国外超精密数控机床概述

1、国外超精密数控机床概述2050Carbide0.6um，表面粗糙度为Ra0.025um，从些较软的金属材料，而在航空航天、天文、军事等应用领域的卫星摄像头方面，最为常用的却是如玻璃、陶瓷等脆性材料的非金属器件。用金刚石刀具对这些材料进行切削加工，则会使己加工表面产生裂 纹。而超精密磨削则更有利于脆性材料的加工。Union Carbide1972的R-0数控车床，可实时改变刀座导轨的转角0 和半径R，实现非球面的镜面加工。加工直径达380mm，工件的形状精度为士0.63um，表面粗糙度为Ra0.025 um。摩尔公司(Mood Special Tool)于 1968 年研制出带空气主轴的Moor

2、i司又于1980M-18AG球面金刚石刀具车削、金刚石砂轮磨削机床。该机床采用空气主轴，0.075pm；采用Allen-Braley 7320X，Z410mm230mm，其导轨的平直度在全长行程范围内均0.5umB36000.38um；采用金刚356mmRank Pneumo公司于1980年向市场推出了利用激光干涉仪来完成位置闭环控制的双轴联动MSG型超精密数控车床该车床可加工直年，该公司又开发成功ASG2500，ASG2500T，Nanoform300型机床。这些机床不仅能够进行超精密切削加工而且可加工直径达300mm的非球面反射镜。该公司以上述机床为基础，又于1990 年开发出优于0.1u

3、m，表面粗糙度优于RQ0.01um。1996年，该公司又推出了Nanoform250型超精密复合加工机床，不仅可进行金刚石切削、磨削和抛光而且能够直接磨削出符合光学表面质量和型面精度的硬脆材料光学零件。目前，美国从事超精密加工制造比较有名的公司、企业至少有30 家。其中最具代表性并取得重大成果的有前面提到的 UnionCarbideLLNL (Lawrence Livermore National Laboratory)实2060LLNLDTM-1DTM-219839最高水平的DTM-32100mm4497kg0.013um8.0.0076um。19849WRIGHT作，研制成功LODTM(L

4、argeOpticsDiamondTurningMachine)型大1625nun70.635nmoCNC的微量进给，该机床采用压电式微位移机构，可实现纳米级微位移，0.025um。LODTM密车床之一。与美国不同，日本的超精密加工技术是从民用工业开始发展起来的。尽管起步比美国晚了20年，但由于从美国那里得到大量先进的超精密加工技术，从而走了一条快捷的发展道路。目前，日本的超精密加工技术己从研究阶段进入实用阶段并先后开发出一大批超精密加工机床。加工对象主要是以铝合金材料为主的感光硒鼓、磁盘、多面棱镜和以铜合金为主的平面球面和非球曲面的激光反射镜等例如，日本精工研制的DPL-400 型超精密磁盘

5、车床，以切削速度1056-2237m/min，切深15 um，加工外径356mm，内径168mm，厚度1.9mmRa0.003u0.2umAHN60-3DCNC5-37X， YZ2.50.35umRQ0.016um， AHN60-3DX/Y/Z240mm/min1nm；B镜模具的切削和磨削，其XZ150mm 和l00mm，0.01umELIDELID用磨头替代金刚石车刀加工回转体非球曲面。英国 Cranfield 大学的 CUPE (Cranfield Unit for PrecisionEngineering）精密工程研究所是当今世界上最著名的精密工程研究Nanocenter600CNCX 轴和Z光干涉仪位置测量系统的分辨率为 1.25nm，最大加工工件直径为600mm0.1um0.O1um。另外，通过垂直轴还能加工非轴对称非球曲面。1991CUPEOAGM-2500大型超精密机床。该机床被认为是当今世界上最大的超精密大型CNC