单晶工艺-清炉卫生课件

----清炉工艺卫生单晶工艺工艺卫生目的

为正确、规范地操作单晶炉，确保生产作业正常，控制单晶品质，特制订本规范适用范围

适用于TDR-70A/B和JRDL-800型单晶炉的操作。作业准备1.进入单晶车间须穿戴好洁净工作服、鞋。2.准备好无尘手套、耐高温手套、毛巾、无尘纸、研磨布、酒精、吸尘刷、吸尘管、防尘口罩。3.准备好钳子、扳手和各类装拆炉专用工具。4.准备并清理干净单晶筐、不锈钢小车、不锈钢筒5.用毛巾将炉体从上到下一遍，擦洗时注意不要触碰所有控制接线及开关，并把炉子周围清扫干净。A真空过滤器清洗1.准备好吸尘刷、吸尘管、酒精、纸巾、扳手，带好手套、防尘口罩。2.用扳手打开真空过滤器盖螺丝。3.用吸尘刷仔细清洗过滤器内壁的挥发物。4.用吸尘刷清洗过滤器盖，用沾酒精的纸巾擦净密封圈，并检查密封圈是否完好就位，防止影响抽空。5.盖好过滤器盖并用扳手上好过滤器盖螺丝。B真空泵油检查更换1.确认关闭主泵球阀和真空泵，在放油单晶炉上挂检修牌，打开上下腔放油开关，将油有放油口放入废油桶，放完油后关闭上下腔放油阀，废油倒入指定油桶。2.清洗真空泵（每5炉清洗一次），用扳手打开真空泵侧盖，用毛巾彻底清理真空泵腔、侧盖和下腔滤油网的油污，清洗完毕后，安装好滤网，检查密封圈，安装好侧盖。3.将真空泵油注入真空泵注油孔，油位观察窗1/2位置，停止注油，打开泵侧的油路管道阀门向下腔放油，关闭油口。4.启动真空泵工作5min后关闭泵侧的油路管道阀门，确认油位处于观察窗1/3----1/2位置，关闭真空泵，在单晶炉上移去检修牌。油位若低于下限重复3，4操作。5.真空泵与电磁阀连接的弯头要在换油之前清理并安装完好。C石墨件清理1.石墨件必须在指定的清理室进行清洗，准备好清洗用品(吸尘刷、无尘纸、吸尘管、研磨布、磨光机、洁净小车等)戴好手套、防尘口罩。清洗好清洗台及周围环境。2.依次用吸尘刷清洗各类石墨件及碳毡直至确认无污物，吸附挥发物较多的沟槽及接口等部位，要用研磨布认真打磨后再吸尘清洗。3.注意检查各石墨件是否有损坏及粘硅，有异常及时更换和处理。4.操作时要轻拿轻放以免造成石墨件的损坏。5.清理完毕的石墨件放到洁净不锈钢小车上。禁止叠加，移动不锈钢小车要稳当。6.清洗后垃圾放入垃圾指定处，清洗好清洗台及周围环境.

D副室的清理1.准备好清洗棒、纸巾、酒精。2.在清洗棒上缠上沾有酒精的无尘纸，清洗付室内部至上部，直至确认无污物。3.快速降下籽晶夹头，用沾有酒精的无尘纸认真擦洗重锤，夹具及钼夹头。必要时要将重锤摘下用研磨布认真打磨，并清洗干净。摘下重锤时，防止钢丝绳上弹出槽。4.清洗钢丝绳时要检查其接头部位是否老化或损坏，若有应截去一截钢丝绳，防止在拉晶过程中钢丝绳断裂。清洗升重锤时，防止重锤晃动导致重锤挂住付室下沿，拉断钢丝绳。F炉盖清洗a.炉盖清洗1.先用无尘纸擦洗内壁(氧化物过多先用吸尘刷清理)。2.小孔部位、观察窗部位、伊尔根部位、阀口部位等各处的接口及焊接口等部位要用沾有酒精的无尘纸认真擦洗至确认无污物。3.

炉盖内壁挥发物要用研磨布认真研磨直至内壁出现光亮无污物。4.观察窗、伊尔根窗口要认真清理，所有小孔的位置要把纸巾卷成卷清理直至没有污物。bH抽气管道清洗1.用扳手打开抽气管道上的封盖螺丝，取下封盖和密封圈2.下炉筒两边管道和连接波纹