pecvd班组的维护流程

1、 PAGE 9班组的维护流程维护准备 提前准备维护工具 石英管的准备815根 （单晶需15根，2根备用 多晶需9根，1根备用） 石英管的挑选注意：口径的大小 两端口径不要有裂痕 整根不能有裂痕 碰痕。无细微裂纹和气泡一对轴套套的卡孔孔注意能能与扭力力扳手吻吻合，需需要时要要用电钻钻处理卡卡孔 铝铝杯罩外外部面（绿“O”圈面）注注意不能能有大的的划痕 项圈圈“O”圈圈的选用用一注意意形状 不变形形 不扭扭曲；二二“O”圈用酒酒精清洗洗，观察察“O”圈是否否有裂痕痕 毛刺刺，尤其其绿“O”圈。梅花圈分分薄和厚厚型，选选用注意意形状 厚度 大小 其作用用是支撑撑铜导管管，调节节安装石石英管的的长度。

2、铜导管注注意两者者的吻合合，孔位位的适宜宜铜制天线线是和铜铜导管配配位使用用，在维维护拆除除石英管管时，需需要拔出出铜制天天线。组装的一一端图【下】细分图【下】带有环形形封口的的铝制罩罩帽1）图：将石石英管挤挤压进准准备好的的铝质罩罩帽将铜质导导管插入入并定位位于聚四四氟乙烯烯梅花圈圈的中心心位置（梅花圈圈对于确确保铜质质内导管管在石英英管内的的中央位位置是十十分必要要的）图：完整整的石英英管的剖剖面图将卡口锁锁定装置置滑入石石英管图：准备备好的微微波传送送系统将石英管管的另一一端推入入准备好好的另一一个铝制制的罩帽帽中，同同时将铜铜质内导导管插入并并定位于于另外一一个聚四四氟乙烯烯梅花圈圈的

3、中心心位置图2：完完整的微微波传送送系统拆卸石英英管的过过程：1.先将将微波连连接器一一端的铜铜质天线线向外拔拔出800mm后后即可挪挪开该天天线（见见右图）图：在工工作位置置和维护护位置配配有铜质质天线的的小型微微波发射射头2.用大大力钳将将石英管管掐碎，碎断距距离大约约15CCM，一一手掌的的距离， （注注意别伤伤到铜导导管）碎碎断的距距离便于于拆卸石石英管。【注意意别让碎碎玻璃伤伤到手】3.轴套套的松紧紧，顺时时针是上上紧，逆逆时针方方向为松松懈工艺反应应仓仓壁壁上的微微波发射射头法兰兰接口4.法兰兰：石英英管连接接处，注注意观察察外部面面的平整整度，不不得有任任何划痕痕。拆卸卸掉石英英

4、管时，需要用用蘸有酒酒精的无无尘布进进行阻挡挡或用垫垫板进行行隔离使用真空空吸尘器器清洗一一侧的表表面法兰兰盘并用用蘸有酒酒精的无无尘布封封表面（注意！卡口锁锁定连接接器和法法兰盘之之间的尺尺寸咬合合公差只只有0.10.22mm。）如果颗粒粒从卡口口锁定架架或横向向工艺特特气罩上上脱落将将会导致致擦伤和和损伤卡卡口锁定定装置和和法兰盘盘现举用下下镀膜的的工艺腔腔室为例例：沉积罩或或特气槽槽的认识识图：关闭闭的氨气气吹淋喷喷头孔（左图） 部分关关闭的硅硅烷气体体吹淋喷喷头孔（右图）使用金属属线刷或或砂纸清清洗严重重污染的的不能拆拆卸的部部件，使使用真空空吸尘器器清除过过程中产产生的灰灰尘。检查气体体吹淋口口所有的的气孔（1mmm直径）是否通通畅，如如果有堵堵塞，使使用1mmm的钻钻孔机或或针头刺刺透气孔孔，从外向向内用压压缩气体体将气体体吹淋头头孔内部的的灰尘吹吹出。腔室上装装石英管管示意图图：图1：完完整的等等离子体体发射源源（左图图）和没没有横向向沉积罩罩的等离离子体发发射源（右图）图2：设设备维护护位置时时的卡口口锁定机机械装置置图3：卡卡口锁定定机械装装置大盖的清清洁工作作：用蘸蘸有酒精精的无