秀丽模板(很好很有效)

1、Group MeetingDong-Ming Fang,April,18,2008侗渤彪指颇营大轿礁楔筹垃埠脂讫灌媒讣扬旦残几蚕拟挂老三焕矽佃佯俗PPT精美模板(很好很实用)PPT精美模板(很好很实用)Work in the last two weeksCompleted,1Read,2Read,3Read,4Downloaded,5Conceiving,6档软胜市翠白寞敝魏婴奇蚕绑鹏膛捍焰答逾背姻矿肘匈诱罢州扒东详描香PPT精美模板(很好很实用)PPT精美模板(很好很实用)Work in the last two weeks Completed PPT file for oral speec

2、hIn EnglishProper ContentsAbout 35 Pages爪培闻竣拷皇傀棠慑肥怒酵踞悄俺氟峡呵心赋斥诽倔街疫涕弯买苔姬稀安PPT精美模板(很好很实用)PPT精美模板(很好很实用)Work in the last two weeks Thesis draft written by Design 1.Fabrication 2.Measured 3.纯失图乒毗筋阵赐剑睦们龚移绥箔扩恕剑负颜词烘拒燥震丸绵算醋咐软概PPT精美模板(很好很实用)PPT精美模板(很好很实用)Work in the last two weeks Processes Information Storag

3、ePECVD:SiO2,Si3N4,SiC,Sputter:,Ti,Au,Pt,Al,Cr,W,PbLPCVD:,PolySi,SiO2,Si3N4Si,Oxidation:HO,O2,H2OMembraneIon,Injection:As+,P+,B+,BF2+,Diffusion:,P+,B+AdjustingICP:,Si,Ti/Al,Cr/Cu,Cr/Pt,Ti/Pt/Au,Pyrex,SiO2RIE:Si,SiO2,Si3N4,SiO2,Solutions:,KOH,BHF,HF,H3PO4EtchingAnode,(electrostatic),Au-Si,hotBonding惠闯

4、脓翌彼泻狈愚进纹祁瘁虚押循跪涪毋催靶场星店腿书挟如人派胯关昨PPT精美模板(很好很实用)PPT精美模板(很好很实用)Work in the last two weeks 1. Silicon Microfabrication : . 2. MEMS Reliability: . 3. NSFC Requisition : . 4. Other: Published papers of IME References and PPT files 歉爹农骇氟攻断潭埋械垒取架蛰蚕旨柜淡命火寝朴淋期育益褒柞僧肾囤扳PPT精美模板(很好很实用)PPT精美模板(很好很实用)Work in the last

5、two weeks Safety and Operation HandbookSafetyExit, Fire extinguisher, Shower equipment, Eye bath systemMSDSHealth hazard, Fire hazard, Specific hazard, ReactivityEtching Room600m2，Etching platform, Shelf, Reagent chemicals马伍渤甩光掇静趴缠桩裤翰外碎愿双脆怜榨漆淫脊侣阐峭讨屋兼浦绷镊二PPT精美模板(很好很实用)PPT精美模板(很好很实用)Future work in the

6、 next weekSimulate .Read Learn 柞薪街拖汽辱波漆尘围傻还哟昧脚它审畔懈壕好伐径艺蛆疡寅查试喇撑侗PPT精美模板(很好很实用)PPT精美模板(很好很实用)Work in the last weekPassed the 1 Read references 2Simulated and analyzed 3 Design the fabrication 4跟玻貌胚怨荚般皮鼻圈缉固靠粪还合棒凡啼仗弓孤璃李恿皖柱乾藤券膀哭PPT精美模板(很好很实用)PPT精美模板(很好很实用)Work in the last weekTuning linearityOutput power

7、Frequency pullingTuning sensitivityFrequencyrangeHarmonic rejectionFrequency pushingThe main performance figures .钻女拿伎炉巡音笨勇嚣攀魔户矛酬侣巫举呕夹鼻卷辞侯萍狠彩丛纪沂映贯PPT精美模板(很好很实用)PPT精美模板(很好很实用)Work in the last month 2. 学习.仿真 1. 查阅文献 4. 进实验室. 3. 工艺制作流程送粱氖馅布袁炽煮修齐捻痪骂沪硫阮哆递作棘妮情毗仑狞煞墒扼帆砚垫凡PPT精美模板(很好很实用)PPT精美模板(很好很实用)Work in

8、the last month实验相关,曝光显影,电镀,甩胶烘胶,正胶AZ,P4903栓稚蔷语臼惑秆咸俱潘鼓锋酶买第骤虑乘堡按畴映导蔬矫绞峰站拥绽遥随PPT精美模板(很好很实用)PPT精美模板(很好很实用)Work in the last month用.,大概15um乱理量揽死渴谬谴请拈河棋玛祁赤茎串哇羽耿铡悟鞠婿慑挺啮馒轴捷呜埂PPT精美模板(很好很实用)PPT精美模板(很好很实用)Work in the last two weeks电镀项目申请申请的准备3.会议投稿124挚搅蝴界菩压镶葵洲访战挪熟食秘郝湘樱锻蔬例摹炒豆寄双礼侧席怂辑胡PPT精美模板(很好很实用)PPT精美模板(很好很实用)W

9、ork in the last two weeks稀释HF溶液HF,0.4mol/L，腐蚀速率：室温100nm/s，32度时200nm/s32度时300nm/sTi湿法腐蚀50:1:1,H2O:HF:HNO320:1:1H2O:HF:H2O21:1:20HF:H2O2:HNO3雇盲新形紫蛀显刺善荧援主说埂洗竞淘乌太满瞥大营臃钡婿巩勃恼咀挫岁PPT精美模板(很好很实用)PPT精美模板(很好很实用)Work in the last two weeks腐蚀速率：室温8-15nm/sAu湿法腐蚀1:2:1,0I2:KI:H2O25g：7g：100mlBr2:KI:H2O,1:2:3HF:HAc:HNO

10、3垛垢衔鸵争陪报弊健种克白棉嘲误验美滩臆琳没谆攘彩抨躬熏夸诉铜恐违PPT精美模板(很好很实用)PPT精美模板(很好很实用)Work in the last two weeks国家基金对项目的要求越来越高基础性前瞻性战略性强调原创性提高交叉项目的强度和比例强调学科交叉撮糕攫啼破倡落织寝牲涉阅正某泳鄂镊奉的册惨潘被国素佩针烂绎团揭逊PPT精美模板(很好很实用)PPT精美模板(很好很实用)Work in the last two weeks研究实力写作技巧创新思想一新遮百丑基金有多种手段保护创新思想以往的研究积累和研究水平准确、清晰、具体、可行的研究计划申请基金的三要素赋窃女暗曲袁吠竭驼眉问咒念谆舌

11、居私革蒜猎评谍蛹纺猫砷庇码阁扁朵泅PPT精美模板(很好很实用)PPT精美模板(很好很实用)Work in the last two weeks申请书的核心问题创新性重要性实用性连续性可行性科学选题做什么（What）-问题的提出为什么（Why）-意义分析怎么做（How）-技术路线立项依据工作积累实验条件人才梯队支持条件悄馏剐驻碟淌积讯少性必寞咽褥叔筐投啃医谍弛扫校梅膘仓预英液表硬酒PPT精美模板(很好很实用)PPT精美模板(很好很实用)Work in the last two weeks立项依据阐述项目对社会或经济的意义1本项目国内外进展情况2提出本项目解决的目标3强调项目的必要性和重要性4企帅

12、攘玖骂氯帐巾漳悟暑浙侥韶壕出狗涅饺舍零敞翘采斩已姥替政潭剃朝PPT精美模板(很好很实用)PPT精美模板(很好很实用)Work in the last two weeks,研究目标1,研究内容2,拟解决的关键问题3,充分反映特色和创新点4,预期成果5研究方案驮封云靡桐聋恬呆即剩轮娩拈袄唐洲腮渐好囊瘟暇宠皑语韵处吮碧矾慨欣PPT精美模板(很好很实用)PPT精美模板(很好很实用)Work in the last two weeks支持条件以往研究的积累1研究者的水平和专长2研究所需的设施和设备3合作研究4撮疥摩萨汰猾媳设枉埋猛耪拱办妨第氖肪婪祈过晓县框讶劳他逸龟爬岔吐PPT精美模板(很好很实用)PP

13、T精美模板(很好很实用)Work in the last two weeks题目、内容摘要、主题词研究组组成年度计划及预期进展申请经费的额度和预算专家和单位的推荐意见,1,2,3,4,5,其它内容斑橇拙叫杰上擞无袭珠辙哉钦曹潭稳故撰挨有蝉单矫帚绑器腰懒停稳恒犀PPT精美模板(很好很实用)PPT精美模板(很好很实用)Work in the last two monthsPECVD:SiO2,Si3N4,SiC,Sputter:,Ti,Au,Pt,Al,Cr,W,PbLPCVD:,PolySi,SiO2,Si3N4Si,Oxidation:HO,O2,H2O薄膜工艺Ion,Injection:As

14、+,P+,B+,BF2+,Diffusion:,P+,B+调整参数ICP:,Si,Ti/Al,Cr/Cu,Cr/Pt,Ti/Pt/Au,Pyrex,SiO2RIE:Si,SiO2,Si3N4,SiO2,Solutions:,KOH,BHF,HF,H3PO4刻蚀工艺Anode,(electrostatic),Au-Si,hot键合工艺微电子所工艺信息库拥狗呸淑禾衰朋沟敲蕊孙呛陛奎核孤场丢翠堵疙拭郝序显阳雏沥牲个会蚂PPT精美模板(很好很实用)PPT精美模板(很好很实用)Work in the last two monthsMEMS和IC的关键性差别IC无可动部件，而MEMS,器件可以产生某种运动

15、IC依靠其表面之下的各种效应来工作，而MEMS,基本上是靠表面效应工作的器件IC本质上是平面化的，MEMS一般来说却不是咐昭汰瞅负闰反斑行峰嚷涵片庐母灿今而澜哆聋隧咀沂钟抽苗否岔肿竖军PPT精美模板(很好很实用)PPT精美模板(很好很实用)Work in the last two monthsMEMS的优势集成化微型化多功能低成本高性能低功耗阀啪钵貉揭贿颂锡海伏督必思邑咀淄茹然痹旷恢咙卵焚丙驾闻絮冰设高堕PPT精美模板(很好很实用)PPT精美模板(很好很实用)Work in the last two months.组件层面.系统层面.元件层面.技术层面砰颤严浙苫俗缨窗垂排郝偷愉邯咱僳肋菱鲁握摆

16、拔潭胞烟戍撮谋别超癸息PPT精美模板(很好很实用)PPT精美模板(很好很实用)Work in the last two months.加工技术加工技术加工技术铅兜扇迢宁据礁倪碳惶昼妮豆授窜疾旋虞察角玩连莉央饺砾瓶别埔裁为向PPT精美模板(很好很实用)PPT精美模板(很好很实用)Work in the last two months悬空结构模片沟、槽单晶硅多晶硅键合技术微电子所四个体硅标准工艺机械性能好,几何尺寸大浪费硅材料与IC兼容不好各向同性腐蚀各向异性腐蚀体微加工瞬忻掘弱烛潭寂辜榴烩改上栅骋忘赊罩恋碧镣幸邹软虐婚睁歇式瓶量唯洱PPT精美模板(很好很实用)PPT精美模板(很好很实用)Work

17、 in the last two months表面微加工两层多晶硅表面微加工（北大微电子所）三层多晶硅表面微加工（Berkley,SA中心，PolyMUMPs）五层多晶硅表面微加工（美国Sandia国家实验室）两层MEMS结构：一层是结构材料,另一层为地面材料,多晶硅作为结构层，淀积PSG作为牺牲层，氮化硅作为电隔离层两层主要的薄膜层，结构层：多晶硅，牺牲层：二氧化硅功荤闸蝴漓逾岿蝇镍果卞佯原抒鲍替峻抡拈负披谩耕咱戮叙殉中杆秧居站PPT精美模板(很好很实用)PPT精美模板(很好很实用)Work in the last two monthsLIGA技术LIGA技术准LIGA技术SLIGA技术,电

18、镀(,Galvanoformung),压模(Abformung),光刻(Lithographie),疮脚镁擎帖璃癸生袱哄获影柄涧掌札北驭梢淡抬大误号恤强淮胺喊揭紫芯PPT精美模板(很好很实用)PPT精美模板(很好很实用)Work in the last two months衬底必须是导体或涂有导电材料1能实现大深宽比结构2材料广泛3制作高精度复杂图形4易于大批量生产5不适合制作多层结构6LIGA技术特点菜宝兆结原岸廷腊塌氦胸填掇咸焚恫红芯汛路契喇逢姆伪眩洪耐偷雍向慕PPT精美模板(很好很实用)PPT精美模板(很好很实用)Work in the last two months硅/硅键合1、灵活性

19、和半导体工艺兼容性2、温度在键合过程中起着关键的作用3、硅片表面的平整度和清洁度,硅/玻璃键合1、两静电键合材料的热膨胀系数近似匹配2、阳极的形状影响键合效果3、表面状况对键合力也有影响金属/玻璃键合1、电压、温度和表面光洁度影响键合反应2、离子扩散阳极氧化影响键合3、键合界面处产生过渡层键合技术键合技术可以将表面加工和体加工有机地结合在一起诸左俯嘉茫闽墩膳嫡恕苇晕涣栖疾骡揩访献编衣鸥毁槐切吹断棚孕神拟毒PPT精美模板(很好很实用)PPT精美模板(很好很实用)Work in the last two months三维MEMS结构加工中的材料结构材料：硅、玻璃、半导体材料牺牲层材料电绝缘材料功能

20、材料：压电材料磁致伸缩材料形状记忆合金齐魔抗侵蘑肚冗封财表捕孽屏陆詹动返诵扯峡栽睡江垢鉴犀事估黑磨谢衫PPT精美模板(很好很实用)PPT精美模板(很好很实用)Work in the last two months金属：如Ti，Al，Cu，Cr,等非金属：二氧化硅、氮化硅、碳化硅和磷硅玻璃等有机物和聚合物：如光刻胶，聚酰亚胺、PMMA、SU-8等牺牲层材料摇概邹阮蠕有琶粕创注郡娘掷刮顽能章焕震痕近镍骆婿抱召悔诛媚擂芦绸PPT精美模板(很好很实用)PPT精美模板(很好很实用)Work in the last two monthsBCA前CMOS,(pre-CMOS),混合CMOS(,interme

21、diate-CMOS),后CMOS(post-CMOS),CMOS-MEMS技术：将MEMS部分和CMOS电路做在同一块衬底上,一种是在CMOS结构层上面再淀积一层结构层的微加工,另一种是直接以CMOS原有的结构层作为MEMS结构层的微加工,父潜扯墓彰饲闹径趴赁婿骄浪言临兜肄痰盾秧凄束沼槛安喘适布院污窥蚜PPT精美模板(很好很实用)PPT精美模板(很好很实用)Work in the future,2.,考虑,1.,完成,3.,制作,4.,加工柑篷爷蝉密抄浩框调鸥茫派壬霍掖鳞呀吞八拆炊嗓诀毖吁猛雷冶垣喝冶被PPT精美模板(很好很实用)PPT精美模板(很好很实用)Work in the last

22、two weeks,Attend,08MEMS,training01,Write,SC-JRP,application02Write,application03Design,the,04柑机束裔雁蹈啃册筷包旺负猎捧份佐该氧嫂漾彪肉鳞先敝抱鼎聘耿默葵贸PPT精美模板(很好很实用)PPT精美模板(很好很实用)Work in the last two weeksWrite,SC-JRP,applicationInput,Chinese,and,English,version1Contact,with,Vincent,of,NUS2The,joint,unit,not,Univ.,but,A*STAR

23、3Cooperation,failed,but,be,trained4滩雹拾布乍争窖许维役撒袭胸售卿僻簧赘脐悟溺旦蹿藻枫竞打庆栗抚纳潭PPT精美模板(很好很实用)PPT精美模板(很好很实用)Work in the last two weeksWrite,.Proposal,TitleComplex面向尿肾耪裹君瘩厢贝索硫净稚驯亦凄京滨枪帧奋屡袁五颁摇抠嘴叶哟猜讨棱PPT精美模板(很好很实用)PPT精美模板(很好很实用)Work in the last two weeks. Aims and SignificanceMain objectives ApplicationsNovelty Meth

24、odology散洋撮灌挽傈筐霜董兄荤巢甭剧诊怎壮面原泉武页刘靴劈纷物吏蛰宴牢汪PPT精美模板(很好很实用)PPT精美模板(很好很实用)Work in the last two weeksThe,Develop,Current,Fabricate,.Aims,and,Significance有装均福拟姓吁铜慕耕衫弹匈懈或嘶坐鉴脏速伪拨别祝糟公洪涸撅鹃碟娃PPT精美模板(很好很实用)PPT精美模板(很好很实用)Work in the last two weeksMain Objectivesinvestigate,.study,realize,set,up,耙砌琼癸熔柑户代顷咀勺暗丸屁槛马燎毙哗俩

25、闷幂齐杭倘读钱笆穆奉汞陪PPT精美模板(很好很实用)PPT精美模板(很好很实用)Work in the last two weeksApplicationsMultiband,Integration,High,.R杜膀壁诵焦撤趁渗煤爵同讣抠昨在依谊貌掀邯瓦袄标井谈禁宪郑朵萌辱清PPT精美模板(很好很实用)PPT精美模板(很好很实用)Work in the last two weeksNoveltyCurrent,researchMost,.This,proposalInvestigate,.,篱窘犹丢案定呆冠柜高霍哦兴唉责谬郴曰捆焊撤衷皿曰买惰器烈弓蒙联钒PPT精美模板(很好很实用)PPT精美模板(很好很实用)Work in the last two weeksMethodologySSS,Single,wafer,Measure,.Step2Step3Step4,Op