Ct扩散炉结构简介课件

1、1Centrotherm扩散炉设备结构简介CONTENT1、设备基本构成2、炉体部分3、Load station4、Gas cabinate5、控制及监控系统基本构成centrotherm Centrotherm扩散炉机台主体由装载系统，TGA，炉体部分和气源柜四部分组成。其各部分功能如下： 1.装载系统：用于将上料台上的石英舟及未扩散硅片送入炉内，以及将扩散完成的硅片传送到上料台。 2.TGA（Toxic Gas Exhaust）：用于驱动炉门，吸收在进舟和出舟过程中可能泄漏出来的有毒气体。 3.炉体部分：机台的核心部分，由五个炉体及相关的电源系统和控制系统组成。 4.气源柜：用于提供扩散工

2、艺过程所需的各种工艺气体，以及将扩散过程中产生的尾气通过酸排风系统排出。炉体部分centrotherm 炉体部位包含炉体，控制柜和电源柜三个部分。 炉体部位包含五根炉管，控制柜里面包含着负责工艺程序执行的CESAR电脑,CMS和温度控制器，电源柜负责供给整个机台所需的动力电源。控制柜动力柜炉体控制柜动力柜CCC电脑放置处CCC控制电脑与CMS CCC控制电脑（ Cell Control Computer ）中包含用于创建和管理recipe的软件CCC-RM（Centrotherm Cell Control Recipe Manager）,用于对CESAR电脑进行集中控制。 CMS （centr

3、al machine safety），错误监视单元，用于监视炉内，炉外，炉体及电路的温度和冷却系统的工作状况，并将结果显示在CMI电脑用户界面上。CMSCCC电脑CESAR控制电脑温度控制器CESAR 控制电脑(每个炉管有一个): 其作用为：创建或更改recipe， 定义recipe变量（工艺时间，温度，压力，气流），start，stop and cancel recipe，数字控制温度，控制气流，装载机组参数设置，与装卸系统进行通讯，监视报警/中断状况（气流，温度，压力），通过级联控制器控制温度，通过级联温度控制进行自动拉温，存储一定数量的recipe，记录用户定义的工艺数据，对正在运行的工

4、艺进行测试（执行工艺步骤，更改变量，设置/重置停止点等）温度控制器（每个炉管有一个）： 采用REG97温度控制器，硬件部分由controller，transducer，pulse skipping unit组成。Spike TC温度测量模块Spike TC 供电超温监控CMS（机器安全系统）冷却水管接口冷却水管接口Spike TC炉体情况接线柱Spike TCSpike TC（包含两根热偶，一根用于超温报警，一根用于工艺控温）石英管工艺气体进气管Paddle TC放置口尾气管放置炉丝及炉管炉丝与接线柱接口设计炉门控制系统-TGA Centrotherm的炉门系统由专门的控制装置TGA（Toxi

5、c Gas Exhaust），其上有热排风来抽走炉门开关过程中可能释放出的有毒气体和热量。TGA炉门开关驱动电机炉门进出驱动电机炉门装置 Centrotherm扩散炉的装载系统由冷却箱，桨及桨托，传送带系统，手动上料台，lift，store shelf，真空吸笔装置，过滤箱，CMI电脑以及相关的控制电路组成。 手动上料台冷却箱CMI电脑 1.桨托的形状和作用：centrotherm的桨托起到固定桨的作用，而桨的高低位则通过升降整个传送系统来实现；Centrotherm桨托桨控制桨高低位的电机控制桨高低位的联动装置 3.lift的运动方式：centrotherm的lift能实现上下和前后运动，石

6、英舟的左右运动则是依靠下方的传送带实现；Centrotherm的lift，只能上下和前后运动装载系统下的传送带 4.储存架的位置数量：centrotherm的储存架位于lift同一位置，一共七个（由于储存架尚未安装，此数量是从store架的形状看出）； Centrotherm储存架位置 5.控制方式：centrotherm的装载系统，recipe管理系统，程序运行和执行均由同一显示界面控制； Centrotherm的控制界面 6.配置：centrotherm装载系统顶部有一个冷却箱，配有真空吸笔接口；真空吸笔接口Centrotherm冷却箱 7. 净化风机位置：位置相同，都位于装载系统下部，但

7、形状不一样。centrotherm净化风机所放位置centrotherm净化风机外部Gas cabinatecentrotherm 尾气瓶放置区和尾气瓶工艺气体（氧气，大小氮）进气口Paddle TC尾气管炉体位置热排口通向酸排尾气瓶放置区凝结器沉淀收集防漏盘热排口Bubbler放置区进气管出气管至排风至排风至排风至炉内小氮管Bubbler放置区 气体控制区MFC气动阀气体冷却水系统酸排，热排系统气源柜上的热排废液收集瓶气源柜上的酸排控制及监控系统 centrotherm主要控制系统的组成和作用如下： 1. CMI 计算机 每个机台一个，用于控制装卸系统并显示 CMS和CESAR电脑 2. C

8、MS （central machine safety） 错误监视单元，用于监视炉内，炉外，炉 体及电路的温度和冷却系统的工作状况，并将结 果显示在CMI电脑用户界面上，系统对偏差的响应 可设置。 3. CESAR 控制电脑（每个炉体一个） 作用： 1） 创建或更改recipe 2） 定义recipe变量（工艺时间，温度，压力，气流） 3） start，stop and cancel recipe 4） 数字控制温度 5） 控制气流 6） 装载机组参数设置 7） 与装卸系统进行通讯 8） 监视报警/中断状况（气流，温度，压力） 9） 通过级联控制器控制温度 10）通过级联温度控制进行自动拉温 11）存储一定数量的recipe 12）记录用户定义的工艺数据 13）对正在运行的工艺进行测试（执行工艺步骤，更改变量，设置/重置停止点等）4. Cell controller 其中包含用于创建和管理recipe的软件CCC-RM（Centrotherm Cell Control Recipe Manager）,用于 对CESAR电脑进行集中遥控。5. Temperature controller 采用REG97温度控制器，硬件部分由controller，transd