最全洁净室检测方法及流程

1、洁净室检测(1)最低洁净室检测(1)最低(2)洁净室可分为三类：单向流、层流、洁净室。最全洁净室检测方法及流程一、洁净室相关概念洁净室是空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱入、产生及滞留粒子。室内其它有关参数如温度、湿度、压力等要求进行控制。洁净区是空气悬浮粒子浓度受控的限定空间。它的建造和使用应减少空间内诱入、产生及滞留粒子。空间内其它有关参数如温度、湿度、压力等要求进行控制。洁净区可以是开放式或封闭式。空气洁净度是指洁净环境中空气含尘微粒量多少的程度含尘浓度高则洁净度低含尘浓度低则洁净度高。空气洁净度的具体高低则是用空气洁净度级别来区分的，而这种级别又是用操作时间内空气的

2、计数含尘浓度来表示，也就是把从某一个低的含尘浓度起到不超过另一个高的含尘浓度止这一个含尘浓度范围为某一个空气洁净度级别。悬浮粒子是指用于空气洁净度分级的空气中悬浮粒子尺寸范围在0.15卩m的固体和液体粒子。洁净室的分按洁净度级别划分为1级、2级、3级、4级、5级、6级、7级、8级、R级。9级为级按气流组织分沿单一方向呈平行流线并且横断面上风速一致的气流。其中与水平面垂直的单向流是垂直单向流与水平面平行的单向流是水平单向流。乱流非单向流洁净室凡不符合单向流定义的气流的洁净室。混合流洁净室：单向流和非单向流组合的气流的洁净室。按照洁净室所需控制的空气中悬浮微粒的类别，可将洁净室分为工业洁净室和生物

3、洁净室。工业洁净室，它主要控制参数是温、湿度、风速、气流组织、洁净度。生物洁净室它与工业洁净室一样所不同的是控制参数中增加了控制室内细菌的浓度。1、洁净室的检测状态可分为三类、空态设施齐全的洁净室所有管线接通并运行但无生产设备、材料及生产人员。（2）、静态已全部建成的设施齐备的洁净室中安装完生产设备并按业主供应商商定的方式试远转，但场内无生产人员。（3）、动态设施处于按规定方式运行的状态并有规定的人员在场以规定的方式工作。4、洁净室与一般通风空调系统的区别洁净室空调是空调工程中的一种，它不仅对室内空气的温度、湿度、风速有一定要求，而且对空气中的含尘粒数、细菌浓度等均有较高的要求。因此它不仅对通

4、风工程的设计施工有特殊要求对建筑布局、材料选用、施工工序、建筑做法、水暖电通及工艺本身的设计、施工均有特殊的要求与相应的技术措施其造价也相应提三、洁净空调与一般空调的区别主要参数控制一般空调侧重温度、湿度、新鲜空气量的供给而洁净室空调则侧重控制室内空气的含尘量、风速、换气次数。在温湿度有要求的房间，它们也是主要控制参数。生物洁净室对细菌含量也是主要的控制参数之一。空气过滤手段一般空调有的只有粗效一级过滤要求较高的是粗效中效二级过滤处理。而洁净空调则要求三级过滤即粗、中、高效三级过滤或粗、中、亚高效三级过滤生物洁净室除送风系统有三级过滤外在排风系统为了消除动物的特殊臭味及避免对环境的污染依据不同

5、情况尚设二级高效过滤或滤毒吸附过滤。室内压力要求一般空调对室内压力无特殊要求，而洁净空调为了避免外界污染空气的渗入或不同生产车间不同物质的相互影响对不同洁净区的正压值均有不同的要求。在负压洁净室内尚有负压度的控制要求。洁净空调系统材料和设备的选择、加工工艺、加工安装环境、设备部件贮存环境为了避免被外界污染均有特殊的要求。这也是一般空调系统所没有的。对气密性的要求一般空调系统对系统的气密性渗气量虽有要求。但洁净空调系统的要求要比一般空调系统高得多其检测手段，各工序的标准均有严格措施及检测要求。对土建及其它工种的要求。一般空调房间对建筑布局、热工等有要求但对选材及气密性要求不是很注重。而洁净空调对

6、建筑质量的评价除一般建筑的外观等要求外则侧重于防尘、防起尘、防渗漏。在施工工序安排及搭接上要求很严格以避免返工产生裂缝造成渗漏。它对其它工种的配合、要求也很严格主要均集中在防止渗漏避免外部污染空气渗入洁净室及防止积尘对洁净室的污染。7、洁净室的竣工验收洁净室竣工以后和投产以后都需要进行性能测定和验收在系统大修或更新时也要进行全面测定。在测定前对洁净室的概况必须全面了解。主要内容包括净化空调系统和工艺布置的平、剖面图及系统图对空气环境条件洁净度级别温、湿度风速等的要求空气处理方案送回风、排风量及气流组织人、物净化方案洁净室的使用情况厂区及其周围污染情况等。洁净室的竣工验收一般由建设方牵头承包商、

7、工程监理单位、设计单位等各方共同参与进行工程质量的全面检查、系统调试和检测。洁净室竣工验收应在各项工程经外观检查、单机试运转、系统联合试运转后进行。洁净室竣工验收的外观检查应符合以下要求各种管道、自动灭火装置及净化空调设备空调器、风机、净化空调机组、高效空气过滤器和空气吹淋室等的安装应正确、牢固、严密其偏差应符合有关规定。高、中效空气过滤器与支撑框架的连接及风管与设备的连接处应有可靠密封。各类调节装置应严密、调节灵活、操作方便。净化空调箱、静压箱、风管系统及送、回风口无灰尘。洁净室的内墙面、顶棚表面和地面应光滑、平整、色泽均匀不起灰尘地板无静电现象。送、回风口及各类末端装置、各类管道、照明和动

8、力线配管以及工艺设备等穿越洁净室时穿越处的密封处理应严密可靠。洁净室内各类配电盘、柜和进入洁净室的电气管线、管口应密封可靠。各种刷涂、保温工作应符合有关规定。四、洁净室制造竣工验收的调试工作凡有试运转要求的设备单机试运转应符合设备技术文件的有关规定。属于机械设备的共性要求还应符合国家相关规定和机械设备施工安装方面的有关行业标准。通常洁净室需进行单机试运转的设备有空调机组、送风增压风机箱、排风设备、净化工作台、静电自净器、洁净干燥箱、洁净储物柜等局部净化设备以及空气吹淋室、余压阀、真空吸尘清扫设备等。在单机试运转合格后需对送风系统、回风系统、排风系统的风量、风压调节装置进行设定与调整使各系统的风

9、量分配达到设计要求。这个阶段检测的目的主要是服务于空调净化系统的调节与平衡往往需要反复进行多次。此项检测主要由承包商负责建设方的维护管理人员宜于跟进以便熟悉系统。在此基础上再进行包括冷、热源在内的系统联合试运转时间一般不少于8h。要求系统中各项设备部件包括净化空调系统、自动调节装置等的联动运转与协调过程中应动作正确无异常现象。五、洁净室检测的工艺流程凡测定中所用的一切仪器设备必须按规定进行鉴定、校正或标定。测定之前必须对系统、洁净室、机房等处进行全面清扫在清扫和系统调整后必须连续运行一段时间然后进行检漏等项目的测定。洁净室测定的程序大致如下表所列。洁净室检测工艺流程项目日程1、风机空吹2、室内

10、清扫3、调整风量4、安中效过滤器5、安高效过滤器6、系统运行7、高效过滤器检漏8、调整风量9、调整室内静压差10、调整温湿度11、单相流洁净室截面平均速度、速度不均匀的测定12、室内洁净度测定113、室内浮游菌和沉降菌的测定14、和生产设备有关的工作和调整检测依据包括规范、图纸、设计文件和设备的技术资料等。分以下二类。1、设计类设计文件、设计变更的证明文件及有关协议、竣工图。设备的技术资料。洁净厂房设计规范GB50073-20012、施工安装类通风与空调工程施工质量验收规范GB50243-2002六、检测方法及结果判定1、风量或风速的测试仪器设备及环境测量仪器叶轮风速仪、热球风速仪、毕托管、微

11、压计、风量罩。环境温度常温或设计温度下。抽样对有设计要求的区域进行检测。技术要求风量风速检测必须首先进行净化空调各项效果必须是在设计的风量风速条件下获得。乱流洁净室系统的实测风量值应大于各自的设计风量值但不应超过20%。实测新风量和设计新风量之差不应超过设计新风量的10%。室内各风口的风量与各自设计风量之差均不应超过设计风量的15%。单向流层流洁净室实测室内平均风速应大于设计风速但不应超过20%。总实测新风量和设计新风量之差不应超过设计新风量的10%。操作过程及判定乱流洁净室a、对于不安装过滤器的风口可按综合效能普通通风空调风口风量测试的方法进行。b、对于安有过滤器的风口根据风口形式可选用辅助

12、风管即用硬质板材做成与风口内截面相同、长度等于2倍风口边长的直管段连接于过滤器风口外部在辅助风管出口平面上按最少测点数不少于6点均匀布置测点用热球风速仪测定各点风速以风口截面平均风速乘以风口净截面积确定风量。c、对于安有同类扩散板的风口可以根据扩散板的风量阻力曲线和实测扩散板阻力查出风量测定时用微压计和毕托管或用细橡管代替毕托管但都必须使测孔平面与气流方向垂直使测值正确反映静压值。d、用风罩法测量风量用风量罩测定各风口风速时其相应的出风风速为Vs=As式中Vs各终端过滤器或送风散流器的平均送风风速m/sQs各终端过滤器或送风散流器的送风量m3/sAs送风口出风面积m2单向流层流洁净室单向流洁净

13、室采用室截面平均风速和截面积乘积的方法确定送风量其中垂直单向流层流洁净室的测定截面取距地面0.8m的水平截面水平单向流层流洁净室取距送风面0.5m的垂直截面截面上测点间距不应大于2m测点数应不少于10个均匀布置仪器用热球风速仪。Qs测定风管内风量a、对于风口上风侧有较长的支管段且已经或可以打孔时可以用风管法确定风量测定断面距局部阻力部件距离在局部阻力部件后不少于5倍管径或5倍大边长度。b、对于矩形风管将测定截面分成若干个相等的小截面每个小截面尽可能接近正方形边长最好不大于200mm测点设于小截面中心但整个截面上的测点数不宜少于3个。对于圆形风管应该按等面积圆环法划分测定截面和确定测点数。具体可

14、按综合效能普通通风空调风管法测量风量的方法进行。2、室内静压差的测试仪器设备及环境测量仪器倾斜微压计、数字微压计等。环境温度常温或设计温度下。抽样对有设计要求的各个相邻区域实施检测。技术要求静压差检测结果应符合下列规定相邻不同级别洁净室之间和洁净室与非洁净室之间的静压差应不小于5Pa。洁净室与室外静压差应大于10Pa。洁净度高于100级的单向流层流洁净室在开门状态下在出入口处的室内侧0.6m处不应测出超过室内级别上限的浓度。操作过程及判定将所有的门关闭将测定用胶管口径最好在5mm以下从墙壁上的孔洞伸入室内在离壁面不远处垂直于气流方向设置周围无阻挡气流扰动最小。静压差的测定应从平面上最里面的房间

15、通常也就是洁净度级别最高的房间与其紧邻的房间之间的压差测起依次向外测定直至测得最靠外的洁净室与周围附属环境之间、与室外环境之间的压差。对于洁净度高于5级的单向流层流洁净室还应测定在门开启状态下离门口0.6m处的室内侧工作面高度的粒子数。检测时的注意事项在进行洁净室静压差检测之前必须先验证在洁净室或洁净设施正常工作时应该关闭的门全部关闭条件下的送风量与回风量、排风量是否与规定风量相符。若达不到标准的要求应重新调整新风量、排风量直至合格为止。6、空气过滤器的泄露仪器设备及环境测量仪器尘埃粒子计数器、气溶胶发生器。环境温度常温或设计温度下。抽样高效过滤器本体在进入现场前生产厂家应按规定进行性能试验并

16、提供合格证在单向流洁净室对安装的高效空气过滤器应该逐台进行检漏乱流洁净室对于7级或更低级别的洁净室只要洁净室达到了所要求的空气洁净度级别就可以不进行检漏。技术要求检漏的结果要符合下列条件由受检过滤器下风侧测到的漏泄浓度换算成透过率对于高效过滤器应不大于过滤器出厂合格率的2倍对于超高效过滤器应不大于出厂合格透过率的3倍。操作过程及判定过滤器的检漏是指安装完成的空气过滤器的检漏适用于空态或静态的洁净室。对于安装于送、排风末端的高效过滤器应用扫描法进行过滤安装边框和全断面检漏扫描法有检漏仪法光度计法和采样量最小为1L/min的粒子计数器法两种这里采用的是粒子计数器法检漏。被检过滤器必须已测过风量在设

17、计风速的80%一120%之间运行。采用粒子计数器检漏高效过滤器其上风侧应引入均匀浓度的大气尘或其他气溶胶尘的空气。对大于等于0.5卩m的尘粒浓度应大于或等于3.5X105pc/m3;或对大于或等于0.1卩m尘粒浓度应大于或等于3.5X107pc/m3若检测D类高效过滤器对大于或等于0.1卩m尘粒浓度应大于或等于3.5X109pcm3。检漏时将采样口放在距离被检过滤器表面2-3cm处以5-20mm/s的速度移动对被检过滤器整个断面、封头胶和安装模框和安装框架处进行扫描。在扫描过程中应对计数突然递增的部位进行定点检验发现有渗漏现象即用硅橡胶进行补漏或更换高效过滤器。5、空气洁净度等级仪器设备及环境

18、测量仪器尘埃粒子计数器。环境温度洁净室区的温度和相对湿度应与其生产及工艺要求相适应。采样点的位置及数量测定洁净度的最低限度采样点数按下表的规定确定表中的面积A对于单向流层流洁净室是指送风面积对于乱流洁净室是指房间面积。a、最低限度采样点数NL最低限度采样点数NL测点数洁净区2.16.0注1、在水平单向流时面积A为与气流方向呈垂直的流动空气截面的面积2、最低限度的采样点数NL=A0.5计算四舍五入取整数b、洁净度测点布置原则是多于5点时可分层分布但每层不少于5点。5点或5点以下时可布置在离地0.8m高平面的对角线上或该平面上的两个过滤器之间的地点也可以在认为需要布点的其他地方。采样量的确定a、测

19、定洁净度的每次最小采样量按下表的规定确定c、每个洁净区最少采样次数为3次当洁净区仅有一个采样点时则在该点至少采样3次。d、对预期空气洁净度等级达到4级或更洁净的环境采样量很大可采用IS014644-1附录F规定的顺序采样法。技术要求每个采样点的平均粒子浓度Ci应小于或等于洁净度等级规定的限值全部采样点的平均粒子浓度N的95%置信上限值应小于或等于洁净等级规定的限值。操作过程及判定仪器开机后预热至稳定后方可按照使用说明书的规定对仪器进行校正。自检、自校、零计数采样管口置采样点采样时在确认计数稳定后方可开始连续读数。采样管必须干净，严禁渗漏。采样管的长度应根据仪器的允许长度。除另有规定外长度不得大

20、于1.5m。计数器采样口和仪器的工作位置应处在同一气压和温度下，以免产生测量误差。对于单向流洁净室采样口应对着气流方向对于乱流洁净室采样口宜向上采样速度均应尽可能接近室内气流速度。记录数据评价。空气洁净度测试中当全室区测点为2-9点时必须计算每个采样点的平均粒子浓度Ci值、全部采样点的平均粒子浓度N及其标准差导出95%置信上限值采样点超过9点时可采用算术平均值N作为置信上限值。洁净室空气中悬浮粒子检测采样时应注意以下问题静态测试时室内的测试人员不得多于2人测试报告中应标明测试时所采用的状态。对于单向流测试应在净化空气调节系统正常运行时间不少于10min后开始非单向流要不少于30min后开始。必

21、须按照仪器的检定周期定期对仪器作检定。视仪器本身特点、使用频率、使用环境等决定。每个采样点可按所计算确定的最小采样量采样空气。但一般根据所使用的粒子计数器的采样量及时间设定通常实际采样都可能高于最小采样量。测定时进入洁净室的人员要穿洁净服有风淋室要经过风淋在室内尽量处于下风处并静止少动。5、室内浮游菌和沉降菌空气中悬浮微生物的测定有多种但其测定的基本过程都是经过捕集、培养、计数的过程目前采用的是浮游菌和沉降菌的测试方法。仪器设备及环境测量仪器培养皿、离心式微生物采样器、恒温培养箱。环境温度浮游菌、沉降菌测试前被测试洁净室区的温湿度须达到规定的要求静压差必须控制在规定值内。被测试洁净室区已消毒。

22、采样装置采样前的准备及采样后的处理均应在高效过滤器排风的负压实验室进行操作该实验室的温度应为222C相对湿度应为50%土10%。测试状态有静态和动态两种并在报告中注明测试状态。测试人员测试人员必须穿戴符合环境洁净度级别的工作服。静态测试时室内测试人员不得多于2个人。采样点的位置及数量室内浮游菌测点和洁净度测点可相同采样必须按所用仪器说明书说明的步骤进行特别要注意检测之前对仪器消毒灭菌。沉降菌测定时培养皿应布置在有代表性的地点和气流扰动极小的地点培养皿数可与下表确定的采样点数相同但培养皿最少数量应满足下表的规定。技术要求室内浮游菌和沉降菌应符合设计要求。操作过程及判断浮游菌的测试a、首先应对测试

23、仪器、培养皿表面进行严格消毒采样器进入被测房间时先用消毒房间的消毒剂灭菌。用于5级洁净房间的采样器宜一直放在洁净房间用消毒剂测试培养皿的外表面把采样器的顶盖、转盘及罩子内外面消毒干净采样口及采样管在使用前必须高温灭菌b、采样者应穿戴洁净服双手要消毒。C、开动真空泵抽气使仪器中的残余消毒剂蒸发时间不少于5min,并调好流量转盘转速。关闭真空泵放入培养皿盖好盖子后调节采样器。d、置采样口于采样点后依次开启采样器、真空泵、转动定时器、根据采样量选定采样时间。全部采样结束后将培养皿倒置于3035C恒温培养箱中培养时间不少于48h.e、用肉眼直接计数然后用5-10倍放大镜检查是否有遗漏若平板上有两个或两

24、个以上的菌落重叠分辨时仍以两个或两个以上菌落计数。沉降菌的测试对单向流如5级净化房间内及层流工作台测试应在净化空调系统正常运行不少于10分钟后开始。对非单向流如7级、8级以上的净化房间测试应在净化空调系统正常运行不少于30分钟开始。a、采样方法将已制备好的培养皿放置在预先确定的取样点打开培养皿盖使培养基表面暴露0.5小时再将培养皿盖上盖后倒置。b、培养全部采样结束将培养皿倒置于恒温培养箱中培养。在3035C培养时间不少于48小时。每批培养基应有对照试验检查培养基本身是否污染可每批选定3只培养皿作对照培养。c、菌落计数用肉眼直接计数然后用510倍放大镜检查有否遗漏。若培养皿上有2个或2个以上菌落

25、重叠可分辨时仍以2个或2个以上的菌落计数。注意事项测试用具要做灭菌处理以确保测试的可靠性、正确性。采取一切措施防止人为对样本的污染。对培养基、培养条件及其他参数作详细的记录。由于细菌种类繁多差别甚大计数时一般用透射光于培养皿背面或正面仔细观察不要漏计培养皿边缘生长的菌落并须注意细菌菌落与培养基沉淀物的区别必要时用显微镜鉴别。采样前应仔细检查每个培养皿的质量如发现变质、破损或污染的应剔除。6、室内空气温度和相对湿度仪器设备及环境常用的仪器设备有干湿球温度计、数字式温湿度计、水银温度计等。测点的布置与数量测点数见上表。技术要求无恒温要求的场所温湿度指标应符合设计要求。有恒温恒湿要求的场所室温波动范

26、围按各测点的各次温度中偏离控制点温度的最大值占测点总数的百分比整理成累积统计曲线90%以上测点达到的偏差值为室温波动范围应符合设计要求。区域温度以各测点中最低的一次温度为基准各测点平均温度与其偏差值的点数占测点总数的百分比整理成累积统计曲线90%以上测点所达到的偏差值为区域温差应符合设计要求。相对湿度波动范围可按室温波动范围的原则确定。7操作过程及判定根据设计要求和洁净度等级确定工作区并在工作区内布置测点洁净度房间离围护结构0.5m，离地0.5T.5m处为工作区。根据温湿度波动范围要求洁净室宜连续要求48小时，每次读数间隔不大于30min.对没有恒温要求的房间温湿度可测定房间中心一个点。8、单

27、相流洁净室截面平均速度、速度不均匀1仪器设备及环境仪器设备热球风速仪。环境温度常温或设计温度下。抽样对于单向流洁净室截面平均风速都要测试。洁净度高于5级的单向流洁净室截面风速不均匀度都要求检测洁净度等级为5级的单向流洁净室在设计有要求时检测。技术条件实测室内平均风速应大于设计风速但不应超过20%。风速不均匀度按下式计算结果应不大于0.25vlBv=vnvi)(2式中Bv风速不均匀度vi任一点实测风速v平均风速n测点数操作过程及判定测定截面、测点数和测定仪器应符合风量或风速的测试中单向流层流洁净室的规定。测定风速宜用测定架固定风速仪以避免人体干扰不得不手持风速仪测定时手臂应伸直至最长位置使人体远

28、离测头。8、室内噪声仪器设备和环境仪器设备测噪声仪器为带信频程分析仪的声级计。环境温度常温或设计温度下。抽样对有噪声设计要求的各个场所分别测定。3技术要求室内噪声级应符合洁净厂房设计规范GB50073-2001的规定。在空态情况下非单相流洁净室不应大于60dBA，单向流、混合流洁净室不应大于65dBA,洁净室的噪声频谱限制的各频带的声压级值不应大于洁净厂房设计规范GB50073-2001表4.4.2的规定。操作过程及判定测噪声仪器为带信频程分析仪的声级计一般只测A声级的数值。必要时测倍频程声压级。洁净室面积在15m点采样除房间两对角线相交的室中心位置外另在房间四角对角线上对称的选取4点如下图所

29、示测点高度一般距地面1.1m。2以下时可在室中心位置测量房间噪声大于15m2时一般按5个测四、每次测试应做记录并提交性能合格或不合格的测试报告。测试报告应包括以下内容测试机构的名称、地址测试日期的测试者签名执行标准的编号及标准实施日期被测试的洁净室或洁净区的地址、采样点的特定编号及坐标图被测洁净室或洁净区的空气洁净度等级、被测粒径或沉降菌、浮游菌、被测洁净室所处的状态、气流流型和静压差、被测洁净室的温湿度、噪声测试用的仪器的编号和标定征书测试方法细则及测试中的特殊情况测试结果包括在采样点坐标图上注明所测的粒子浓度或沉降菌、浮游菌的菌落数对异常测试值进行说明及数据处理。七、检测指标：风量或风速、

30、室内静压差、空气洁净度等级、换气次数、室内浮游菌和沉降菌、温度和相对湿度、平均速度、速度不均匀度、噪声、气流流型、自净时间、污染泄露、照度（照明）、甲醛、细菌浓度。医院洁净手术部：风速、换气次数、静压差、洁净度级别、温湿度、噪声、照度、细菌浓度。医药工业洁净厂房：空气洁净度等级、静压差、风速或风量、气流流型、温度、相对湿度、照度、噪声、自净时间、已安装过滤器泄漏、浮游菌、沉降菌。电子工业洁净厂房：空气洁净度等级、静压差、风速或风量、气流流型、温度、相对湿度、照度、噪声、自净时间。食品工业洁净用房：定向气流、静压差、洁净度、空气浮游菌、空气沉降菌、噪声、照度、温度、相对湿度、自净时间、甲醛、I级

31、工作区截面风速、开发的洞口风速、新风量。文件编号洁净室洁净室功能间名称尘埃粒子含量数据分析风速数据分析卫生情况分析综合男更合格合格合格合格女一更合格合格合格合格男二更合格合榕合格合格女二更合格合格合格合格于消毒室合格合格合恪合格洁净通道合格合格合格合格组装车间合楼合格合格合格注塑车间合格合幣合格合格附：尘埃例子含量结果打印纸洁净室功能间名称尘埃粒子含量数据分析风速数据分析卫生情况分析-更合格合格合格合格二更合格合格合格合格洁净通道合格合格合格合格无菌室合格合格合格合格阳性对照间合格合格合格合格附：尘埃例子含量结果打印纸洁净室项目检测方法高校过滤器检漏一、说明过滤网的泄漏测试应当是无尘室测试中，

32、最复杂、最耗时间的测量项目。泄漏测试的目的，是要确认：滤网的材料无破损，安装恰当。滤网出厂前当然要经过泄漏测试，但是在搬运与安装过程难保完全无损，而且滤网的重要性又大于一切，因此安装完毕都要做一次扫描，以确认滤材无任何泄漏。另外，若是安装不恰当，微粒会从边框漏进无尘室风口。就算是FFU系统，天花板上是负压，若是边框机有微粒日后仍旧会产生问题。因此，边框扫描一样重要。滤网泄漏测试基本上是利用滤网上游的颗粒，然后在滤网下表面与边框用微粒探测仪器搜寻有无泄漏。泄漏测试有几种不同的方式，适用在不同的场合。测试方式有：气胶光度计测试法，微粒计数器测试法，全效率测试法，外气测试法。后两种现在使用非常少。二

33、、方法气溶胶光度计测试法气胶光度计测试法是最早期的测试方式，但是因为效果非常好，到今天仍旧沿用。气胶光度计(AerosolPhotometer)是微粒计数器的一种，也是使用雷射科技，但是它在扫描空气样本的微粒之后，所给的是微粒的总体强度，不是微粒数目。DOP是一种油性化学物质，现改用PAO,加压或加热雾化之后，可以产生次微米等级的微粒，可用来模拟无尘室的微粒，因此被当成验证微粒。微粒计数器测试法半导体业方面，早期也是使用DOP/PAO与气胶光度计，但是随着制造精密度增加，油性挑战微粒逐渐不容许在无尘室使用，因此出现使用干式灰尘当成挑战微粒，在上游施放，然后用微粒计数器在下游扫描，寻找泄漏，基本

34、概念完全相同。经过科学家一步步研究结果，发现PSL因为微粒的粒径与浓度可以控制，因此是目前最广为使用的标准微粒。使用时只要把PSL溶液雾化，导入滤网上游即可PAO/DOP过滤器检漏说明气胶光度计测试法是最早期的测试方式，但是因为效果非常好，到今天仍旧沿用。气胶光度计(AerosolPhotometer)是微粒计数器的一种，也是使用雷射科技，但是它在扫描空气样本的微粒之后，所给的是微粒的总体强度，不是微粒数目。DOP是一种油性化学物质，加压或加热雾化之后，可以产生次微米等级的微粒，可用来仿真无尘室的微粒，因此被当成验证微粒。泄漏的定义是泄漏出上游浓度万分之一，由于气胶光度计可以直接显示上下游微粒

35、浓度的比值，因此扫描滤网非常方便。也正因其准确、可靠，美国食品与药品管制局(FDA)规定，在其管辖范围内(食品加工场所与医疗制药场所)，所有的滤网泄漏测试必须使用DOP与气胶光度计。近年来由于人们怀疑DOP会导致癌症，因此多改用PAO。PAO和D0P的特性类似,使用上无多大差异。测试仪器本测试法使用仪器为气胶光度计(AerosolPhotometer)与微粒产生器(AerosolGenerator)。气胶光度计的显示版有模拟与数字两种，每年必须校正一次。微粒产生器有两种，一种是普通的微粒产生器，只要求高压空气，另一种是加热型微粒产生器，要高压空气和电源，微粒产生器不需要校正。测试方式1111滤

36、网泄漏测试的步骤，大致上是施放微粒并检查浓度、滤网与边框扫描以发现泄漏、更换或修补、重测，其步骤说明如下在图面上记录滤网数量并编号。确定空调系统正常运转并可供测试，风速与风量必需调整平衡完毕。3使用气胶产生器在上游施放挑战微粒，将PAO打入滤网上游，微粒浓度是大约每公升空气含有10到20微克的PAO。微粒愈多愈容易找出泄漏，但是超过50微克以后差别不大，少于10则很难使用。微粒浓度可用风量粗略计算，再用气胶光度计确认。上游微粒浓度确认后，就可以在滤网表面扫描，寻找泄漏，必要时滤网四周可用塑料帘覆盖以确保测试之准确在滤网表面扫描，扫描之路径可由外而内或沿长/短边迂回检测.0都只在确认无尘也而可测

37、三、测试步骤:洁净度测试一、说明洁净度测试是无尘0都只在确认无尘也而可测三、测试步骤:洁净度测试一、说明洁净度测试是无尘室的洁净度不受外来影响，因此洁净度测试都放在前述几项测试都通过之后。洁净度测试完毕，与落尘有关的性能因素就都测试完毕测试。二、测试仪器1111洁净度测试使用微粒计数器合格之校正文件。微粒计数器有不1到0.3mm或是.-0.1mm,定。一般在产计数器的范围?若是无尘室的洁净度是以算程序。洁净室装修亠，其它测试对洁净度影响不大，或是属于其它环境_仪器须经校正合格且仍在有效期限内，交附报告时须附规格，最常见的是流量1cfm，最小粒径J立方英呎。至于应使用何种设备，要依业主的规_微粒

38、计数器。若是业主要求的粒径范围超过单两部微粒计数器。目前市面上少见立方公尺的微粒计数器，因此ISO为基准，则要把结果作换算。单位换算，不影响上限的计I-X仗P性能测试的核心，气流测试、压力测试，与确定空调系统之测试调整与平衡已完成，滤网之风速及泄漏测试均已完成，并已修换破损部分。确认测试位置与测试点数。取样时间：每点的取样时间依照等级与粒径不同而异，若取样时间小于一分钟，则以一分钟为准。测试位置应均匀分布在无尘室内，避免在产生大量粒子之附近，且将检测仪器以适当之架台支撑，不可以手持支撑。111测量点数以公式计算(与209E相同)。四、验收标准：洁净度的验收基准有二，首先是每点的微粒测量平均值必

39、须低于规定值。洁净度的第二个验收基准就是，任一隔间若需使用信赖度上限分析，则该分析值也必须小于规定值。风速及平衡性测试度要求不高的场所。进阶测量就要纪录在测量点一段长时间的温湿度，目的是要观察温湿度随时间的变化情形，以确认湿度在控制之下。进阶测量适用在对温湿度要求比较高的场所。二、测试仪器：常见的温湿度仪器是电子式温度计与镜面冷凝光学式湿度计，一般测量和进阶测量使用仪器的精度相同，温度测量范围是0-100C,精确是0.2C。湿度测量范围是10%到95%,精确度是2%。一般测量要求温度之显示值可显示0.1C的变化，湿度的显示值可显示1%的变化。进阶测量则要求温度之显示值可显示0.05C的变化，湿

40、的显示值可显示0.1%的变化。检测仪器需校正合格且仍在有效期限内者，于测试前或交附报告时均须检附合格之校正文件。三、测试程序：确认空调系统已经安装完成，并已完成测试、调整、平衡。空调系统测试、调整、平衡可以平衡风量和水量，使其达到设计要求，为温湿控制提供正确的运转环境，因此系统要先平衡才能测试。依据平面图，列出各种温湿度要求区域，并使系统达到正常运转状况，系统应在温湿度自动控制之下，至少运转24小时以上。测试点数为每个房间至少量一点，并且每个温湿度控制区至少量一点，例如每个DryCoil的控制范围要量一点，测量高度为(高架)地板上1.00m。将温湿度传感器放置同一位置，待稳定后开始记录。光照度

41、测试一、测前准备洁净室所有开孔皆需封闭气密处理完成测试前空调系统应已完成测试、调整、平衡，并已连续运转24小时以上。洁净室环境需清洁完成二、测试目的此检测动作在于确认无尘室照明系统是否有达到设计要求。三、测试仪器专业照度仪四、测试步骤无尘室光源至少使用100小时以上，测试前需点亮2小时以上。确认测试点及配置图编号。3将照度仪固定置于距离地板上1.2m高度，待数值稳定后量测10秒记录。噪音度测试一、检测准备竣工图面（初版）与相关规范确认洁净室所有开孔皆需封闭气密处理完成。测试前空调系统应已完成测试、调整、平衡，并已连续运转24小时以上。洁净室环境需清洁完成。二、测试目的此检测动作在于确认无尘室噪音是否有达到设计要求。三、测试仪器专业噪音仪四、测试位置每40m2取1点为量测点，另针对业主要求局部增加测试点数。五、测试步骤：无尘室所有空调设备及公用设备均为运转状态。确认测试点及配置图编号。将照度仪固定置于距离地板上1.2m高度，高度量测10秒后记录最大值。气流流向检测一、测试目的平行度测量的目的，是观察在工作区域里面气流的运动模式，同时也可以观察仪器设备对气流的影响。平行度测量应该在气流的风速与均匀度都测试完毕且通过之后进行，过早进行可能得不到正确的数据。二、测试方法一般而言平行度的测量，是由肉眼观察所决定。使用的工具包括烟雾、水雾、PFA、和轻质棉线。烟雾或水雾