光刻间的安全操作课件

1、光刻间的安全操作，各种易燃化学溶液和易腐蚀酸碱溶液的特性及安全防护措施一.光刻间现用的化学药品有机类:丙酮 乙醇 剥离液 四甲基氢氧化铵 正性光刻胶 负性光刻胶无机类：盐酸氢氟酸氟化铵 硫酸硝酸 氢氧化钾氢氟酸和氟化铵1.理化性质：氢氟酸是氟化氢气体的水溶液，为无色透明至淡黄色冒烟液体。有刺激性气味。分子式 HF-H2O。相对密度1.151.18。 沸点 112.2(按重量百分比计为38.2 %)。我们现用的是40%的氢氟酸.氟化铵为无色透明呈微酸性液体,分子式 NH4F。相对密度1.05。我们现用浓度是40%.特征：具有刺激气味及剧毒性，属于中等强度偏弱的酸存放：氢氟酸和氟化铵的水溶液存放在

2、塑料瓶中,严禁与玻璃制品存装和接触.2. 毒理学简介对皮肤有强烈刺激性和腐蚀性。氢氟酸中的氢离子对人体组织有脱水和腐蚀作用，而氟是最活泼的非金属元素之一，与氢离子结合较牢(电离常数K=3.510-4)。皮肤与氢氟酸接触后，非离子状态的HF不断解离而渗透到深层组织，溶解细胞膜，造成表皮、真皮、皮下组织乃至肌层液化坏死。氟离子与组织中的钙和镁离子结合形成难溶性盐。钙离子的减少使细胞膜对钾离子的通透性增加，钾离子从细胞内到细胞外导致神经细胞的去极化而引起剧痛。3. 危害：氢氟酸如不当使用可能对人体的严重危害，其危害途径包括皮肤及黏膜接触、呼吸道吸入及肠胃道摄入，皮肤若接触到50以上较高浓度的氢氟酸，

3、会立刻引起疼痛、泛白、红肿反应，1至2小时内产生水泡，6至24小时则会坏死及溃烂，若接触到10以下较低浓度者，则往往于6小时或更长时间才发生疼痛等症状，因此常被当事人忽略而太晚处理，最后造成永久性伤害，一般常见受伤害的部位为手指。另外，如自呼吸道、肠胃道等其它途径误用,将产生咳嗽、烧灼感及呼吸困难等症狀，或造成腹痛、恶心、吐血、肠道穿孔等症狀。氢氟酸对人体的伤害，除了酸性腐蚀伤害外，进入人体的氟离子可能与钙、镁离子结合，导致血钙过低、血镁过低和血钾过高，进而影响神经和心脏血管系统。 危险特性： 1.不能用玻璃容器装存。 2.由于我们使用的氢氟酸浓度较低，所以使用时要特别注意不要沾染到皮肤上。

4、盐酸理化特性 透明或黄色冒烟液体，蒸气有强烈刺激味,现用浓度是36-38%的HCl。沸点：110，蒸气密度：1.3，易溶于水.盐酸对皮肤和黏膜有较强刺激腐蚀作用。毒性和危害 盐酸蒸气和烟雾能刺激鼻、喉和上呼吸道，导致咳嗽、鼻和牙龈出血，严重的还能腐蚀鼻、喉和造成肺水肿;眼睛接触可导致刺激、严重灼伤和失明,皮肤接触浓溶液（大于38%）导致严重灼伤。误服可使口腔、胃和食道严重灼伤，导致恶心、呕吐、腹泻、虚脱并可能死亡。 储存 盐酸储藏于密封容器内，放置于有通风的阴凉地方，远离有禁忌物和工作场所。危险特性 与强碱类（如氢氧化钠）起激烈反应，与硫化物、磷化物、氰化物、乙酯基化合物、氟化物、硅化物和碳化

5、物起反应，释放出易燃和有毒的气体，与氧化剂（如过氧化物）能起激烈反应。硫酸 理化特性 无色油状腐蚀性液体，有强烈的吸湿性。密度：1.8，熔点10.4，沸点： 280。属中等毒类。对皮肤粘膜具有很强的腐蚀性。毒性和危害 吸入高浓度的硫酸酸雾能上呼吸道刺激症状，严重者发生喉头水肿、支气管炎甚至肺水肿。硫酸溅入眼睛后能引起结膜炎及水肿，角膜浑浊以至穿孔。皮肤接触有局部刺痛，皮肤由潮红转为暗褐色。误服硫酸后，口腔、咽部、胸部和腹部立即有剧烈的灼热痛，唇、口腔、咽部均见灼伤以致形成溃肠，呕吐物及腹泻物呈黑色血性，胃肠道穿孔。口服浓硫酸致死量约为5毫升。安全操作及防护正确佩戴防护用具后再去通风柜中进行操作

6、。配制溶液时应缓慢地将酸倒入水中以防溅出和起泡。在稀释酸时决不可将水注入酸中，只能将酸注入水中。皮肤沾染硫酸时，立即脱去污染衣物，尽快用大量清水冲洗。硫酸溅入眼内时，应翻开上下眼睑，立即用清水或2%碳酸氢钠溶液彻底冲洗。误入消化道时，立即用氧化镁悬浮液、牛奶、豆浆等内服呼吸道吸入者应迅速脱离现场，到空气新鲜处，保持呼吸道畅通。有呼吸道刺激症状者应吸氧。初步处理后立即送医院治疗。硝酸理化特性 无色液体，易挥发有刺激性，对皮肤、粘膜有强烈的刺激作用。毒性和危害： 吸入硝酸气雾引起呼吸道刺激症状。大量吸入可引起肺水肿。硝酸液溅入眼内，可产生化学灼伤。硝酸液接触皮肤，可引起化学灼伤。皮肤灼伤后呈黄色逐

7、渐变为褐色最后呈黑色。安全操作及防护正确佩戴防护用具后再去通风柜中进行操作。皮肤沾染硝酸时，立即脱去污染衣物，尽快用大量清水冲洗。硝酸溅入眼内时，应翻开上下眼睑，立即用清水或2%碳酸氢钠溶液彻底冲洗。呼吸道吸入者应迅速脱离现场，到空气新鲜处，保持呼吸道畅通。有呼吸道刺激症状者应吸氧。初步处理后立即送医院治疗。氢氧化钾理化特性 白色、无臭、不易挥发的；易溶于水，同时放热。毒性和危害： 属于强碱，具有腐蚀和刺激作用。吸入：由于腐蚀作用，会对鼻、喉和肺产生刺激。眼睛接触：极严重的腐蚀作用，造成严重的灼伤，严重暴露会造成疼痛和永久失明。皮肤接触：极严重的腐蚀作用，造成严重的灼伤和深度溃疡，灼伤可能不会

8、立即产生痛感，而是在数分钟或数小时后产生。口服：会产生严重疼痛，口、喉和食道灼伤、呕吐、腹泻、虚脱，可能死亡。安全操作及防护正确佩戴防护用具后再去通风柜中进行操作。皮肤沾染时，立即脱去污染衣物，尽快用大量清水冲洗。溅入眼内时，应翻开上下眼睑，立即用清水或生理盐水彻底冲洗。呼吸道吸入者应迅速脱离现场，到空气新鲜处，保持呼吸道畅通。有呼吸道刺激症状者应吸氧。误入消化道时，用水充分漱口，如需要用鸡蛋清灌胃（1015个鸡蛋）或给患者饮水约250ml。初步处理后立即送医院治疗。储存： 放置于干净、阴凉的地方，与工作场所和禁忌物隔离。危险特性： 与强酸（如硫酸）产生强烈反应。与水反应产生热，形成腐蚀性溶液

9、。丙酮理化特性: 透明、无色、易挥发辛辣气味的液体。沸点：56；蒸气密度：2.0；闪点：18；自燃点：538。爆炸极限：2.513%。蒸气有甜味，似薄荷香味。毒性和危害： 属于微毒性，对神经系统有麻醉作用，并对黏膜有刺激作用。浓度在500ppm以下无影响，5001000ppm之间会刺激鼻、喉，1000ppm以上可致头痛并有头晕出现。200010000 ppm时可产生头晕、醉感、倦睡、恶心和呕吐。眼睛接触；浓度在500ppm会产生刺激，1000ppm会有轻度、暂时性刺激。液体对皮肤会有轻度刺激，通过完好的皮肤吸收造成的危险很小。误入食道对喉和胃有刺激作用，服进大量会产生和吸入高浓度相同的症状。安

10、全操作及防护正确佩戴防护用具后再去通风柜中进行操作。皮肤沾染时，尽快用大量清水冲洗。溅入眼内时，应翻开上下眼睑，立即用彻底冲洗。呼吸道吸入者应迅速脱离现场，到空气新鲜处，保持呼吸道畅通。有呼吸道刺激症状者应吸氧。误入消化道时，用水充分漱口，给患者饮水约250ml。储存： 将丙酮储藏于密封的容器内，置于阴凉干燥优良好通风的地方，远离热源、火源和有禁忌的物质。所有容器都应放在地面上。危险特性： 高度易燃性。有严重火灾危险。在室温下蒸气与空气会形成爆炸性混合物。用抗溶泡沫灭火剂、卤素灭火剂或二氧化碳来灭火。用水来冷却暴露于火中的容器，并驱散丙酮蒸气。 与氧化剂以及氯化剂与碱类混合物（如氯仿与氢氧化钠

11、）都能产生激烈反应。安全操作及防护正确佩戴防护用具后再去通风柜中进行操作。溅入眼内时，须用清水冲洗，吸入蒸气的患者须脱离污染区，安置休息并保暖。误入消化道时，须大量饮水，严重者须就医诊治。储存：储存于阴凉、干燥、通风处，与氧化剂隔绝，远离火源，炎热气候采取通风降温措施，保持库温低于30。注意轻装轻卸，防止容器破损。危险特性： 易燃，高热或遇明火有燃烧爆炸危险，燃烧时，发出兰色火焰。蒸气能与空气形成爆炸性混合物，在火场中，受热的容器有爆炸的危险。着火时，用二氧化碳、雾状水或抗溶泡沫灭火。用水冷却火场中的容器，驱散蒸气，赶出溢出液体，使其稀释成为不燃性混合物。 与氧化剂接触发生反应或引起燃烧危险。

12、 安全操作及防护正确佩戴防护用具后再去通风柜中进行操作。皮肤沾染时，尽快用大量清水冲洗。溅入眼内时，应翻开上下眼睑，立即用彻底冲洗。呼吸道吸入者应迅速脱离现场，到空气新鲜处，保持呼吸道畅通。有呼吸道刺激症状者应吸氧。误入消化道时，用水充分漱口，给饮牛奶或蛋清。就医。危险特性： 遇高热、明火或与氧化剂接触，有引起燃烧的危险。与硫酸、硝酸、盐酸等强酸发生剧烈反应。四甲基氢氧化铵理化特性: 显影液 微碱性 无色透明液体，有特殊的臭味 毒性和危害： 蒸气对眼、鼻有刺激性。溅入眼内可造成灼伤；皮肤接触可致灼伤。口服损害口腔和消化道。安全操作及防护正确佩戴防护用具后再去通风柜中进行操作。皮肤沾染时，尽快用

13、大量清水冲洗。溅入眼内时，应翻开上下眼睑，立即用彻底冲洗。呼吸道吸入者应迅速脱离现场，到空气新鲜处，保持呼吸道畅通。误入消化道时，用水充分漱口，就医。光刻胶由聚合物、感光剂、溶剂和添加剂四种主要成分组成的对光敏感的混合液体聚合物的功能是曝光后聚合物结构由可溶变成聚合（或反之）。聚合物的种类决定了其为正性光刻胶或是负性光刻胶。曝光后聚合物结构由可溶变成聚合是为负胶；反之，曝光后聚合物结构由聚合变成可溶是为正胶。是光刻胶中的最重要的组份。光刻胶中容量最大的成分是溶剂，溶剂使光刻胶处于液态，并且使光刻胶能够通过旋转的方法涂在晶圆的表面。各种光刻胶中的溶剂是不同的，共性是都是易挥发的，虽不象酸、碱类的

14、化学药品有强烈的刺激和危险，但是也是有毒有害的化学品，所以在操作过程中正确佩戴防护用具后再去通风柜中进行操作。尽量避免沾染在皮肤上，更不要溅入眼内或误入消化道。光刻成本分析及影响因素2007年每月产量成本比较月份产量小计单耗加人事成本单耗不含金等的单耗加人事成本单耗衬底Q片元/片一227127886.48 116.42 19.38 32.59 二126610085.05 138.76 14.30 38.00 三179018987.47 125.46 19.61 36.37 四180023899.00 136.77 17.70 34.37 五2226151263101.82 132.37 21.

15、58 35.05 六246551429592.79 120.38 18.76 30.93 七258151825894.78 121.13 18.07 29.69 八253155124786.18 113.05 16.96 28.81 九258553625787.14 113.45 16.57 28.18 十240551329099.16 127.43 18.18 30.65 产量排序成本排序原料成本加人事成本原料成本加人事成本2 1266.00 5 101.82 2 138.76 5 21.58 2 38.00 3 1790.00 10 99.16 4 136.77 3 19.61 3 36.37 4 1800.00 4 99.00 5 132.37 1 19.38 5 35.05 5 2226.00 7 94.78 10 127.43 6 18.76 4 34.37 1 2271.00 6 92.79 3 125.46 10 18.18 1 32.59 10 2405.00 3 87.47 7 121.13 7 18.07 6 30.93 6 2465.00 9 87.14 6 120.38 4 17.70 10 30.65 8 2531.00 1 86