《集成电路工艺实验》实验教学（及含实验学分课程）大纲（模板）

《集成电路工艺实验》实验教学（及含实验学

分课程）大纲一、课程基本情况课程编号：082W45D学分：1周学时：2总学时：34开课学期：3.2开课学院：理学院课程英文名称：适用专业：微电子学专业课程类别：专业教育平台课课程修读条件：半导体物理与器件、电路原理、数字电路、模拟电路、CMOS数字集成电路、模拟CMOS集成电路实践方式：课堂教学+实验网络课程地址：课程负责人：所属基层学术组织：微电子科学与工程系二、课程简介本课程具有较强的实践指导意义。通过理论学习与一系列实验教学环节，培养学生独立完成数字集成电路数据采样、信号时序分析和信号状态分析；独立完成模拟集成电路信号的频谱分析；独立完成集成电路裸片上器件的I-V特性测试;独立完成芯片开路、短路测试，电流电压曲线测试，以及漏电流等的测试。通过这些实验，可以更好地巩固学生所学的专业理论知识，扩大集成电路测试的知识面，为学生从事集成电路工作打下扎实的理论基础，提高学生芯片测试能力。本课程是对数字集成电路、模拟集成电路等知识的应用和相关理论的验证。三、教学目标、任务通过本课程的学习，要求学生掌握数字集成电路和模拟集成电路信号的测量和分析方法，并会熟练使用相关测试仪器。通过使用安捷伦的逻辑分析仪，掌握数字集成电路数据采样、信号时序分析和信号状态分析方法；通过使用安捷伦的频谱分析仪，掌握模拟集成电路信号的频谱分析方法；通过使用半导体特性测试系统，掌握集成电路裸片上器件的「V特性曲线测试方法；通过使用自动曲线追踪仪，掌握封装集成电路芯片开路、短路测试方法，电流电压曲线测试方法，以及漏电流等的测试方法。四、教学方法与基本要求学生6人一组，每组一套实验仪器；课程以教师讲解，学生实际动手操作以及师生讨论的形式实施。在理论课程的学习基础上，通过大量实验，要求学生掌握数字集成电路信号采集、时序分析的方法，掌握模拟集成电路频谱分析的方法，掌握集成电路裸片上器件参数的测量与分析方法，掌握封装完成的芯片开路、短路、漏电流、i-v特性曲线等的测量方法。要求学生熟练使用相关仪器的操作方法，熟悉实验操作步骤。五、主要内容及学时分配注：序号实验项目名称实验类型（或上机类型）实验类别时数每组人数1数字集成电路信号的逻辑分析综合专业1262模拟集成电路信号的频谱分析综合专业1263封装芯片的检测与分析综合专业1264集成电路器件的测试与分析综合专业1561.实验类型：演示、验证、操作、综合、设计、研究;上机类型：单项训练、综合训练。2.实验类别：指基础、专业基础、专业。六、考核及成绩评定方式实验成绩评定标准：实验考核以学生的实验态度、掌握的实验理论、实际操作技能和实验报告等为主。每个实验根据预习情况、实验过程和实验报告评分。课程最终成绩为所有实验项目成绩的平均值。实验态度占15圾实验理论占15。卜,操作技能占20%,实验报告占50%。七、教材及参考书目

撰写人：类别教材名称编者出版社出版时间经考书CMOS模拟集成电路设计（第2版）菲利普E.艾伦(PhillipE.Allen),道格拉斯R.霍尔伯格(DouglasR.Holberg)电子工业出版社2011年1月著；冯军译经考书《数字集成电路-电路、系统与设计（第2版）》作者：（美）拉贝艾译者：周润德电子工业出版社2010年11月经考书Smart-1CurveTracerUserManual宜准科技股份有限公司2007年11月参考书SpectrumAnalyzerModeMeasurementGuide安捷伦科技有限公司经考书SignalAnalyzerGettingStartedandTroubleshootingGuide安捷伦科技有限公司经考书Model