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文档简介

1、扫描电镜使用技巧Get,有机颗粒样品分析有妙招飞纳台式扫描电镜颗粒统计分析测量系统(Phenom Particle Metric),简称颗粒系统，由荷 兰Phenom-World公司发布于2013年11月。颗粒系统通过颗粒与背景衬度的差异对颗 粒进行图像识别，在获取SEM图像的同时可以获取所有颗粒的形貌数据，例如直径、等 效面积、等效体积、圆度等。并且可以将这些数据进行统计。颗粒探测范围：100 nm - 0.1 mm，颗粒探测速度高达1000颗/分。图 1. Phenom Particle Metric 配置图在实际操作过程中，颗粒与背景元素差异大的颗粒可以很好的识别，但由于图像识别技术局限

2、性，如颗粒与背景元素差异较小，例如有机颗粒，则软件难以进行有效识别，在这种情况 下，我们可以采用喷金的办法人为创造出黑色颗粒边界，从而增加软件识别的准确性。粘在导电胶表面的颗粒与导电胶之间形成空隙区，如图2右上所示，在喷金过程中，此孔 隙区无法被金覆盖。喷金完成之后，结构示意图如图3所示。此时在SEM视图下，可以 清晰看到颗粒边缘的黑色边界，图4为颗粒在喷金后阴影边界与颗粒识别案例。识别结果 证明适当喷金有利于提升颗粒系统识别的准确性。而喷金多少呢？我们通过实践总结规律得 出，喷金厚度为颗粒尺寸5 10%范围内，可以有效增强颗粒系统识别的准确性。图2.颗粒样品喷金过程示意图图3.颗粒样品喷金结果示意图图4.喷金后阴影边界与颗粒识别案例在拍照过程中，应注意调节图像的亮度剧比度，如亮度对比度都较低，则容易造成软件识别率下降，如图5所示。因此，我们在实际操作过程中，可适当增大亮度，增大对比度，待颗粒周围出现明显黑色边缘时，尚可开展颗粒系统统计，如图6所示。亮度太小 对比度太小nfit aAocyjEnnfi4【蝴内心1心Mm?r- HMAcquit hwn tTaprcini咛返 sirred twnigEl|IKJIH EXWHMlJ |Ulldwbtiirtxfe P3*l

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