台式扫描电镜操作规程_第1页
台式扫描电镜操作规程_第2页
台式扫描电镜操作规程_第3页
全文预览已结束

下载本文档

版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领

文档简介

1、台式扫描电镜(SEM)(EM-30 Plus+)操作规程一、样品喷金将样品台上贴好导电胶，取粉末状、片状样品平铺于导电胶上，粉末样品需 用洗耳球吹走未粘上的粉末，记录好对应位置，放入喷金仪器中，抽真空至真空 表指针稳定，调节电流到10mA左右，设定好喷金时间，通常1min，开启喷金 按钮，待喷金结束后，打开真空阀，恢复室内常压，取出样品台。二、开机先打开电脑，再打开EM-30 Plus+仪器电源，仪器开机后默认抽真空。三、操作流程样品准备:样品要求导电、无水、无油、无磁，关闭仪器真空按钮，恢复样 品仓内常压，将喷金完成的样品台放入样品仓。使用工具测量样品台高度，务必 使样品最高位置不超过刻度线

2、5。固定关闭仓门，重新抽真空，等待真空抽好后(数值稳定在29左右5min)。图像调节:a.打开电子枪。b.点击option设置图像存储路径，路径中不能包 含中文。c.点击setup，调节电压，最大30kV,电压过高会损伤样品。设置电子 束spotsize值为5-16,越大信号越强，分辨率下降，细节少。d.点击软件左下角， 调节镜头观察样品(需提前记录样品在导电胶的位置，以放混淆)，通过点击画 面调节所需样品至画面中央。e. RED为小窗口模式，fast、slow分别为快速、慢 速。鼠标放到focus上对画面进行聚焦，按滚轮调节，上大下小，调至清晰。画 面右侧调节放大倍数至合适倍数，右下角调节画面亮度、对比度和gammao图像存储:点击photo拍照，拍照完成后点击image保存。四、关机关闭电子枪，关闭软件，关闭仪器电源和电脑。如样品需取出回收，关闭真 空，取出样品后重新开启真空，等待真空抽上后关闭软件、仪器电源和电脑。五、注意事项抽真空时请确保真空稳定后再打开电子枪，提前打开会影响灯丝寿命。灯丝使用寿命为100h左右，断后需更换。灯丝调至中央，边缘与灯丝平 齐后再向上一圈半，固定，安装，调节光亮至最亮。聚焦时画面摆动，需要做光阑合轴，打开界面左下角，左右摆动调X，上 下摆动调Y，调节完成后关闭。台式扫描电镜(S

人人文库> 全部分类> 图纸下载 > 毕业设计

温馨提示

  • 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
  • 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
  • 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
  • 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
  • 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
  • 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
  • 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。

最新文档

评论

0/150

提交评论