多晶硅切片机工作原理

1、硅是集成电路产业的基础，半导体材料中98%是硅，半导体硅工业产品包 括多晶硅、单晶硅（直拉和区熔）、外延片和非晶硅等，其中，直拉硅单晶广 泛应用于集成电路和中小功率器件。区域熔单晶目前主要用于大功率半导体器 件，比如整流二极管，硅可控整流器，大功率晶体管等。单晶硅和多晶硅应用 最广。中彰国际（SINOSI）是一家致力于尖端科技、开拓创新的公司。中彰国际 （SINOSI）能够规模生产和大批量供应单晶硅、多晶硅及4-06 直拉抛光 片、3-06 直拉磨片和区熔NTD磨片并且可以按照国内、外客户的要求提 供非标产品。单晶硅单晶硅主要有xx和区熔区熔（NTD）单晶硅可生产直径范围为：01.5-04。直

2、拉单晶硅可生产 直径范围为：02 -08 。各项参数可按客户要求生产。多晶硅区熔用多晶硅：可生产直径040mm 070mm。直径公差（Tolerance）10%，施主水平 300Q.cm，受主水平3000Q.cm，碳含量V2x1016at/cm 3。各项参数可按客户要 求生产。切磨片切磨片可生产直径范围为：01.5-06。厚度公差、总厚度公差、翘曲 度、电阻率等参数符合并优于国家现行标准，并可按客户要求生产。抛光片抛光片可生产直径范围为：2-06，厚度公差、总厚度公差、翘曲度、平整度、电阻率等参数符 合并优于国家现行标准，并可按客户要求生产。高纯的单晶硅棒是单晶硅太阳 电池的原料，硅纯度要求9

3、9.999%。单晶硅太阳电池是当前开发得最快的一种太阳电池，它的构和生 产工艺已定型，产品已广泛用于空间和地面。为了降低生产成本，现在地面应 用的太阳电池等采用太阳能级的单晶硅棒，材料性能指标有所放宽。有的也可 使用半导体器件加工的头尾料和废次单晶硅材料，经过复拉制成太阳电池专用 的单晶硅棒。单晶硅是转化太阳能、电能的主要材料。在日常生活里，单晶硅可以说无 处不在，电视、电脑、冰箱、电话、汽车等等，处处离不开单晶硅材料；在高 科技领域，航天飞机、宇宙飞船、人造卫星的制造，单晶硅同样是必不可少的 原材料。在科学技术飞速发展的今天，利用单晶硅所生产的太阳能电池可以直接把 太阳能转化为光能，实现了迈

4、向绿色能源革命的开始。现在，国外的太阳能光 伏电站已经到了理论成熟阶段，正在向实际应用阶段过渡，太阳能单晶硅的利 用将普及到全世界范围，市场需求量不言而喻。直拉硅单晶广泛应用于集成电路和中小功率器件。区域熔单晶目前主要用 于大功率半导体器件，比如整流二极管，硅可控整流器，大功率晶体管等。区熔（NTD）单晶硅可生产直径范围为：1.5-04。xx单晶硅可生产直径范围为：02 -08 。硅单晶被称为现代信息社会的基石。硅单晶按照制备工艺的不同可分为直 拉（CZ）单晶硅和区熔（FZ）单晶硅，直拉单晶硅被广泛应用于微电子领域， 微电子技术的飞速发展，使人类社会进入了信息化时代，被称为硅片引起的第 一次革

5、命。区熔单晶硅是利用悬浮区熔技术制备的单晶硅。它的用途主要包括 以下几个方面。1、制作电力电子器件电力电子技术是实现电力管理，提高电功效率的关键技术。飞速发展的电 力电子被称为“硅片引起的第二次革命，大多数电力电子器件是用区熔单晶硅 制作的。电力电子器件包括普通晶闸管（SCR）、电力晶体管GTR、GTO以及第三 代新型电力电子器件一一功率场效应晶体管（MOSFET）和绝缘栅双极晶体管（IGBT） 以及功率集成电路（PIC ）等，广泛应用于高压直流输电、静止无功补偿、电力机 车牵引、交直流电力传动、电解、励磁、电加热、高性能交直流电源等电力系 统和电气工程中。制作电力电子器件，是区熔单晶硅的传统

6、市场，也是本项目 产品的市场基础。2、制作高效率太阳能光伏电池太阳能目前已经成为最受关注的绿色能源产业。美国、欧洲、日本都制定 了大力促进本国太阳能产业发展的政策，我国也于2005年3月份通过了可再生能源法。这些措施极大地促进了太阳能电 池产业的发展。据统计，从1998-2004年，国际太阳能光伏电池的市场一直保 持高速增长的态势，年平均增长速度达到30%，预计到2010年，仍将保持至少 25%的增长速度。晶体硅是目前应用最成熟，最广泛的太阳能电池材料，占光伏 产业的85%以上。美国SunPower公司最近开发出利用区熔硅制作太阳能电池技 术，其产业化规模光电转换效率达到20%，为目前产业化最

7、高水平，其综合性 价比超过直拉单晶硅太阳能电池（光电转换效率为15%）和多晶硅太阳能电池 （光电转换效率为12%）。这项新技术将会极大地扩展区熔硅单晶的市场空 间。据估计，到2010年，其总的市场规模到将达到电力电子需求规模，这是本 项目新的市场机会。3、制作射频器件和微电子机械系统（MEMS）区熔单晶还可以用来制作部分分立器件。另外采用高阻区熔硅制造微波单 片集成电路（MMIC）以及微电子机械系统（MEMS）等高端微电子器件，被广 泛应用于微波通讯、雷达、导航、测控、医学等领域，显示出巨大的应用前 景。这也是区熔单晶的又一个新兴的市场机会。zhaouanju2010-05-25 13:13:

8、48多晶硅生产工艺、太阳能冶炼多晶硅制作及多晶硅用途技术2010年1月5日973多晶硅生产工艺、太阳能冶炼多晶硅制作及用途1、轻掺杂漏极结构的低温多晶硅薄膜晶体管及其制作方法2、用三氯氢硅和四氯化硅混合源生产多晶硅的方法3、在半导体制作过程中通过氘以形成多晶硅层的方法4、蚀刻多晶硅层以形成多晶硅xx的方法5、多晶硅氢还原炉的可变截面积进气口装置6、利用侧墙和多晶硅固相扩散制作纳米CMOS器件的方法7、一种功率型多晶硅发射极晶体管8、薄膜晶体管的多晶硅层及其显.zhaouanju2010-06-03 13:24:13多晶硅生产工艺、太阳能冶炼多晶硅制作及多晶硅用途多晶硅生产工艺、 太阳能冶炼多晶硅制作及用途1、轻掺杂漏极结构的低温多晶硅薄膜晶体管及其制作方法2、用三氯氢硅和四氯化硅混合源生产