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文档简介

1、mksMKS1559A多用途的大流量质量流量控制器MKS1559A系列多用途大流量质量流量控制器是应用于多用途的大流量流量控制，涵盖了从20SLM到200SLM的量程。和其他流量控制器相比，1559A独特的控制阀门消除了运行中的振动和提供了更快的响应时间。通过平衡力阀门的设计可以自动中和在控制阀门内产生的管线压力所导致的不平衡。快速的启动，快速的响应时间和1%的测量精度（氮气），这些特点在减少设备的停顿时间和保证正确的气体流量到工艺腔体内都是很重要的。MKS1559A有杰出的RFI（射频干扰）保护能力，在阀门控制信号小于全量程的0.2%时有一个噪音的安全防护，MKS同样提供了一个可全面兼容的、

2、独立的电源/读数单元，包括246C、247D和647C。MKS558只是显示流量的流量计，558可输出0-5VDC的线性信号，涵盖了和1559A相同的量程。同样，阀门的可用型号就是154A（1559A的阀门部分）。产品特点：用于大流量应用的从20SLM到200SLM的全量程平衡力阀门设计将由于管路压力的波动所导致的振动降到最小小于30分钟的快速启动时间将宝贵的生产停顿时间降到最小小于2秒的响应时间可以快速达到所需要的设定值可接受外部压力信号的输入（0-10VDC）来进行压力控制可提供用于大流量监控的流量计（型号558MFM）1年质量保证确保了产品质量和客户的满意度符合欧洲CE认证标志应用：由于

3、1559A稳定，测量精确等特点，使其成为单晶炉和多晶炉设备配套的首选，如美国的GTSolar，国内的绍兴精工，华盛天龙，北京京运通，北京京仪，上虞晶盛，杭州凯克斯等等公司都配套了MKS的1559大流量质量流量计。Typei!DaConneclorCotrolcrMount(73mmUnitSpanValwConnector10-2UNC-2Bx0.22DP.iCSINKato0.25DIA.*i8-32UNI5BX0.19OP.(152.4mm)SVCRB.&2e1g.OErn)tD.OB!8VCO(211.Dmm)Q.O6Swagelok8.25(209.5mm0.06!Type558Met

4、er-BVCF7,12081.0mm)Idcniification8VCO6.81172.8mmSwagelck6.75(1713mm)技术参数：全量程范围：20slm到200slm最大入口压力：lOOPsig正常的操作差分压力：2O到lOOslmN2l5到4OPsid2OOslmN225到4OPsid控制量程：l%到lOO%的全量程测量精度：全量程的1%重复性：全量程的土0.2%分辨率：全量程的0.1%热机时间：小于30分钟流量计的响应时间：500毫秒响应时间：小于2秒电源要求：15VDC(5%),350ma模拟输出：0-5VDC，线性输出电气通讯方式：模拟15针“D”型材质:316L不锈钢泄露率：小于1*10_9scc/secHe接头法兰：

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