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1、X射线能量分散谱EDS提纲X射线简介与产生原理EDS简介与工作原理EDS装置图、样品与分析方法EDS分析实例EDS优/缺点X射线简介1895年，德国科学家伦琴发现X射线电磁波：波长较短，一般在0.0110 nm; 波粒二象性X射线产生原理用加速后的电子撞击金属靶，通过加大加速电压，电子携带的能量增大，则将金属原子的内层电子撞出。内层形成空穴，外层电子跃迁回内层填补空穴，同时放出波长在0.1nm左右的光子，形成X特征线。实验室中X射线由X射线管产生，X射线管是具有阴极和阳极的真空管，阴极用钨丝制成，通电后可发射热电子，用几万伏至几十万伏的高压加速电子，电子束轰击靶极，X射线从靶极发出。EDS简介

2、将X射线按能量展开，即得能谱能。利用X 光量子的能量不同来进行元素分析的微区方法1968 年，Fitzgerald 等人提出矽( 锂) 探测器應用在X-ray 光譜分析上1970 年代结合到电子显微镜(SEM) 系統加上同時可具備X-ray 能譜分析的EDSEDS装置图EDS装置图EDS 的分析方法 定性分析：X射线的能量为Eh, 不同元素发出的特征X射线具有不同频率，即具有不同能量，只要检测不同光子的能量, 即可确定元素定性分析。有标样定量分析：在相同条件下，同时测量标样和试样中各元素的X射线强度，通过强度比，再经过修正后可求出各元素的百分含量。EDS应用实例点分析电子束固定在试样感兴趣的点

3、上，进行定性或定量分析。该方法准确度高，用于显微结构的成份分析，对低含量元素定量的试样，只能用点分析。EDS应用实例线分析电子束沿一条分析线进行扫描时，能获得元素含量变化的线分布曲线。结果和试样形貌像对照分析，能直观地获得元素在不同相或区域内的分布图4-86EDS的优点分析速度快能谱仪可以同时接受和检测所有不同能量的X射线光子信号。灵敏度高，X射线收集立体角大。可在低入射电子束流(10-11A)条件下工作，这有利于提高分析的空间分辨率。谱线重复性好。无运动部件，稳定性好，且没有聚焦要求，所以谱线峰值位置的重复性好且不存在失焦问题，适合于比较粗糙表面的分析工作。能谱仪的缺点：分辨率低，峰背比低：背散射电子或X射线所激发产生的荧光X射线信号也被同

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