疵病类标准的发展（1）GB1185-74

5、光学零件表面疵病（2）GB1185-89光学零件表面疵病（3）GB1185-2006 光学零件表面疵病“89版标准”在2006年再次进行了修订，此次修订是根据ISO110-7:1996和ISO14997；2003这两个国际标准重新起草的。“06版标准”延续了“89版标准”的表面疵病表征方式，增加了表面疵病未注公差，可视度要求等技术内容，标准显得更加细腻。目前，“06版标准”修订时参照的两个国际标准已更新为ISO10110-7:2008和ISO14997:2011，“06版”也将面临再次修改。光学薄膜标准的发展概况（1）19771987年 膜层功能类标准的“起步阶段”（2）19881995年 膜层功能类标准的“快速发展阶段”（3）19962009年 膜层功能类标准的“发展停滞阶段”（4）2010现在 膜层功能类标准的“发展复苏阶段”光学薄膜技术标准发展建议经过几十年的发展，我国的标准化工作取得了相当的成效，标准的数量和质量都不断提升，并开始逐步与国际接轨，这从上文对光学薄膜领域标准发展情况的分析中可窥见一斑。今后，建议从以下几个方面来完善光学薄膜技术标准：（1）对落后标准的更新；（2）标 准 系 列 化 发 展；（3）标准引用统一；（4）为复杂