silvacoTCAD仿真速成手册

1、silvacoTCAD 仿真速成手册kongfuzi433次 时间：2022226日 09:01silvaco TCAD 仿真速成手册1章: 简介SILVACO TCAD旨在帮助用户在几分钟时间内快速并成功安装和运行该软件。该指南也演示如何快速有效查看手册，查找仿真器中使用的全部本规章。关于进一步的阅读和参考，用户可参照SILVACO网站的技术支2章: 快速入门: DeckBuild运行时间环境窗口“DeckBuild“SILVACOTCADDeckbuild DOE，强大的参数提取程序和使得输入文件中的参数变量化。学、磁力工艺类型，便于首次使用该工具的用户。使用入门用户可翻开一个把握窗口，创

2、立一个名目，用于保存该指南范例“tutorial,“ 的名目，在把握窗口键入：mkdirtutorialcdtutorialdeckbuild运行环境：deckbuild2.1DeckBuild运行时间环境。GUI示运行输入文件时创立的输出。2.1 DeckBuild GUI: 载入和运行范例输入文件可以由用户创立或者从范例库中加载。 为了生疏软件deckbuild运行时间环境GUI载入范例，可点击：MainControl.Examples(范例).472.2显示首15个类型范例。要查看剩余的类别，则使用窗口右侧的滑动条滚动选择。2.2 15DeckBuild 范例别“MOS1MOSAppli

3、cation Examples，“ 2.3显示15个范例。2.3 MOS 应用范例列表“NMOS :Id/VgsandThresholdVoltageExtraction“，可查看该范例的解2.4显示。 滚动拉下窗口可扫瞄全部解释。2.4 范例描述窗口DeckBuild“DeckBuild: “ 窗口右上部的“Load Example“ DeckBuild主2.5显示。2.5 DeckBuild已载入输入文件按下“run“ 按钮即可运行范例。运行完成后，屏幕消灭两个图。Vg 相对 Id2.62.7所示。 一旦选中“Load Example“ 按钮，构造文件和线图既加载在当前工作名目中，因此不必

4、运行仿真即可扫瞄结果。2.6 显示网路掺杂的工艺仿真构造2.7VgId的器件仿真线图: 查看结果SILVACO的扫瞄工具“TonyPlot“是一个功能丰富的绘图工具。SILVACOTCAD软件包将自动包含仅该文件，供绘图之用。例如在构造文件绘图中，假设想要绘制其他变量如“DonorConcentration“, 则如下点击：Plot.Display.Define.Contours.然后向下滚动选择“Quantity:“ GUI 2.8。选择的参量并点击“Apply“。2.8 GUI运行时常需要查看一个图表的“cutline“OK,“ 然后返回主要视图和选择以下命令：Tools.Cutline.

5、方框，但在“cutline“ GUI中cutlinecutline起点处点击并按住鼠标左键。竖向直拖动鼠标，到cutline终点处松开鼠e图表将自动显示当前现实的参量的。cutline“OK“ 键。cutline图上掩盖显示其他变量，则左击线图，使之变为当前视图图表的白色边框表示它为激活现行图表。然后点击：Plot.Display.来选择要掩盖在线图上的其它参量。 例如，假设在线图上添加 Id 曲线也有相像命令，使它可以在线图上掩盖显示其它电学参量。2.9Cutline图“tonyplotDeckBuild中，通过高亮文件名并按以下挨次操作命令，直接绘制构造。Tools.Plot.PlotSt

6、ructure要自动绘制一个仿真中创立的构造文件，只需简洁添加语句：structure outfile=tonyplot至输入文件，仿真器将保存创立的器件文件直至输入文件中该 点。仿真器在到达该点之后，即自动绘制构造。用户可在仿真过程中的任意点绘制任意数目的构造文件。2.4: 自动创立和编辑输入文件TCAD 范例的结件。ASCII文本格式，因此它可使用任何 ASCII 工艺仿真输入文件。步骤，该方法同样用于创立整个输入文件。一旦使用“line“和“init“ 语句参见载入范例的首几行定义了仿真空间和初始衬底，工艺仿真则仅包含很多连续的集中、植入、蚀DeckBuild自动编写。回到输入文件的范例

7、中， 假设打算在第一步之后添加一个低能 P-well Commands.Process.Implant“DeckBuild: ATHENA Implant“ 视窗。创立额外10keV 硼注入, 1e11/cm2 7 27GUI 2.10所示。完成输入信息后，点击“Write“，输入文件中则消灭一个行。2.10 GUI同样的方式可创立淀积、注入、集中、电极、创立网格、晶元初始化，构造文件保存等等. ASCII 文本，要在DeckBuild中附带的复制、粘贴和删除功能。3章: 简易使用手册和自学方法该手册很厚，乍看可能使人有点畏缩的。所以本章节将为用户演示如何简便使用范例扫瞄手册，从而找到特定信息

8、。2.2“SRH“参数的用途。它消灭在输入文件中器件仿真局部，位于“models“开头的语句行。“语句“models“SRH“ 的作“models statement“ 的信息。SILVACOPDF格式的用户手册。要查找器件仿真ATLAS用户手册。通过在把握台和端子窗口中键入“sman“ 可启动“sman“ 工具，再通过“sman“ 工具可获得3.1所示。3.1 ATLAS PDF用户手册此手册最显著的特征是“语句“章节。它包含器件仿真器按字母挨次“models“ 语句，点击左边的书“+“扩展符号。 按字母挨次向下滚动选择“Models“ Models 语句旁边的“+“ 扩展符号，可以查看其内

9、容。“SRH“等于 Schottky ReadHall“ 的组合缩写，即可点击 Recombination Models Flags“SRH“ “MODELS“ 标题，回到该章节开头。这个章节的开头是另一个与模型语句有关的参数，“SRH“ 以及默认数值和单位。 一旦知晓其类型，便可向下滚动在描述章节“Edit.Find.“ 功能在描述局部搜寻“SRH“。不管使用何种方法，都可以找到描述SRH 3.2所示。3.2 查找到“SRH“参数您想要了解使用参数的规章和方程，语句章节中关于“SRH“ 的描述3-290 3-290，可找到3.3SRH模型的完整描述。3.3 SRH模型的完整描述。仅需简洁点击

10、几次鼠标，即可找到用户把握的方程中参数的含数。现在您应当清楚如何使用用户的范例了。4章: 其他互联网信息SILVACO 的网站供给丰富的技术信息，它位于信息库局部： HYPERLINK “ :/ silvaco /tech_lib/index.html“ :/ silvaco /tech_lib/index.html信息分为如下四个类别1/ 仿真标准(SILVACO出版)2/ 陈述材料3/ SILVACO软件的书籍4/ 发表论文(同行技术文献评论)SILVACOTCAD季度刊物，它包括具体的应用和技巧。 SILVACO网站供给多年来发表的全部仿真标准刊物。使用搜寻功能，可查找您关心的课题。“P

11、resentationMaterials” PowerPoint SILVACO TCAD 软件编进学生作业中。其它SILVACO SILVACO 软件的教科书。Technical Library技术库局部的最终两个局部排列出教科SILVACO 软件开发中使用的多个类别。SILVACO供给的简洁搜寻功能框，您可快速有效地找到所需信息。总之，期望我们在这里通过范例，充分为用户演示了如何简洁SILVACOTCAD 仿真。Mar/1012人逢喜事精神爽0 Comments| Posted byjieyoungin Life72pines话说找个silvaco for linux运行了，根本符合。话说

12、回学校之后买了电脑，现在还很爽呀！Funny Stuff, LifeHideFeb/1025Backupthecurrentsystem0 Comments| Posted byjieyoungin ubuntu4了,走之前必需将当前这个ubuntu个xp今日的主要任务是备份一些ubuntu录用户级别的mplayer/.mplayer看IPV6IPTV.m3uconky/.conkyrcrotorrent/.rtorrent.rc始终使用的中科大的源文件 source.list现在使用的定制的screenlets /.screenlets 文件夹(firefox)中的书签,chromeGoog

13、le account保存life areafeedlist.opml经常使用的脚本以及其配置文件/scripts以上文件都比较小,同步到ubuntu one下面的东西不得不动用移动硬盘了H-spice,Modelsim matlab Tcad使用的icon theme 当前使用的pointer保存的资料/Documents背景图片,呵呵/usr/share/backgound十几G:Tools HideFeb/1024懒羊羊语录0 Comments| Posted byjieyoungin Life幸福的日子，就是吃饱了撑着去睡觉的日子。班长，你看我的眼神多坚决。我又得意，又有责任感，我到底犯

14、了什么错？灰太狼，大笨狼，永久斗不过喜羊羊，还要侍侯红太狼。现在你们才是矮冬瓜，我是高冬瓜。我是懒羊羊，我爱吃东西，吃很多东西，吃完东西要睡觉，睡个大懒觉，懒觉睡多了，再吃东西，再睡懒觉。 07处处睡觉就是有好处。我又做噩梦了，感觉像是与狼共枕。为什么受伤的总是我。10喜羊羊：假设灰太狼变好，你会怎么样？懒羊羊：很难过，由于这样就不好玩了。 11我还没睡醒那埋怨中既然这样，先睡个觉再说吧ZZZ别阻碍我睡觉抓狂中我不想当上校，我当炊事班班长行吗？牛气冲天牛气冲天991%的努力。每年到了这个时候，我都要思考上很久很久，这无疑是我一生中最苦痛的时刻。 16我什么都不做，是为了大家有时机发挥自己的特长

15、。村长，我成认我确实是一只没有恒心，没有意志的小羊。时机可是靠自己把握的。我是不会和一般的羊一般见识的。聪明的羊总是会有意想不到的收获的。你们都欺侮我，我告知村长去。你们就不能照看一下现在是女孩子的我吗？我是为睡觉而生的贵重的羊。救命啊！村长，喜羊羊卖小孩啦我也是只废羊，经常被沸羊羊他们笑。青蛙大哥，你还是拜我为师吧！我有得意的外表，惹人怜爱的表情，遇到危急的时候总是会有人来救我的。Funny Stuff HideFeb/1023goatlasComments| Posted byjieyoungin Circuits接着上一篇,athena”go altas”(真是有点汤姆.李.琼斯在”fu

16、gitive”中的那句”gogethim”的感觉)“# set material models设定材料模型models cvt srh print ” field dependentmobilityisused “srh 指定S-R-H复合模型使用固定寿命print 打印全部模型的状态“contact name=gate n.poly,n.ployn+掺杂的多晶为电机的接触材料“interface qf=3e10 设置半导体和绝缘体边界的参数QF定电荷密度.“method newton” 设定用来解相应算法的数值方式和方程.“solve init”指示atlas,init电压设置为零.“sol

17、ve vdrain=0.1 就是指出了drain0.1解.Rampthegate”下面有用语句来了个像HSPICE如是又extractdevice parameter:extract name=”nvt” (xintercept(maxslope(curve(abs(v.”gate”),abs(i.”drain”)- abs(ave(v.”drain”)/2.0)extract name=”nbeta” slope(maxslope(curve(abs(v.”gate”),abs(i.”drain”) * (1.0/abs(ave(v.”drain”)extract name=”ntheta”

18、 (max(abs(v.”drain”) *$”nbeta”)/max(abs(i.”drain”)- (1.0 / (max(abs(v.”gate”) ($”nvt”)PS: 还要细细研习呀.TCAD HideFeb/10 23AthenaComment| Posted byjieyoungin Circuits接着上回的写.下面是etch行”etchoxideall”刻蚀的材料,all表示全部指明的材料都被Etch掉“extract name=”gateox” thickness oxide mat.occno=1 x.val=0.05EXTRACT 是参数提取指令,它可以提起一些诸如材

19、料厚度,结深,极限掺杂水平,固然也包括诸如”薄模电阻”,阈值电压,C-VVWF 的manualchapter5更具体的语法,多得不行了,这里只理解这一行就OK是一个值(也可以提取一个curve)thickness 厚度,oxide材料,mat.occno=1,x.val=0.05“depopolythick=0.2divi=100.2,DIVISION=10“etch poly left p1.x=0.35 快速产生一个横截面为梯形的etch.“method fermi compress” method 为集中和氧化供给数值方式和模型.fermimodel,compressoxidation模

20、型.在文件的结尾,提取了:# extract final S/D Xj# extract the N+ regions sheet resistanc#extractthesheetrhounderthespacer,oftheLDDregion# extract the surface conc under the channel.# extract a curve of conductance versus bias.“structure outfile=mos1ex01_0.str” 将所描述的机构放入文件mos1exo1_o.strtonyplot来:”tonyplotmos1ex01

21、_0.str -set mos1ex01_0.set”TCADHideFeb/1021 ATHENA1 Comment| Posted byjieyounginCircuits那天说的AtlasATLAS is a modular and extensible framework for one, two and three dimensional Atlas syntax的atlas输入文件中的语法在它的手册中找不到,今日才找到Athena，惭愧呀以Deckbuild中的一个例子来学习是example/atlas/mos1/mos1ex01.in),这个文件是先用Athena，然后用Atla

22、s，赫然写着“go athena”“goatlas”竟然视而不见，再次惭愧.LINE 行 “line x loc=0.0 spac=0.1”规定了网格中的Line，它是垂直的y还是水平的 x，以及从今以后的线间距，直到遇到下一个LineINIT 行 “init orientation=100c.phos=1e14 space.mul=2”初始orientation=100义的spacing2.DIFFUS行“diffus time=30 temp=1000 dryo2 press=1.00 hcl=3”初始化集中的时间30minutes熔炉温度为1000摄氏度，集中环境为干氧，氧化剂中hcl的浓度为3%，pressure,表示环境中活泼气体的气压ETCH行“etchoxidethick=0.02”说明白被刻蚀的是oxide，并且简洁的在上面有0.02的厚度IMPLANT“implant boron dose=8e12 energy=100 pears ”是离子注入行，使用伯松分布